【課題】被処理体に蒸着する成膜材料の蒸気を均熱化することができる有機ＥＬ成膜装置を提供する。
【解決手段】減圧された処理室３０内において、被処理体に成膜材料を蒸着して成膜処理する成膜装置であって、成膜材料の蒸気を噴出させる蒸気噴出口８０が処理室３０に配置された蒸着ヘッド６５を備える。蒸着ヘッド６５の内部には、処理室３０内に対して封止されたヒータ収納部１０２が形成されるとともに、ヒータ収納部１０２と処理室３０の外部とを連通させる連通路１０１が設けられる。ヒータ収納部１０２に収納されるヒータ１００の電力供給線１０４が、連通路１０１内に配置されて処理室３０の外側へ延びている。 （もっと読む）

【課題】水分を十分に除去した状態で成膜を行うことが可能な成膜装置を提供すること。
【解決手段】成膜装置１００は、クライオポンプ６３を含む第１排気手段６０と、ＭＢＰまたはＴＭＰを含む第２排気手段７０と、第１排気手段６０と第２排気手段７０とを切換えるバルブ切換部８２とを備えている。当該装置は、第１排気手段６０による水分除去が終わった後で、バルブ切換部８２によって第１排気手段６０から第２排気手段７０に切換えることにより、十分な水分除去と、成膜時におけるガスの排気とを両立させている。 （もっと読む）

【課題】被蒸着材の広い被蒸着面に、より均一に蒸着可能な蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸発された蒸発材料をガラス基板Ｗに付着させる蒸着装置において、ガラス基板Ｗに対向して配置される蒸発材料通路１３の出口１３ａに連通して、内部に拡散空間１６を有する放出用容器１５を設け、放出用容器１５のガラス基板Ｗ側で、蒸発材料通路１３の出口１３ａの対向部位を除く所定位置に複数の放出孔１７を穿設し、拡散空間１６に、蒸発材料通路１３の出口１３ａに対向して蒸発材料粒子を反射する反射面板６１Ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】材料容器内の材料の充填密度を高める。
【解決手段】蒸着源１００は、有機材料ｍａを収納する材料容器１１０と、材料容器１１０に収納された有機材料ｍａを加熱するヒータ１０５と、複数の貫通孔が形成された平板１１５ａを有し、平板１１５ａの押圧面１１５ａ１により材料容器１１０に収納された有機材料ｍａを押圧しながら、ヒータ１０５の加熱により気化した有機分子を複数の貫通孔に通す押圧部材１１５と、弾性力を用いて押圧部材１１５による有機材料ｍａへの押力を緩和するベローズ１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】スプラッシュの発生が抑制され、また、蒸着レートが安定した蒸着源、および蒸着装置を提供すること。
【解決手段】ルツボ８には、導電体からなる複数の加熱板１が間隙を持って重なって配置されている。各加熱板１には、膜材料５が搭載可能に設けられている。最上段の加熱板１には、膜材料５がセットされていない。誘電コイル１０によって磁界が形成されると、各加熱板１自体が誘電加熱によって斑なく発熱し、載せられた膜材料５も均一に加熱されるため、蒸着レートが安定する。また、膜材料５が薄く形成されているため、当該材料内における温度分布が略均一となり、スプラッシュの発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】高温及び高真空の環境下において安全性を高めることができる移送装置及びこれを備える有機物蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバと、真空チャンバ内に設けられ、基板が装着されるステージと、基板に有機物を蒸発させる蒸着源と、蒸着源に連結され、真空チャンバの外側に引き出される工程ユーティリティラインと、蒸着源を基板と平行に移動させ、工程ユーティリティラインが内設される移送装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大きな基板に対しても大型化することを小さく抑えつつ、かつ、精度よくレーザ光を照射できる転写装置を提供する。
【解決手段】転写装置１０は、チャンバ２０と、ドナー１１と基板１２とが固定されてチャンバ２０内に収容される固定台３０と、レーザ照射装置５０と、固定台３０を移動し、チャンバ２０内でのドナー１１と基板１２との位置決めを行う移動機構４０とを備える。チャンバ２０は、内側にドナー１１と基板１２と固定台３０とを収容するともに固定台３０の移動方向に枠によって仕切られてレーザ光が通る複数の開口２７〜２９を有する本体２５と、開口２７〜２９を気密に覆うレーザ光が透過可能なガラス板２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロヒーター、マイクロヒーターの製造方法、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】マイクロヒーターは、基板上に形成された金属パターン２０を含むことができる。金属パターン２０の下部には支持部３０が形成され、支持部３０によって、金属パターン２０を基板と離間させるとともに金属パターン２０を基板に固定することができる。スペーサ４０は基板から金属パターン２０の上面までの第２距離より大きい。上記マイクロヒーター及び金属パターン２０上に位置するターゲット基板と基板との間の距離は、スペーサ４０によって調節することができ、この結果、ターゲット基板上に細密なパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 無機ＥＬ素子のＥＬ発光層の形成において、反応性スパッタリング法に用いるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットについて、大気中に長期間放置しても強度が低下することのない、高強度のスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】 ２４〜４３質量％のＡｌと、１〜１０質量％のＥｕと、残部のＢａとからなるホットプレス体からなるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットについて、不可避不純物として含まれる水素の量を５０ｐｐｍ以下に制御する。このスパッタリングターゲットの製造は、原料粉末をホットプレスする際に、差圧０.１ＭＰａでの窒素ガスのガス透過率が１×１０^−３ｃｍ^２／ｓ以上のホットプレス型を用いて行う。 （もっと読む）

