【課題】簡素な構成で温度分布の均一化を図ることができ、材料の余分な充填を低減することができる真空蒸着装置及び温度調整方法を提供する。
【解決手段】外部より搬入される被蒸着体Ｂを収容可能な真空チャンバ１と、該真空チャンバ１内に設けられて蒸着材料Ｍを収容する坩堝２と、該坩堝２を加熱して前記蒸着材料Ｍを気化させる加熱源３と、坩堝２の底部２ｃに分散配置され坩堝２を支持すると共に、坩堝２と真空チャンバ１の床部１ａとの間で伝熱する複数の支持部５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】室内の気密を保持しながら成膜材料を補充する材料供給装置を提供する。
【解決手段】材料供給装置１００は、有機材料３０５が収納された材料容器３００と、材料容器３００を投入する材料投入室１１０と、蒸着源ヘッド２００ａに連結された連結管１２０ｂの内部通路と連通し、その連通した部分を材料気化部として、投入された材料容器３００を材料気化部まで搬送させる搬送路１２０ａを有し、材料気化部にて気化された有機分子を連結管１２０ｂの内部通路を介して蒸着源ヘッド２００ａに向けて送り出す材料輸送室１２０と、材料輸送室１３０から材料容器３００を取り出す材料取出室１３０と、を有する。材料投入室１１０と材料輸送室１２０と材料取出室１３０とは、それぞれ所望の減圧状態に維持されている。 （もっと読む）

【課題】固体原料を加熱して蒸発させて成膜用の原料ガスを得るにあたって、熱による劣化や変質を抑えながら長時間に亘って安定した量の原料ガスを得ること。
【解決手段】固体原料を貯留する粉体貯留部と、この粉体貯留部から供給される固体原料を溶融させて液体原料を得る粉体受け入れ室と、この粉体受け入れ室から取り出した液体材料を気化させることにより原料ガスを得る気化室と、を設けて、気化室では成膜処理に必要な生成量となるように液体材料に大きな熱量を加えて原料ガスを発生させる一方、粉体受け入れ室では固体原料が溶融できる程度の小さな熱量を加えて熱劣化を抑えながら液体原料を得て、この液体原料を粉体受け入れ室から気化室に向かって通流させる。 （もっと読む）

【課題】精度よくアライメントできるアライメント装置及びアライメント方法並びにそれらを用いて高精度に蒸着できる有機ＥＬデバイス製造装置及び成膜装置を提供することである。
または、アライメントに必要な駆動部等を大気側に配置することで真空内の粉塵や発熱を低減した生産性の高い、あるいは、保守性を高めて稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置及び成膜装置を提供することである。
【解決手段】シャドウマスクはアライメント用の貫通孔を有し、アライメント部は、前記貫通孔の一端側から光を入射する光源と前記他端を撮像する撮像手段とを有するアライメント光学系と、前記撮像手段の出力に基づいてアライメントを行なう制御部とを有することを特徴とする。さらに、上記特徴に加え、前記貫通孔は前記シャドウマスクの前後に貫通した孔であり、前記アライメント光学系は前記少なくとも前記基板への処理時に前記貫通孔への処理材の付着を遮蔽する遮蔽手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発光膜中のＯ含有量を十分に低減することができるＥＬ素子製造用スパッタリングターゲットの製造方法を提供する。
【解決手段】ＥＬ素子製造用スパッタリングターゲットの製造方法が、少なくとも、２価金属の硫化物と、３価金属と、発光中心元素の硫化物とを混合して混合物を得る混合工程と、該混合物を成形して成形物を得る成形工程と、該成形物を焼結してＥＬ素子製造用スパッタリングターゲットを得る焼結工程とを含むと、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】蒸着速度を低下させることなくＸ線による悪影響を避け得る電子ビーム蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空容器１内に配置された坩堝２内の蒸着材料に電子ビームＥＢを照射し、この電子ビームの照射により蒸発した蒸着材料を真空容器１内の基板ホルダー４に保持された基板Ｋ表面に付着させて薄膜を形成するための蒸着装置であって、坩堝２と基板Ｋとの間に円筒体からなるＸ線遮蔽体１１を水平軸心回りで回転自在に配置するとともに、このＸ線遮蔽体１１を加熱するヒータ１３を具備し、且つＸ線遮蔽体１１を、坩堝２の開口部からＸ線を被蒸着部材に照射した際に、Ｘ線ＲによるＸ線遮蔽体１１の投影部分が被蒸着部材の薄膜形成範囲に略一致するような大きさにしたものである。 （もっと読む）

【課題】酸化物導電膜との低い接触抵抗を実現すると共に、優れた反射率を達成できるＡｌ合金反射膜を備えた有機ＥＬディスプレイ用の反射アノード電極を提供すること。
【解決手段】基板上に、Ｎｉ又はＣｏを０．１〜２原子％含有するＡｌ合金膜を成膜し、前記Ａｌ合金膜を、真空または不活性ガス雰囲気下、１５０℃以上の温度で熱処理し、次いで酸化物導電膜を、前記Ａｌ合金膜と直接接触するように成膜することを特徴とする有機ＥＬディスプレイ用の反射アノード電極の製造方法。 （もっと読む）

