【課題】有機ＥＬ用マスクに付着した蒸着物を除去するクリーニングを行うときに、基板に対して完全に非接触状態で蒸着物を除去しつつ、高い洗浄度を得ることを目的とする。
【解決手段】有機ＥＬ用マスク１に付着した蒸着物質を除去する有機ＥＬ用マスククリーニング装置であって、有機ＥＬ用マスク１の一部または全部の領域に対してレーザ光Ｌを走査させるレーザユニット１３と、レーザ光Ｌの走査部位に向けて斜め方向から吸引を行う吸引ノズル４１と、レーザ光Ｌの走査部位を挟んで吸引ノズル４１の反対側からレーザ光Ｌの走査部位に向けて斜め方向から送風を行う送風ノズル４２と、を備えている。また、吸引ノズル４１と送風ノズル４２とをレーザ光Ｌの走査部位に追従して移動させるノズル移動部１５を備えている。 （もっと読む）

第一のデバイスが提供される。第一のデバイスは、プリントヘッドと、プリントヘッドに気密的に密閉された第一のガス源とを含む。プリントヘッドは、複数のアパーチャを備えた第一の層を含み、各アパーチャは０．５から５００マイクロメートルの最小寸法を有する。第二の層が第一の層に結合される。第二の層は、第一のガス源及び少なくとも一つのアパーチャと流体連結した第一のビアを含む。第二の層は絶縁体製である。
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【課題】従来技術に比べ材料使用効率が高く、また、多数の基板に対して連続して成膜することができ、スループットの高い製造装置を提供することを課題とする。
【解決手段】予備加熱された有機材料を供給管を通して成膜室に導入し、さらに供給管の先端に設けられたノズルから加熱された容器に導入し、容器の加熱温度によって有機材料が蒸発し、容器と重なる位置に配置された基板に成膜が行われる成膜装置とする。有機材料を予備加熱することによって、基板への蒸着が開始できるまでに要する時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】原料物質が格納された炉と、前記炉と連通されて前記炉で気化された原料物質を噴射するインジェクターと、前記炉の外側を囲むように設けられた高周波コイル部と、前記インジェクターの外側に設けられた抵抗式発熱部と、を含む原料供給ユニット及び原料供給方法を提供する。
【解決手段】本発明は、高周波誘導加熱法と抵抗発熱加熱法を混用して原料物質を気化させて供給するので、大容量の原料物質を用いることができて、薄膜厚さ及び薄膜品質の制御が容易である。 （もっと読む）

【課題】スプラッシュ粒子による捕捉部材の目詰まりを防止することのできる成膜装置を提供する。
【解決手段】本発明の成膜装置１００は、物理気相成膜法によって基板Ｗ上に成膜材料Ｍを成膜する成膜装置であって、基板Ｗを装着する基板装着部１２１を有する真空チャンバー１０１と、真空チャンバー１０１内に設けられた成膜材料Ｍを収容する成膜源１０４と、成膜源１０４と基板装着部１２１との間に設けられ、成膜源１０４からスプラッシュによって飛散したスプラッシュ粒子を捕捉する、複数の開口部を有する捕捉部材１３０と、捕捉部材１３０を成膜材料Ｍの沸点以上の温度に加熱する加熱装置Ｈと、を備えている。 （もっと読む）

本発明は、オプトエレクトロニクス構成素子のための薄膜カプセル化部（１）に関している。この薄膜カプセル化部（１）は、原子層堆積法を用いて堆積された第１のＡＬＤ層（３）と、原子層堆積法を用いて堆積された第２のＡＬＤ層（４）とを含んだ積層構造体（２）を有している。さらに本発明は、そのような薄膜カプセル化部を製造する方法並びにそのような薄膜カプセル化部を備えたオプトエレクトロニクス素子にも関している。
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【課題】有機ＥＬ用マスクに付着した蒸着物を除去するクリーニングを行うときに、基板に対して完全に非接触状態で蒸着物を除去しつつ、高い洗浄度を得ることを目的とする。
【解決手段】有機ＥＬ用マスク１に付着した蒸着物質６１を除去する有機ＥＬ用マスククリーニング装置であって、有機ＥＬ用マスク１を立てた状態で保持するマスク昇降ユニット４２と、有機ＥＬ用マスク１の一部または全部の領域に対して水平方向からレーザ光を走査させるレーザ洗浄部１１と、有機ＥＬ用マスク１の開口部３に裏面１Ｒ側から走査面１Ｓ側に向けた空気流ＡＦを形成する送気ノズル５３と、レーザ光の走査位置よりも下方に配置され、レーザ走査部１１の洗浄により有機ＥＬ用マスク１から飛散した遊離物質６２の吸引を行うための吸引スリット６２Ｓを斜め上方に向けた吸引ノズル６３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】結晶性の良好な半導体膜を成膜する。
【解決手段】処理室１０と、処理室１０の内部に互いに対向するように配置された第１電極２１及び第２電極２５とを備え、第１電極２１の第２電極２５側にはガス導入口２３を内部に有する凹部２２が設けられ、凹部２２は、ガス導入口２３から導入された原料ガスのプラズマ状態における電子密度を高めるように構成されたホロー放電部２２ｈと、ホロー放電部２２ｈで解離させた原料ガスの反応を促進させて処理室１０の内部に供給するためのバッファ部２２ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】基板マスク固定手段含めアライメント周りの機構を簡単化、あるいは簡素化することで保守性を向上できる、または、マスクの変形を回避し、高精度に蒸着できる成膜装置及び成膜方法、あるいは、駆動部等を大気側に配置あるいは配線を敷設することで真空内の粉塵やガスの発生を低減し、生産性の高い成膜装置を提供する。
【解決手段】基板６を基板ホルダー９１に載置し、前記基板とシャドウマスク８１とをアライメントし、前記基板とシャドウマスクとを、前記基板ホルダーとは独立して設けられた磁石によって吸着固定させて、真空チャンバ内で蒸着材料を基板に蒸着する際に、前記吸着固定を基板とシャドウマスクを立てた状態で行なう、あるいは、前記磁石は電磁石であり、前記電磁石を保持する基板マスク吸着体と、前記マスク吸着体を収納する収納ケースを有する。 （もっと読む）

