【課題】実用上十分な強度のＸ線を発生し得る、異極像結晶を用いたＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】内部に高真空または低圧ガス雰囲気を維持する容器１と、容器内に配置された異極像結晶４と、異極像結晶の温度を昇降させる温度昇降手段３、５〜７と、容器内における温度昇降手段によって熱励起された異極像結晶から生じる電界の到達範囲内に配置され、異極像結晶からの電子線の照射を受けるＸ線発生用金属ターゲット８を備える。金属ターゲットは、異極像結晶から間隔をあけてこれに対向して配置されるとともに、異極像結晶に向かってのびる先の尖った突起を少なくとも１つ有し、突起の先端部において異極像結晶から生じる電界の強度が増大する。 （もっと読む）

【課題】電子ビームとレーザ光の正面衝突が実現でき、かつ衝突点におけるレーザ光のプロファイルを運転中に計測することができ、これにより、衝突確率が高くＸ線の発生出力を高めることができ、かつ衝突点で発生したＸ線をレーザ光の導入方向から効率よく取出すことができるＸ線発生装置用のレーザ導入兼Ｘ線取出機構を提供する。
【解決手段】レーザ光３を電子ビーム１との衝突点２ａに向けて反射するレーザ導入ミラー３２と、レーザ導入ミラーを気密に囲みかつ電子ビームの通過するビームチャンバ１ａと連通するレーザチャンバ３４と、ビームチャンバとレーザチャンバとの間を気密に開閉可能な真空バルブ３６と、衝突点で発生しレーザ導入ミラーを透過したＸ線をレーザチャンバから取出すＸ線取出し窓３８と、レーザ導入ミラーを透過したレーザ光３ａのプロファイルを運転中に計測するプロファイル検出装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 空冷構造をもつと同時にコンパクト化をも可能にしたＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】 本発明によるＸ線発生装置１は、バルブ９の先端に設けられた導電性で且つ熱伝導性の出力窓保持部１２に固定された出力窓１３の内面に、接地電位をなすターゲット１４が固着され、ターゲット１４に向けて電子ビームを照射するカソード１６をもったＸ線管８と、このＸ線管８を駆動させる電源部２１とを保護ケース２内に収容したＸ線発生装置１であって、出力窓保持部１２に形成されたフランジ部１８は、熱伝導性及び導電性を有する保護ケース２に接触させられて固定され、Ｘ線管８に発生し続ける高熱や電気を、保護ケース２を伝って外部に逃がす構成である。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光発生チャンバのウインドウの劣化等を容易に検出することが可能なＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ドライバーレーザ１と、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、レーザ光をＥＵＶ光発生チャンバ２内に透過させるウインドウ６と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、レーザ光をターゲット物質の軌道上に集光させるレーザ光集光光学系４と、ウインドウ６の温度を検出する温度センサ８２と、極端紫外光の発生が行われるときに、温度センサ８２によって検出されたウインドウ６の温度に基づいて、ウインドウ６の劣化を判定するレーザ光光学系劣化チェック処理部８０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】広範囲な医療用途に対して適用することが可能な、高出力（高輝度）で平行性に優れたＸ線を発生させることが可能なＸ線発生方法及びＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】ターゲットの表面に所定のエネルギー線源からエネルギー線を照射し、被写体に対する照射面積とほぼ同一の大きさとなるように前記ターゲットからＸ線を発生させる。次いで、前記Ｘ線を分光器に入射させ、前記Ｘ線から波長及び波長幅が選択されるとともに、平行光となった平行Ｘ線を生成する。 （もっと読む）

【課題】高効率で特性Ｘ線29を放出させることができ、放出する特性Ｘ線29へのノイズ成分の混入を抑え、シートビーム形状の特性Ｘ線29を容易に得られるＸ線源11を提供する。
【解決手段】真空容器12内に区画する区画部23を設ける。区画部23内には、電子銃14から電子ビーム15が入射して連続Ｘ線28を放出する１次ターゲット26を設け、１次ターゲット26から放出された連続Ｘ線28が入射して特性Ｘ線29を放出する２次ターゲット27を設ける。２次ターゲット27には、ボックス形で、電子ビーム15が通過する電子ビーム通過孔30を設け、電子ビーム通過孔30を設けた面に対して交差する面に特性Ｘ線29をシートビーム形状に規制して放出するＸ線通過孔31を設ける。 （もっと読む）

軟Ｘ線発生器は、カソードとアノードとの間の放電を開始するために高い信頼性と再現性でプラズマを提供する円錐形状の独特なパルストリガ組立体を有する。また、本発明の軟Ｘ線発生器は、外周縁を有する略円盤状の回転アノードを有する。このアノードは、アノードの異なる分部をプラズマ放電に晒すためにカソードに対して回転でき、これによりアノードの磨耗を低減すると共により長期の運転を可能にする。また、アノードの腐食は、使用中におけるアノードの液体冷却によって低減できる。発生器は、カソード・アノード放電のために比較的低いキャパシタンスを使用し、連続的で再現可能な結果を得るために比較的高い電圧とパルス繰り返し速度（周波数）を使用する。 （もっと読む）

