【課題】可撓性基板を用いてパターン形成する場合に、高精度にパターニングを行うことができる蒸着装置及び蒸着方法並びにその方法を用いてパターン形成した層を有する電子素子及び有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】真空槽１２と、蒸着材料を収容して蒸発させる容器３０と、基板保持手段１６，１８と、マスク保持手段２８と、基板保持手段により保持された可撓性基板３６とマスク保持手段により保持されたマスク４０のそれぞれのアライメントマーク３８，４４の位置を測定する位置測定手段３２ａ，３２ｂと、位置測定手段による測定に基づき、基板保持手段により可撓性基板を延伸させてマスクとの位置合わせを行う位置制御手段３４と、を有することを特徴とする蒸着装置１０。可撓性基板を所定の方向に所定の量で延伸させてマスクとの位置合わせを行った後、マスクを介して蒸着材料を所定のパターンに蒸着させる。 （もっと読む）

【課題】蒸着マスクを保持するマスク用フレームにおいて、剛性がありながら軽量で熱膨張の少ないものを提供する。また製造時における変形を極力抑えることができる構造を有するマスク用フレームを提供する。
【解決手段】２５〜１００℃における熱膨張係数が１．１〜８．５×１０^−６／℃の材料で作られた中空断面部材１０１〜１０４を拘束部材１０５ａ、１０５ｂ、１０６ａおよび１０６ｂを介して接合させる。低熱膨張係数の材料を用い、さらに拘束部材１０５ａ、１０５ｂ、１０６ａおよび１０６ｂを用いることで、組み立て時の溶接および蒸着時の加熱による熱変形を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】蒸着室内の膜厚検知装置の振動子を蒸着室内において再生することで蒸着装置の稼動効率を向上させる。
【解決手段】複数の振動子５を振動子ホルダー４に設置する。作動位置Ａにおいて膜厚を測定する振動子５の表面にある程度の厚さの蒸着膜が堆積したら、ヒーターブロック８による加熱が可能で、周囲を冷却されたシールド１の壁面で覆われた不作動位置Ｂに振動子５を移動させ、振動子表面の蒸着膜を脱離させて再生する。この間、作動位置Ａにおいては別の振動子５を用いて膜厚の測定を継続する。この工程を繰り返すことで蒸着室を大気開放することなく長期に亘り蒸着を続けることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】電子注入効率がより高く低電圧駆動が可能な有機発光素子を安定して製造する方法を提供する。
【解決手段】有機発光素子の製造方法における電子注入層を形成する工程は、蒸着源の加熱手段によってドーパント材料を加熱し、収容容器内でガス状態にする工程と、前記加熱手段によって中蓋を加熱する工程と、前記ガス状態のドーパント材料を前記中蓋に接触させつつ、開口部から通過させ、さらに上蓋の開口部から通過させて基板に蒸着させる工程と、前記有機化合物の蒸着源から前記有機化合物を基板に蒸着させる工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸着粒子がクラスター化するのを防ぎ、欠陥のない有機化合物層を有する有機ＥＬ素子を製造する。
【解決手段】蒸着源２１の直上領域を飛翔する蒸着粒子の状態を、レーザー光源４１から出力されたレーザー光を２つの偏光光線に分割してセンサー４２の２つの受光素子で受光する光遮蔽式のパーティクルモニター４によってモニターする。パーティクルモニター４の２つの受光素子の出力を比較して位相の異なる信号を取り込むことで、蒸着粒子のクラスター化を検出する。クラスターが発生した時は、制御ＰＣ４４によって蒸着電源２３のパワーをセーブする。 （もっと読む）

【課題】１枚の基板内に複数個の有機ＥＬ素子を配した場合、基板の所定の領域に配された有機ＥＬ素子に所定の膜厚を成膜することが可能な、蒸着装置およびそれを用いて作製された有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】蒸着源により蒸着材料を気化させて、基板にマスクを用いて所望の形状に膜形成を行う蒸着装置において、前記基板およびマスクの蒸着源側に、膜形成を行いたい領域部分に開口を設けたシャッターマスクを配することを特徴とする蒸着装置、およびそれを用いて製造した有機ＥＬ素子を提供する。 （もっと読む）