ＬＰＯＶＰＤによりＯＬＥＤを製造する方法が提供され、これには低い仕事関数の金属の有機複合体（例えばリチウムキノラートまたはリチウムシッフ塩基複合体）から電子注入層を形成するステップを含み、電子注入層は、不活性キャリアーガスの流れの下、ＯＬＥＤのその他の有機層、例えば正孔注入層、正孔輸送層、エレクトロルミネッセント層および電子輸送層と同一のリアクターにおいて堆積される。 （もっと読む）

【課題】成膜速度の調整を、容易・確実・安価に行うことの可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜装置１は、基板を設置する基板設置テーブルと、基板に蒸着するための物質を収納可能な空間をもつ蒸着源２と、前記物質を溶融・蒸発させるための熱を与える加熱手段と、前記空間を覆うように配置され、互いに異なる開口面積をもつ複数の第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２をもつ蓋２Ｆと、これら第１及び第２領域（Ｒ１，Ｒ２）のうち、一方の領域を前記基板に対して開くとき、他方の領域を閉じるシャッタ３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】材料と被成膜基板との間にマスクを設けることなく、被成膜基板に微細なパターンの薄膜を形成する成膜用基板、及び成膜方法を提供することを課題の一とする。また、このような成膜方法を用いて発光素子を形成し、高繊細な発光装置を生産性よく作製することを課題の一とする。
【解決手段】第１の領域及び第２の領域を含む透光性基板と、第１の領域において、透光性基板上に透光性の第１の断熱層と、第１の断熱層上に光吸収層と、光吸収層上に第１の有機化合物材料を含む層と、第２の領域において、透光性基板上に反射層と、反射層上に第２の断熱層と、第２の断熱層上に第２の有機化合物材料を含む層とを有し、第２の断熱層の端部は反射層の端部より内側に位置し、第１の断熱層と第２の断熱層とは間隔を有する。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ装置の製造工程において、基板に付着した異物を効果的に除去する製造装置および製造方法を提供すること。
【解決手段】有機ＥＬ装置の製造装置１００は、基体２０の表面に薄膜を形成する少なくとも一つの成膜装置１３０と、成膜装置１３０に接続され、基体２０に外力を加えることにより基体２０の表面に付着した異物を除去する除去手段が設けられた処理装置１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】有機電界発光表示装置の製造装置及び製造方法を提供すること。
【解決手段】上記有機電界発光表示装置の製造装置は、チャンバと、基板がその上面に載置するように上記チャンバ内部に配置され、所定パターンの開口が形成されているマスクと、上記マスクの下側に配置されて上記マスクの開口を通して上記基板に膜が形成されるように蒸着物質を上記マスク側に供給する蒸着物質供給源と、上記基板の底面に上記マスクが密着されるように上記基板の上面を上記マスク側に加圧し、上記基板の曲がった形状に沿って変形して上記基板の上面を加圧する基板−マスク密着ユニットとを含む。 （もっと読む）