【課題】制御用膜厚センサーによる計測データを補正し、高精度な膜厚制御を行う。
【解決手段】基板３１に蒸着させる蒸着材料の蒸気を発生させる蒸着源１０と、蒸着材料の蒸気をモニターして蒸着源１０を温度制御するための、水晶振動子を用いた制御用膜厚センサー２０と、水晶振動子を用いた補正用膜厚センサー４０と、を設ける。不連続的に蒸着レートを計測する補正用膜厚センサー４０による補正値に基づいて、制御用膜厚センサー２０の計測データを補正することで、膜厚制御の精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】シャドーマスクとガラス基板を重ね合わせて位置合わせを行ったのち、搬送機構による搬送中の衝撃等により発生する位置ズレを防止することのできる真空蒸着装置の重石板および真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】マスク保持部材１０１に固定されたシャドーマスクとしてのテンションマスク５２０の上面にガラス基板１０４を重ね合わせて位置合わせする。そして、ガラス基板１０４に重石板１０９を載荷し、その重力により、押圧して一体化した合体搬送体５００を形成する。重石板１０９の中空部には、合体搬送体５００にかかる衝撃を緩衝するための液体金属が充填率２５％以上８５％未満で充填されるか、その他の緩衝機構が配置されている。 （もっと読む）

【課題】保守管理を容易に行うことができる蒸発装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料１を貯蔵するホッパ１１４と、内径を上方側ほど拡げるように円錐状に開口させた接続口部１１２ａを上端側に有する第一の接続管１１２と、第一の接続管１１２の下方側とホッパ１１４とを接続する連絡管１１３と、外径を下方側ほど狭めるように円錐状に形成されて第一の接続管１１２の接続口部１１２ａに着脱可能に嵌合する接続口部１１５ａを下端側に有する第二の接続管１１５と、第二の接続管１１５の上端側に接続された坩堝１１６と、坩堝１１６を加熱する電熱ヒータ１１８と、坩堝１１６と共に電熱ヒータ１１８を包囲する冷却ジャケット１２０と、第一の接続管１１２の接続口部１１２ａを冷却する冷却コイル１２１と、前記接続管１１２，１１５内に回転可能に配設されたスクリュシャフト１２２とを備えて蒸発装置１００を構成した。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ層を適切にパターニングするためにバンクの表面にプラズマ処理を行う場合であっても、有機ＥＬ層が適切にパターニングされた有機ＥＬ表示装置を提供する。
【解決手段】基板１上に、第一電極２、導電層４、発光層５及び第二電極６を基板１側からこの順に積層して有し、かつ導電層４及び発光層６の周囲を取り囲むバンク３を有する有機エレクトロルミネッセンス表示装置であって、Ｘ線光電子分光法で測定したときに、上記導電層４の表面のフッ素原子の濃度は、全元素量に対して６原子％以下である有機エレクトロルミネッセンス表示装置である。 （もっと読む）