【課題】真空蒸着法を採用し、安定した膜厚分布が得られるインライン蒸着装置、有機ＥＬ装置の製造装置、有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例のインライン蒸着装置としての有機蒸着部は、減圧可能なチャンバーとしての有機蒸着室１２５と、有機蒸着室１２５内において基板Ｗを所定の搬送方向に搬送する基板搬送経路１２５ａ，１２５ｂ，１２５ｃと、基板Ｗの搬送方向に複数の蒸着室１２５ｅとを有し、それぞれの蒸着室１２５ｅにおいて、基板搬送経路１２５ａ，１２５ｂ，１２５ｃの数を３本とするとき、３＋１個の蒸着源１１０を搬送方向に直交する方向において、基板搬送経路１２５ａ，１２５ｂ，１２５ｃの直下を避けた位置に等間隔に設けた。 （もっと読む）

【課題】スプラッシュの発生をリアルタイムで検出できるようにした物理気相成膜装置と、有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】物理気相成膜法によって被成膜体に成膜材料を成膜する物理気相成膜装置１である。真空チャンバー３と、真空チャンバー３内に設けられた成膜材料からなる成膜源４と、成膜源４から成膜材料を被成膜体２に向けて飛翔させる成膜手段５と、真空チャンバー３の外に配置されて、真空チャンバー３に設けられた透光性の窓８を透して成膜源４と被成膜体２との間に光を照射する光源１０と、真空チャンバー３の外に配置されて、光源１０から照射された光を直接的にまたは間接的に受光することで、成膜源４と被成膜体２との間での成膜材料の飛翔状況を観察する観察手段１１と、を有してなる。 （もっと読む）

【課題】露光マスク数を削減することでフォトリソグラフィ工程を簡略化し、酸化物半導体を有する半導体装置を低コストで生産性よく作製することを課題の一とする。
【解決手段】チャネルエッチ構造の逆スタガ型薄膜トランジスタを有する半導体装置の作製方法において、透過した光が複数の強度となる露光マスクである多階調マスクによって形成されたマスク層を用いて酸化物半導体膜及び導電膜のエッチング工程を行う。エッチング工程において、第１のエッチング工程は、エッチング液によるウエットエッチングを用い、第２のエッチング工程はエッチングガスによるドライエッチングを用いる。 （もっと読む）

【課題】ノズルでの蒸着物質の凝縮を防止することができる蒸発源を提供する。
【解決手段】蒸着物質が位置し、一部分が開口された蒸着物質貯蔵部と、開口された部分に連結され、蒸着物質を噴射するための開口部を有するノズル部３０と、ノズル部３０の少なくとも一部の角部を取り囲む反射板５０と、蒸着物質貯蔵部を取り囲むハウジング６０と、ハウジング６０と蒸着物質貯蔵部との間に介在される加熱部と、を含む蒸発源１００と、基板を支持するチャンバーとを含む。 （もっと読む）

【課題】基板内の成膜のカバレッジ性を改善することができ、異物があった場合においても、この異物に起因する欠陥部が生じる虞が無く、外部からの酸素や水分の進入を防止することができ、薄膜の信頼性を確保することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを収納する真空容器と、この真空容器内かつ基板Ｗに対向して配設される複数対のハース４Ａ、４Ｂ、５Ａ、５Ｂと、これらのハース４Ａ、４Ｂ、５Ａ、５Ｂにプラズマビームを照射するプラズマガン６、７とを備え、ハース４Ａ、４Ｂとハース５Ａ、５Ｂとを時系列的に切り替えることにより、基板Ｗ上に成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ層への異物の混入や損傷を阻止することができ、しかも製造コストの点で優れた有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ層の転写装置を提供する。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ素子３００の製造方法は、転写基板６１５上に有機ＥＬ層３３０を形成する有機ＥＬ層形成工程と、有機ＥＬ層形成工程で有機ＥＬ層３３０を形成した転写基板６１５の有機ＥＬ層側に被転写基板６２４を重ね合わせて輻射線を照射することにより有機ＥＬ層３３０を転写基板６１５から被転写基板６２４に転写する有機ＥＬ層転写工程と、有機ＥＬ層転写工程で有機ＥＬ層３３０を被転写基板６２４に転写した後の転写基板２００に残った残渣を輻射線を照射することにより除去する残渣除去工程と、を備える。有機ＥＬ層形成工程、有機ＥＬ層転写工程、及び残渣除去工程はいずれも真空中で行われる。 （もっと読む）