【課題】２枚の貼り合わせ基板を容易に分離できるようにする。
【解決手段】転写層を備えた転写用基板と素子形成用基板とを貼り合わせて、レーザー熱転写法によって転写用基板上の転写層を素子形成基板上に転写した後、転写用基板と素子形成基板とを分離する場合に用いられる有機ＥＬ表示装置の製造装置２１であり、転写用基板および素子形成用基板を保持した基板保持部２３と、基板保持部２３に保持された転写用基板および素子形成用基板のうち一方に吸着すべく列状に配置された吸着パッド列を有する吸着パッド３０を複数並べて設けるとともに、基板保持部２３に対して複数の吸着パッド列を独立に昇降可能に支持する複数の昇降用シリンダ３４を有する昇降用シリンダ３４とを備え、複数の吸着パッド列を吸着させた状態で、複数の昇降用シリンダ３４により複数の吸着パッド列を基板保持部２３から離間するように順に上昇させることにより、転写用基板と素子形成用基板とを分離する。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子の長寿命化を図ることが可能で、かつ、従来よりも製造コストを安価なものにすることが可能な有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１２と、基板１２上に形成され、陽極１４、正孔輸送層１６、有機発光層１８、電子輸送層２０及び陰極２４を有する積層構造体と、封止膜２６とを備える有機エレクトロルミネッセンス素子１０の製造方法であって、基板までの距離が１５ｍｍ以下の位置に配置したノズルから気化材料を基板に向けて吐出することにより、有機発光層１８を形成する有機発光層形成工程を含む。 （もっと読む）

【課題】不純物で汚染された搬送アームを支障の無い状態で使用可能に再生することができる搬送アームの清浄化方法を提供する。
【解決手段】複数の処理室が連結された搬送室を備え、処理が行われる基板を前記搬送室に設けられた搬送アームにより各処理室間で搬送して順次基板に処理を行う有機ＥＬ素子製造装置の搬送アームの清浄化方法である。そして、搬送アームの前記基板を保持する保持部の前記基板と対向する面を研磨する研磨工程と、前記研磨した搬送アームを前記有機ＥＬ素子製造装置に取り付けた後に、減圧条件下で搬送アームをベークするベーク工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】大型の処理室であっても、短時間で確実に水分を除去することが可能な気体置換装置及び気体置換方法を提供する。
【解決手段】外部から遮蔽可能な空間において、有機ＥＬ用の基板を製造する処理室１を備える。処理室１内の気体を、Ｎ_２ガスに置換するガス置換装置２と、処理室１内の水分濃度を低下させる循環精製装置３と、循環精製装置３による水分濃度の低下を促進するように、処理室１内の温度を、所定の温度まで上昇させた後、低下させる温度調整装置４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】製造歩留まりを向上することが可能な対向ターゲットスパッタ装置を提供すること。
【解決手段】真空維持可能な真空槽と、真空槽内に配置されかつ基板を載置する基板ホルダーと、基板ホルダーに対向して設けられたターゲットを載置するターゲットホルダーと、ターゲットホルダーのうちターゲットを載置する表面の反対側に配置される磁石と、ターゲットホルダーに直流電源を印加するスパッタ電源と、真空槽内にガスを導入或いは排気するガス供排気手段とを備える対向ターゲットスパッタ装置において、磁石は環状の矩形状であり、かつ、磁石の長手方向の中心軸を前記ターゲットホルダーの長手方向の中心軸に対して傾けたことで解決できる。 （もっと読む）

【課題】ライン型蒸発源の設置間隔を狭く設定すると、メンテナンス性が悪くなる。
【解決手段】蒸着装置の構成として、Ｙ方向に並べて設けられた複数のライン型蒸発源３と、複数のライン型蒸発源３を、当該ライン型蒸発源の並び方向Ｙ及び／又は長手方向Ｘに個別に移動可能に支持する移動支持手段（１１〜１６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜形成装置の真空槽内で水晶振動子を用いて膜厚を測定する場合に、水晶振動子の温度変化によって膜厚測定値に誤差が生じる。
【解決手段】膜厚センサ５の構成として、膜厚測定用の水晶振動子１１と、この水晶振動子１１を保持するハウジング１３と、このハウジング１３を保持するとともに、ハウジング１３を介して水晶振動子１１を冷却する水冷式のホルダ２０とを備えた構成とする。また、ハウジング１３とホルダ２０との間に、熱伝導性を有する振動吸収部材２３を挿入する。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の利用効率をたかめ、有機化合物を含む層を有する発光装置の製造コストを低減するとともに、発光装置の製造に要する製造時間を短縮させることを課題とする。
【解決手段】成膜室内を減圧下とし、導電表面基板への通電によって、導電表面基板を急速に加熱し、導電表面基板上の材料層を短時間に蒸発させ、被成膜基板に蒸着し、被成膜基板上に材料層を成膜する。なお、急速に加熱する導電表面基板の加熱面積は、被成膜基板と同等のサイズとし、１回の加熱で１枚の被成膜基板への成膜を終了させる。 （もっと読む）

