【課題】蒸着装置及びこれを利用した有機発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着特性及び蒸着膜均一性を向上させることができるように、ベースと、該ベース上に形成された熱遮断層、熱遮断層上にストライプ状に形成され、蒸着する蒸着材料を加熱するための発熱層と、及び熱遮断層上に形成され、発熱層上に蒸着材料を配することができる空間を画定するようにパターニングされた隔壁と、を備えた蒸着装置、及びこれを利用した有機発光素子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】発光効率を改善することが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】画素電極を形成する工程と、第１有機材料及び前記第１有機材料よりも昇華する温度が高い第２有機材料を含む混合材料を供給する工程と、前記混合材料に含まれる前記第２有機材料が昇華する温度よりも５０℃以上高い温度で前記混合材料を加熱する工程と、昇華した前記混合材料を前記画素電極の上方の面に蒸着させる工程と、を具備したことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】大型基板上に膜厚が均一で不純物の少ない薄膜を高速に成膜させ、長時間連続運転可能な真空蒸着装置及び成膜装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ層が形成される基板１が蒸着室５内に垂直に設置され、基板１の上には、有機ＥＬ層を選択的に蒸着するためのファインメタルマスク４が配置されている。有機ＥＬ層の材料となる蒸発源８が蒸着室外に配置されている。ノズルが線状に配置した蒸発ヘッド３と蒸発源８とは軟らかい配管７によって接続している。蒸発ヘッド３を、ノズルの配置方向と直角方向に移動させることによって、基板１に有機ＥＬ層を蒸着する。蒸発ヘッド３と蒸発源９とを軟らかい配管７で接続することによって、蒸発ヘッド３のみを移動させることが可能になり、装置の機構を簡略化でき、また、可動機構から発生する不純物による有機ＥＬ層の汚染を防止することが出来る。 （もっと読む）

【課題】簡便なプロセスで作製され、低消費電力で、寿命の長い発光装置を提供する。
【解決手段】パッシブマトリクス型の発光装置であって、発光装置の画素部には有機化合物層が設けられ、有機化合物層は混合領域を有する。混合領域は正孔輸送材料及び電子輸送材料の両方を含む。または混合領域は濃度勾配を有するホスト材料を有する。混合領域の中心に、発光材料が添加される。またはホスト材料の濃度が高い領域に発光材料が添加される。 （もっと読む）

【課題】 テンションをかけた状態でマスクフレームに固定された成膜マスクを用いて基板上に成膜を行う場合、成膜マスクと基板の各々の撓み形状の差により、マスクフレームの開口の四隅において成膜マスクと基板の間に隙間が生ずる。この隙間により、成膜パターンがぼけたり、成膜位置がずれたりする。
【解決手段】 マスクフレームの開口の四隅において、被成膜基板を成膜マスクに押し当てる押圧部材を有する押圧装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】光学定数が変動した場合にも、光学膜厚を高い安定性を以って制御することができる有機ＥＬ素子の製造システムおよび有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子製造システムには、成膜装置部１３１を含むホール注入層形成装置１３が設けられている。成膜装置部１３１では、ロット生産に先行して先行サンプルが作製され、先行サンプルは、検査装置２１において、先行サンプルに形成されたホール注入層の屈折率が測定され、当該測定データが検査サーバ２２に送られる。検査サーバ２２は、取得した測定データに基づき、ホール注入層として必要な光学膜厚を得るための成膜条件について最適レシピＩＤを規定する。最適レシピＩＤは、工場ホストコンピュータ１０を介して成膜装置部１３１へと送られ、成膜装置部１３１では、これに基づくスパッタリング時間で成膜が実行される。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットの大型化に伴い、ターゲットに大電力が投入されてもスプラッシュを抑制することができる有機ＥＬ素子の反射電極膜形成用銀合金ターゲットを提供することを課題とする。
【解決手段】 Ｉｎ：０．１〜１．５質量％を含み、残部がＡｇおよび不可避不純物からなる成分組成を有した銀合金ターゲットであって、該合金の結晶粒の平均粒径が、１５０〜４００μｍであり、前記結晶粒の粒径のばらつきが、平均粒径の２０％以下であることを特徴とする、有機ＥＬ素子の反射電極膜形成用銀合金ターゲットである。 （もっと読む）