【課題】成膜する際に、スプラッシュの原因となる蒸着源にて発生する粒子を速やかに取
り除くことにより、スプラッシュに起因する欠陥等の不具合が生じる虞の無い薄膜を成膜
することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを収納する真空容器２と、真空容器２内の側壁かつ基板Ｗの成膜面の
下方に配設され蒸着材料を収納する有底筒状のハース４と、このハース４に収納された蒸
着材料を加熱するプラズマガン５とを備え、このハース４はプラズマガン５と対向して配
置され、このハース４の軸線Ｌ１は、基板Ｗの成膜面の垂線Ｌ２と略直交している。 （もっと読む）

【課題】少ない工程でより性能の高い有機ＥＬ素子を製造することが可能な製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子パネル５００の製造装置８０は、各層の成膜を行う複数の蒸着室１２乃至１５及び２２乃至２５を備える。蒸着室１２乃至１５及び２２乃至２５の外部には、蒸着物５６の膜厚を計測するエリプソメータ７０がそれぞれ設けられる。蒸着室１２のエリプソメータ７０により計測した膜厚が、予め設定された膜厚となった場合、真空搬送用ロボット１１は次段階に設けられる蒸着室１３へ蒸着物５６が蒸着されたガラス基板５１を搬送する。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料が劣化しにくい真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の真空蒸着装置１は、真空槽１１とボックス２１とを有しており、真空槽１１はボックス２１に通路１４を介して接続されている。交換用の蒸着容器３１ｂは内部空間が蓋３３で密閉されている。蓋３３は、蒸着容器３１ｂをボックス２１内部に搬入し、該内部空間が不活性ガスで置換されてから開けられるので、有機材料３２が劣化しない。蒸着容器３１ｂはボックス２１に挿入されたグローブ３６で把持され、真空槽１１内部を移動する。 （もっと読む）

粒子材料を計量し、気化するための装置が、計量デバイスであって、粒子材料を受け取るための貯蔵室と、内部容積を有し、第１の開口部２５４及び第２の開口部２００を有するハウジングと、内部容積内に配置され、滑らかな表面と、外周溝２７５とを有する回転可能シャフト２７０と、貯蔵室内に配置され、粒子材料を流動化して該粒子材料を貯蔵室から外周溝内に移送するために回転可能シャフトと協働する、複数の棒２９５を有する回転アジテーター２９０とを備え、粒子材料が溝によって移送されるように協働し、スクレーパー２８０が、その中に保持される粒子材料を取り除き、計量された量の粒子材料を第２の開口部を通して送達するように溝と協働し、回転可能シャフト及びスクレーパーは粒子材料を第２の開口部において流動化するように協働する、計量デバイスと、受け取った粒子材料をフラッシュ蒸発させるフラッシュ蒸発器とを備える。
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本発明は蒸着物質供給装置およびこれを備えた基板処理装置に係り、さらに詳しくは、有機物質が大容量で充填されて変質なしに保管されると共に、所望の量だけ有機物質を気化させて基板に供給することのできる蒸着物質供給装置およびこれを備えた基板処理装置に関する。
本発明に係る蒸着物質供給装置は、内部に原料物質が充填される貯留空間および原料物質が気化される気化空間が連通状に形成される坩堝と、前記坩堝に充填された原料物質を貯留空間から気化空間に連続的に又は周期的に搬送する搬送ユニットと、前記坩堝に形成される気化空間の外側に配設されて原料物質を気化させる熱を供給する発熱ユニットと、を備える。また、本発明に係る蒸着物質供給装置は、前記坩堝に形成される貯留空間の外側に配設されて前記貯留空間に貯留された原料物質の熱変質を防止する冷却ユニットをさらに備える。 （もっと読む）

粒子材料を計量し、気化するための装置１９０が、粒子材料を計量するための計量デバイスであって、粒子材料を受け取るための貯蔵室２３０と、第１の開口部及び第２の開口部を有するハウジング２４０と、内部容積２５０内に配置され、滑らかな表面と、外周溝とを有する回転シャフト２７０と、貯蔵室内に配置され、粒子材料を流動化し、該粒子材料を貯蔵室から外周溝内に移送するために回転可能シャフトと協働する、複数の棒を有する回転するアジテーター２９０とを備え、粒子材料が溝によって移送されるように協働し、スクレーパーが、その中に保持される粒子材料を取り除き、計量された量の粒子材料を、前記第２の開口部を通して送達するように溝と協働し、構造が、第２の開口部において粒子材料を流動化する、計量デバイスと、計量された粒子材料を受け取り、フラッシュ蒸発させるフラッシュ蒸発器２１０とを備える。
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【課題】ルツボの有機材料への水分の混入を抑えるとともに、成膜時の成膜レートや圧力等の安定性を向上させる。
【解決手段】成膜室２の前段に設けられた材料前処理室１において、ルツボ４にて昇華精製された有機材料を前処理ヒーター６によって加熱し、水分量を低減した環境で溶融して固化させる。この材料前処理工程で、ルツボ４の有機材料から水分を除去するとともに、有機材料の材料充填率を高めて、成膜室２における成膜の安定性を向上させる。 （もっと読む）