【課題】材料層が形成された基板と転写対象の基板の間の真空度を高く保ちつつ、ムラのないレーザ照射による転写を可能とする技術を提供することを課題とする。
【解決手段】透光性を有し、光吸収層と、発光性材料を有する材料層を第１の面上に有する第１の基板と、第２の基板を対向させ、前記対向させた第１及び第２の基板のうち、第２の基板を真空治具の内部空間に設置し、前記真空治具の内部空間を減圧状態にし、前記第１の基板の第１の面と反対の側の面である第２の面からレーザビームを照射することにより、前記レーザビームが照射された領域の材料層が、第２の基板に転写される成膜方法及びそれを用いた発光素子の作製方法に関する。 （もっと読む）

反応性表面領域（ＲＳＡ）材料を電子デバイスの基体上に気相堆積するための装置および方法。本発明の気相堆積は、周囲圧力において空気中で行われ、ＲＳＡおよびプロセス中に使用される他の成分の環境への放出を最小限にするために残留蒸気が捕捉される。
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【要 約】
【課題】膜質の良い有機薄膜を成膜可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】基板ホルダ４０は基板７が水平にされた水平状態から起こされ、基板ホルダ４０に保持された基板７は、基板ホルダ４０と一緒に起立し、水平面から傾いた起立状態にされる。放出装置５０は起立状態の基板７と対面し、該基板７に有機材料の蒸気を噴出して、基板７表面に有機薄膜が成長する。有機薄膜が成長する間、基板７を起立状態にしておけば、有機薄膜に塵等の不純物が混入しない。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料のシャッター部材への付着に起因する膜厚や膜質が変化するのを防止し得る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着により薄膜をガラス基板Ｋに形成し得る蒸着室１と、蒸着材料を蒸発させて蒸着材蒸気を得る複数の蒸発用セル４と、蒸着室内に配置されて蒸発用セルからの蒸着材蒸気を材料移送管６を介して導く分散用容器７と、この分散用容器に設けられて蒸着材蒸気を所定の放出位置に導く放出用ノズル11先端の放出口を開閉し得る穴部22を有するシャッター部材21とを具備し、シャッター部材を、放出用ノズルの放出口の上方位置で且つこの放出口を閉鎖し得る閉鎖位置と開放し得る開放位置との間で移動自在に設けるとともに、シャッター部材の穴部が放出口に対応する開放位置にあっては、当該シャッター部材が放出用ノズルの放出口よりも下方位置に移動し得るように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】真空下、可撓性支持体にロール方式で多層薄膜形成を行う生産工程において支持体や成膜面にキズの発生しないガイドロール機構を組み込んだ真空成膜装置、及びこれを用い発光寿命の改善された生産性の高い有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】可撓性支持体（ウェブ）を支持し、真空中でウェブの搬送方向を３０度以上、２４０度以下、変更するためのガイドロール機構であって、搬送中、前記可撓性支持体は、ガイドロールの両端部においてのみガイドロールに接触し、かつ、少なくとも接触部分の一部において、可撓性支持体をガイドロール上に押さえる機構を設けたことを特徴とするガイドロール機構。 （もっと読む）

【課題】再現性や生産性を向上させ、蒸着量の調節が容易な蒸着装置を提供すること。
【解決手段】被処理基板１１を搬送させる搬送手段を備え、被処理基板１１に蒸着材料を蒸着させる蒸着装置１であって、蒸着材料を収容する坩堝２１〜２３と、該坩堝２１〜２３を加熱する加熱手段３０と、坩堝２１〜２３の開口部２９に設けられ、被処理基板１１の搬送方向に開口部２９の開口面積が制御された開口制御部４１〜４３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）