【課題】シャッターに付着し堆積した蒸着材料を、チャンバー（蒸着室）内を大気圧に戻すことなく真空雰囲気を維持したままで、坩堝に戻すことなく除去するようにした、蒸着装置とこれを備えた有機ＥＬ装置の製造装置を提供する。
【解決手段】蒸着室２内に配置されて蒸着材料３を収容する坩堝４と、坩堝４内の蒸着材料３を加熱する蒸着用加熱装置５と、坩堝４の開口部４ａを覆う状態と開放した状態とに切り換えられるように移動可能に設けられたシャッター６と、シャッター６が坩堝４の開口部４ａを開放した状態にするように移動した位置に、配置された回収容器７と、シャッター６を加熱するシャッター加熱装置８と、を含む蒸着装置１である。 （もっと読む）

【課題】オーバーシュートが小さく蒸着レートコントロールが容易で、蒸着材料を短い加熱時間で所定温度に到達させることができ、また基板全体に短時間に蒸着しタクトタイムを短縮する事が可能な実用性に秀れた蒸着装置における蒸発源の提供。
【解決手段】基板３と対向状態に設ける容器２に蒸着材料１を収納し、この容器２内の蒸着材料１を加熱して蒸発させることで基板３の成膜面４に蒸着材料１を付着させて成膜を行う蒸着装置における蒸発源であって、容器２は、基板３の成膜面４と対向する上面部７と蒸着材料収納本体部５とから成る箱状に構成し、この上面部７に、蒸発した蒸着材料１が通過可能な蒸着材料通過孔６を複数並設状態に設け、容器２にマイクロ波吸収体を設け、容器２にマイクロ波を照射してマイクロ波吸収体を発熱させるマイクロ波照射部８を備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板やマスクの撓みを低減し高精度に蒸着できる、または搬送チャンバを小型化できる、あるいは駆動部等を大気側に配置することで真空内の粉塵やガスの発生を低減し、生産性の高いまたは稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置またはその製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、真空チャンバ内での基板とマスクとのアライメントを前記基板または前記マスクを具備する垂下体として垂下した状態で行い、該基板に蒸着材料を蒸着する際に、前記垂下体上の接触部を移動させて前記垂下体を垂直にし真空チャンバ内に搬送し、前記位置合せ位置にセットし、前記垂下体の垂下体接触部と前記搬送する搬送手段の前記垂下体接触部との搬送接触部とを離反し、その後前記アライメントを行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄膜蒸着装置を提供する。
【解決手段】 基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、蒸着物質を放射する蒸着源と、蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、蒸着源ノズル部と対向して配され、第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、を備え、パターニングスリットは、それぞれ複数のサブスリットを備えることを特徴とする薄膜蒸着装置である。 （もっと読む）