【課題】複数の機能領域を有する有機化合物膜を作製する成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜室内に複数の蒸発源を備え、それぞれの有機化合物からなる機能領域を連続的に形成し、さらに機能領域間の界面には混合領域を形成することができる。さらに、成膜室の内壁の表面は電解研磨されている。成膜部内を連続的に移動できる基板搬送手段を有し、基板搬送手段は、成膜部の上方に設けられ、成膜部と同一空間を有しており、成膜室内にある基板を平面方向に搬送する手段を有している。成膜部は、基板搬送手段による基板の搬送空間を含んで設けられ、基板搬送手段に基板が保持された状態で蒸着が行われる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、有機電界発光素子作製において、電極、水分吸着膜、環境遮断膜からなる複数の膜を、環境雰囲気に素子特性が影響されずに、容易に連続成膜することが可能なスパッタリング装置及び成膜方法を提供することを課題とした。
【解決手段】
チャンバー内に、筒状のバッキングプレートと、バッキングプレートの高さ方向を回転軸方向とするバッキングプレート回転手段と、バッキングプレートの外面に配置された複数のターゲット設置部と、各ターゲット設置部の背面位置に設置された極性の異なる対のカソードマグネットと、基板と、基板と対向する位置に具備されたターゲットに接続する機構を有するスパッタリング用電源とを有するマグネトロンスパッタリング装置とする。 （もっと読む）

有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を製造する方法であり、前記ＯＬＥＤにおける物理的欠陥の形成を減らす方法であって、第１基板及び第２基板から塵埃粒子を取り除くステップと、前記第１基板及び前記第２基板を、蒸着法を用いて別々にコーティングするステップと、前記第１基板及び前記第２基板を真空中で積層するステップとを有する方法が開示されている。
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【課題】蒸着源の開口の温度が低下する部分で、蒸発した蒸着材料が堆積することを防止
する。
【解決手段】内部に蒸着材料が収納されているセル４１と、セル上部に設けられ、蒸着材料の蒸気排出用開口が形成されたセルキャップ４２と、セル外側に位置し、セル外側に設けられた加熱手段４３Ａを支持する側壁部材４３と、側壁部材上端に固定された状態でセルキャップ上に密着されて配置され、蒸気排出用開口４２Ａと対応する位置に開口が形成された蓋４５とを含む。 （もっと読む）

有機成分を気化し、および該蒸気をマニホールド中の開口部を通じて該マニホールドから間隔をあけられた基板表面へ供給して、少なくとも二つの有機成分から構成された膜を形成する方法であって：単一の第１有機成分の第1の量を気化デバイスに供給し、そこでは該成分が気化され及び第1の所定速度で該マニホールドへ供給され；該第1有機成分を含む所定比率の有機成分混合物の或る量を輸送装置へ供給し；該輸送装置が該有機成分混合物を第2の所定速度で急速加熱領域に供給し、そこでは該混合物が気化され及び該マニホールドへ供給され；および、該有機成分を該マニホールド中で混合し、該混合気化成分が該開口部を通って該基板表面に堆積されることを可能にして、該膜を形成すること、を含んでなる方法。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子の製造装置において、長時間の蒸着においても膜厚の均一性を失うことなく高い材料利用効率を実現する。
【解決手段】電極を有する基板１上に有機化合物層を備えた有機発光素子を製造する蒸着装置において、蒸着源２０と基板１の間に配置した膜厚補正板２３を蒸着源２０とともに基板１に対してＸ方向に相対的に移動させる。膜厚補正板２３の開口２３ａが、Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って開口幅が変化する太鼓形状を有することで、開口端部における蒸着材料の斜入射成分の蒸着時間を増大させて膜厚を均一化する。また、膜厚補正板２３の開口２３ａの周縁に傾斜面２３ｂを備えることにより、蒸発物が開口２３ａの周縁に付着することによる開口寸法の変化を抑制する。これにより安定して所定の膜厚分布を得ることが可能となる。 （もっと読む）