微粒子材料を気化するための装置１００であって、計量装置であって、微粒子材料を受け取るための貯留室１３０と、なお、該貯留室は該微粒子材料を気化チャンバ２１０内に吐出するための開口部１６０を有し、貯留室内に配置される回転可能なワイヤホイールブラシ１７０とを備え、該貯留室及び該ワイヤホイールブラシの寸法は、該ワイヤホイールブラシが該貯留室の内壁と協動して微粒子材料を流動化するように選択され、微粒子材料の計量された部分がワイヤホイールブラシの先端に同伴され、その後、貯留室開口部内に強制的に放出される、計量装置と、計量された材料を受け取り、気化するフラッシュ蒸発器１２０とを備える、微粒子材料を気化するための装置。
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【課題】回転成膜が可能で膜厚分布の向上が可能で、マスク本体の複数の開口部を任意の順序で開口させて種々の条件の蒸着が可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明の真空処理装置１は、真空槽２内において複数の開口部８を有するマスク７を介して基板５０上に蒸着を行う。マスク７には、所定の基準配列方向に沿って複数の開口部８の列が設けられたマスク本体９を有し、マスク本体９には、複数の開口部８の列と対応し基準配列方向に延びる複数のマスクシャッター１０Ａ〜１０Ｄが一体的に設けられている。真空槽２内に把持部２５、２６を挿入してマスク７の所定のマスクシャッター１０を保持して基準配列方向に移動させ所定の開口部８を開口させる。蒸着時には把持部２５、２６を真空槽２外に取り出して基板５０をマスク７と共に一体的に回転させる。 （もっと読む）

【課題】有機樹脂からなる平坦化膜及び電界発光層と、反射膜と半透過膜とを備える有機ＥＬ素子に関し、各構成における金属材料の統一を図ることにより、有機ＥＬ素子の製造プロセスを簡略化可能とする技術を提供する。
【解決手段】有機樹脂からなる平坦化膜５０及び電界発光層４０と、反射膜６０と、半透過膜３０とを備える有機ＥＬ素子において、反射膜６０、半透過膜３０、半透過膜に接続する補助配線７０のいずれもがＡｌ−Ｎｉ系合金で形成されていることを特徴する有機ＥＬ素子。 （もっと読む）

【課題】搬送チャンバを小型化できる、生産性の高い、あるいは、稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置または成膜装置あるいはシャドウマスク交換装置または同交換方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、真空チャンバであって、基板とシャドウマスクとのアライメントを行い、真空チャンバ内で蒸発源内の蒸着材料を基板に蒸着する真空蒸着チャンバと大気雰囲気部とに隣接し、前記２つの隣接部を介して前記真空蒸着チャンバに前記シャドウマスクを搬入出する手段を有するシャドウマスク交換室を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸着工程時基板の重量によりマスク組立体のパターンが変形されることを防止して、蒸着精密度を向上させることができるマスク組立体及びこれを利用した平板表示装置用蒸着装置を提供する。
【解決手段】開口部１２０及び開口部を囲んだフレーム１１０を含むフレームマスク１００と；一つまたは複数のパターンが形成されるパターン部及び引張されてフレームと接合（溶接、半田付け、ロウ付け等）される接合部を含むパターンマスク２００；及び開口部を横切って、パターンマスクと接合（溶接、半田付け、ロウ付け等）される支持台３００を含むマスク組立体に関する。チャンバーと；チャンバーの下側に位置する蒸着源；及び蒸着源上に位置し、基板を支持するためのマスク組立体を含むことを特徴とする平板表示装置用蒸着装置に関する。 （もっと読む）

【課題】真空中でドナー基板と被転写基板とを容易に分離することが可能な表示装置の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】ドナー基板４０および被転写基板１１Ａを重ね合わせた状態で、ドナー基板４０の裏面の辺４０Ａ近傍に本体５１の曲面５１Ａの一端を当接させる。ドナー基板４０の裏面の上で本体５１を矢印Ｒ１方向に回動させることによりドナー基板４０の裏面を曲面５１Ａに巻きつけると共に、静電チャック５２により曲面５１Ａに密着させる。これにより、ドナー基板４０は、辺４０Ａから曲面に変形されると共に被転写基板１１Ａから剥離される。ドナー基板４０と被転写基板１１Ａとの剥離位置４０Ｃは、変形を開始した辺４０Ａから対辺４０Ｄに向かって移動する。剥離位置４０Ｃが対辺４０Ｄに到達すると、完全にドナー基板４０が被転写基板１１Ａから剥離される。 （もっと読む）

【課題】簡便な工程で歩留まりのよい有機ＥＬ表示パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】複数個のフィルタ素子が配設されたカラーフィルタ３０を備える第１の基板２０上に、接続端子４６ａが形成された接続用の電極をそれぞれ備える互いに同じ構成の複数個の有機エレクトロルミネッセンス素子４０を、各フィルタ素子に重なるように設けることにより、表示装置用基板６０を形成する工程と、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を駆動する駆動回路と、駆動回路に導通する接続部５２ａとを備える駆動用基板５０を準備する工程と、表示装置用基板と駆動用基板とが貼り合わされた状態において、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を取り囲むように、表示装置用基板または駆動用基板の表面に貼り合わせ部材７４Ｘを配置する工程と、接続端子と接続部とが当接するように、表示装置用基板と駆動用基板とを貼り合わせる工程とを含む、表示パネルの製造方法。 （もっと読む）