【課題】
本発明は高精彩に成膜できるまたは生産性あるいは稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置または有機ＥＬデバイス製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、真空蒸着チャンバの壁に設けられた真空隔離手段から前記マスクを搬出し、前記真空隔離手段を共有するマスク洗浄チャンバで前記基板に付着した前記蒸着材料の堆積物にレーザ光を照射し前記マスクをドライ洗浄し、洗浄後前記マスクを真空隔離手段を介して前記真空蒸着チャンバに戻し、前記蒸着を行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ドライ洗浄とウエット洗浄とを組み合わせてマスク部材をクリーニングする際に、その洗浄プロセスを円滑に運転させることができ、マスク部材を効率的にクリーニング処理を行えるようにする。
【解決手段】ロードステージ１０と、レーザ光を用いたドライ洗浄ステージ１１と、洗浄液にマスク部材４を浸漬させて行う第１のウエット洗浄ステージ１２と、マスク部材４に対してシャワー洗浄を行う第２のウエット洗浄ステージ１３と、マスク部材４に熱風を供給して行う乾燥ステージ１４と、アンロードステージ１５とから構成されるクリーニング装置において、ロードステージ１０からドライ洗浄ステージ１１にマスク部材４を搬送・移載する同期式マスク搬送手段２０Ｃと、ステージ１１〜１５間にマスク部材４を搬送・移載する非同期式マスク搬送手段２０Ａとが設けられている。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内で第１基板に対する基板の移送及びアライン工程の実行と同時に、第２基板に対する蒸着工程を行えるようにすることで、基板の移送及びアライン工程時に消耗する有機物質材料の損失を減らして材料効率を最大化し、工程のタックタイムを最小化できる有機物蒸着装置及び蒸着方法を提供する。
【解決手段】有機物蒸着装置は、内部が第１基板蒸着領域及び第２基板蒸着領域に区分されるチャンバと、前記第１又は第２基板蒸着領域内のから第１方向に移動して第１基板又は第２基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、前記有機物蒸着源がそれぞれ第１又は第２基板蒸着領域に位置するように前記有機物蒸着源を第２方向に回転移動させる第２移動手段とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】成膜中に基板を搬送しつつ、基板上に所望の被膜のパターンを形成する成膜方法および成膜装置を提供する。
【解決手段】並列状に配列した複数の孔部を有する、ライン状の蒸着源の前記孔部から蒸着材を飛散させながら、前記孔部に対向する基板およびマスク部材を前記孔部が配列する方向に対して略直交する方向に搬送し、前記基板の上に前記蒸着材を蒸着して薄膜を積層する成膜方法であって、前記蒸着源に隣接し、前記蒸着源からみて搬送により前記基板および前記マスク部材が移動する方向とは反対側に設けられた加熱手段を用いて、前記基板の被蒸着部分を予備加熱した後、前記被蒸着部分に前記蒸着材を蒸着することを特徴とする成膜方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いて有機ＥＬ用マスクに付着している有機材料を除去するときに、有機ＥＬ用マスクに復元不能なダメージを与えることなく、高い洗浄度を得ることを目的とする。
【解決手段】有機材料５１が付着した有機ＥＬ用マスク２の表面にレーザ光を走査して有機材料５１を除去する有機ＥＬ用マスククリーニング方法であって、有機材料５１の層を透過させてレーザ光Ｌを有機ＥＬ用マスク２に照射するときに、有機材料５１を固形状態に維持し、且つ有機ＥＬ用マスク２が照射後に変形しないレーザ光Ｌを照射している。また、レーザ光Ｌを照射することにより、有機材料５１と有機ＥＬ用マスク２とに温度差による熱膨張差を持たせることにより層間に剥離力を作用させて有機材料５１の除去を行っている。 （もっと読む）

【課題】成膜される膜の膜厚均一性に優れた成膜装置および成膜方法を提供する。
【解決手段】容器１３１と，容器１３１内を加熱するヒータ１３７と、容器１３１内に設けられ、液体状または固体状の成膜材料１３５がその内部に置かれ、気体状となった成膜材料を容器１３１内に供給する成膜材料供給部１３３と、容器１３１に設けられた開口部１３６と、被成膜体１１を開口部１３６の最外部よりも内側に位置させる回転ドラム１１０と、開口部１３６と連通する真空容器１０２と、真空容器１０２を排気する真空ポンプ１０３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マスク組立体、その製造方法及びこれを用いた平板表示装置用蒸着装置に関し、蒸着工程時に工程チャンバの内部温度により所定パターンで形成される開口部の位置または形態が変化することを防止して基板上に高精細パターンが安定的に蒸着されるようにするマスク組立体、その製造方法及びこれを用いた平板表示装置用蒸着装置を提供する。
【解決手段】マスク組立体は、複数の第１開口部が形成されるオープンマスクと、前記オープンマスクに接合され、前記第１開口部内側に位置する複数の第２開口部が形成されるパターンマスクとを含み、前記オープンマスクは前記パターンマスクに比べて相対的に小さい熱膨脹係数を有する物質で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸着ソース及び有機発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】熱源と、熱源上に配置されて熱源から発生した熱を伝達する熱伝逹プレートと、蒸着材料を配置するように熱伝逹プレート上に配置された平坦化層と、を備え、熱源は、熱伝逹プレートの領域の中央領域より中央領域を取り囲む熱伝逹プレートのエッジ領域にさらに多くの熱を供給するように形成された蒸着ソース及び有機発光素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板やマスクの撓みを高精度に蒸着できる有機ＥＬデバイス製造装置及び成膜装置並びに液晶表示基板製造装置を提供する。
【解決手段】本発明は、前記基板を立てた姿勢に保持する基板保持手段と、前記シャドウマスクを保持するアライメントベースと、前記アライメントベースを垂下した姿勢に保持するアライメントベース垂下手段と、前記アライメントベースの垂下された垂下平面での前記アライメントベース回転の動きに追随する送り手段を有するアライメントベース支持手段と、前記基板とシャドウマスクに設けられたアライメントマークを撮像するアライメント光学手段と、前記垂下姿勢の状態で前記アライメントベースを駆動するアライメント駆動手段と、前記アライメント光学手段の結果に基づいて前記アライメント駆動手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）