【課題】機械的強度を高め改善された出力を有する回転管球Ｘ線管を提供する。
【解決手段】Ｘ線に対しほぼ透過性のＸ線射出窓７を有するハウジング１を備え、ハウジング１が内側カバー２とこの内側カバーに固く結合された外側カバー４とを有し、内側カバー２と外側カバー４との間に冷却液を導通するための間隙３が形成されている回転管球Ｘ線管において、Ｘ線射出窓７がその内部に冷却液のための貫流可能な構造を有し、この構造を間隙３と結合し、機械的強度を改善する。 （もっと読む）

【課題】陰極15の表面で発生した蛍光Ｘ線25が真空外囲器12の出力口21から放射されるのを低減でき、出力口21に配置した出力窓23を長寿命化できるＸ線管11を提供する。
【解決手段】陰極15から放出された電子ｅが陽極ターゲット18に入射して一次Ｘ線20を放出し、この一次Ｘ線20を真空外囲器12の出力口21から外部に放射する。出力口21は、陰極15の表面より陽極ターゲット18側に離間した位置に開口する。陽極ターゲット18で反跳した反跳電子24が陰極15の表面に衝突して蛍光Ｘ線25が発生しても、蛍光Ｘ線25が出力口21から放射されるのを低減できる。陰極15と陽極ターゲット18との対向方向における出力口21の開口幅を狭くし、出力口21に配置した出力窓23への反跳電子24の入射を低減し、出力窓23を長寿命化する。
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【課題】本発明は、特に、流体を真空室に噴射するための、ノズル装置（１）に関する。
【解決手段】ノズル流路の内輪郭は、少なくとも部分的に凹面状に形成されている。
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【課題】
X線取り出し方向で解像度に偏りのない実効焦点を有し、かつ許容負荷の大きいマイクロフォーカスX線管を得る。
【解決手段】
X線管の陰極の電子集束系14はカソード電極12と4個のグリッド電極、G1電極20、G2電極22、G3電極24、G4電極26で構成され、それぞれのグリッド電極はカソード電極12の電子放射面12aから放射された電子線が通過する開口20a、22a、24a、26aを有する。G4電極26の開口26aのみ楕円形にする。G1電極20〜G3電極24にはカソード電極12の電位に対し正のグリッド電位を、G4電極26には負のグリッド電位を印加することにより、G1電極20〜G3電極24にて電子線を細いビームに集束し、G4電極26にて電子線のビームの断面形状を楕円形にする。この電子線を陽極のターゲットの傾斜面に衝突させることにより、ほぼ円形の実効焦点が得られる。 （もっと読む）

本発明は、電子（Ｅ）を放出する電子源（１）、電子（Ｅ）の入射に応答して実質的に単色のＸ線である特性Ｘ線（Ｃ）を放射する対陰極（４）及びＸ線をアウトカップリングするアウトカップリング手段（１１）を有するＸ線源に関する。高いパワーローダビリティを伴う実質的に単色のＸ線である特性Ｘ線を実現するために、厚さ１０μｍ未満の金属箔（５）に電子が入射する。基材（７、１２）は、当該金属箔（５）の金属がＸ線（Ｃ）を生成できる大きい原子番号を有し、実質的に基材（７、１２）に含まれる物質がＸ線（Ｃ）を生成させない小さい原子番号を持つよう用意される。アウトカップリング手段は、電子（Ｅ）が入射する側で、基材（７、１２）とは反対側の金属箔（５）側でのＸ線（Ｃ）だけをアウトカップリングするよう構成される。当該側では、ほとんど制動放射線が生成されないからである。
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【課題】 回路基板を安定して固定することができるＸ線源を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１は、Ｘ線を照射するＸ線発生部と、Ｘ線発生部を制御する回路基板３５，３７を支持する回路基板ホルダー４９と、筐体３の内部において回路基板ホルダー４９の周囲で冷却風を流動させる冷却ファンと、を備えている。回路基板ホルダー４９は、底板３ａに固定されると共に、互いに対向し且つ互いに連結された第１平板部４６と第２平板部４８とを有し、山形構造をなしているので、第１平板部４６に取り付けられた回路基板３５と、第２平板部４８に取り付けられた回路基板３７が底板３ａに対して安定して固定される。 （もっと読む）

ＣＴ撮像システムは、Ｘ線コーンビームを検査領域（１４）に挿入するＸ線管（１２、２１２）を含む。このＸ線管（１２、２１２）は、ターゲットの外部表面領域を持つ回転する円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）を含む。この円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）は長軸方向に並べられた円柱軸（３２）の周りを回転する。電子は、この円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）の前記ターゲットの外部表面領域上にある選択した焦点に向かい加速される。電子又は電磁気デフレクタは、前記円柱状検査領域の前記ターゲットの外部表面領域にわたって前記選択した焦点を前後に掃引する。前記撮像システムはさらに、円柱軸に平行な回転軸の周りにある検査領域の周りをＸ線管に回転させる回転ガントリ（２２）及び前記Ｘ線が前記検査領域（１４）を通過した後のＸ線を検出するように構成されるＸ線検出器を有する。
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