【課題】段差によるパターンの描画不良を低減したパターン形成装置及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】制御装置５０は、半導体チップの基準高さと実装高さとの段差ずれを示す段差ずれデータＨＤと、段差ずれと駆動信号の補正量とを関連づけた駆動信号補正データとに基づいて、半導体チップ毎に駆動信号を関連づけた波形補正データＷＲＤを生成する。そして、実装高さが基準高さでないときには、その波形補正データＷＲＤに基づいて駆動信号ＣＯＭを補正する信号補正処理を実行し、その段差ずれに応じて液滴の容量を増減させて液滴を吐出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でノズル間の液滴の吐出量のバラツキを抑制することのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】主走査と副走査を繰り返しながら、副走査方向に一定間隔で配列された複数の区画領域に液滴を吐出する液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの副走査の移動量を区画領域の配置間隔の整数倍とし、全ての主走査において常に同じ吐出パターンで液滴を吐出する。吐出を行う前にはノズル毎の吐出量のバラツキを測定し、そのバラツキに応じて吐出量の調整を行う。その際、吐出量の測定は、実際に吐出を行う１種類の吐出パターンにおいてのみ行うこととし、ノズル毎の吐出量のバラツキが精密に制御された液滴吐出ヘッドを用いて、均一な膜厚の薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】吐出する液滴の量を高精度に補正可能な液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】ノズルから液滴を複数吐出して、シート部材に塗布する塗布工程と、シート部材に塗布された液滴を撮像する撮像工程と、撮像した複数の液滴の面積をそれぞれ計測する計測工程と、計測した液滴の面積に基づいてノズルから吐出する液滴の量を補正する補正工程Ｓ３９とを有する。計測工程で面積を計測した複数の液滴のうち、所定の面積範囲を超える液滴の割合が所定値を超えた異常ノズルの数を計数するとともに、計数された異常ノズルの数が所定数を超えたときに、補正工程前に塗布工程、撮像工程及び計測工程を順次再実行する再計測工程を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でノズル間の液滴の吐出量のバラツキを抑制することのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】主走査と副走査を繰り返しながら、副走査方向に一定間隔で配列された複数の区画領域に液滴を吐出する液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの副走査の移動量を区画領域の配置間隔の整数倍とし、全ての主走査において常に同じ吐出パターンで液滴を吐出する。吐出を行う前にはノズル毎の吐出量のバラツキを測定し、そのバラツキに応じて吐出量の調整を行う。その際、吐出量の測定は、実際に吐出を行う１種類の吐出パターンにおいてのみ行うこととし、副走査の前後でノズルデューティが異なる場合には、ノズルデューティに応じて駆動電圧を調節し、副走査前後において吐出量を均一化する。そして、ノズル毎の吐出量のバラツキが精密に制御された液滴吐出ヘッドを用いて、均一な膜厚の薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】メディア上に配されるドット面積の測定を精度良く行うことで各ノズルの吐出量を良好に補正可能な、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズルを有し、吐出パターンに対応するノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッド20と、複数の吐出パターンに基づく液滴吐出ヘッド20の吐出動作が繰り返され、各ノズルから吐出された同一数の液滴により各々が構成される複数のドットが少なくとも表面に設けられた受容層に配されるドット受け部と、ドット受け部に配置されたドットの各々の面積を測定する測定部と、測定部の測定結果に基づいて複数のノズル間における液滴の吐出量のばらつきを補正する補正手段と、ドット受け部に複数のドットを配する際において各ノズルにおける吐出動作の間隔が受容層への染み込みにより液滴の着弾径が変化する時間よりも短くなるように、液滴吐出ヘッドの吐出タイミングを制御する制御部10と、備えた液滴吐出装置ＩＪである。 （もっと読む）

【課題】より少ない供給量で、レジスト液等の塗布液をウェハ全面に効率よく塗布することができ、レジスト液等の塗布液の消費量を削減することができる塗布処理方法を提供する。
【解決手段】第１の回転数Ｖ１でウェハＷを回転させ、回転するウェハＷの略中心上に塗布液を供給する第１の工程Ｓ１と、第１の工程Ｓ１の後に、第１の回転数Ｖ１よりも低い第２の回転数Ｖ２でウェハＷを回転させる第２の工程Ｓ２と、第２の工程Ｓ２の後に、第２の回転数Ｖ２よりも高い第３の回転数Ｖ３でウェハＷを回転させる第３の工程Ｓ３と、第３の工程Ｓ３の後に、第２の回転数Ｖ２よりも高く第３の回転数Ｖ３よりも低い第４の回転数Ｖ４でウェハＷを回転させる第４の工程Ｓ４とを有する。 （もっと読む）

【課題】メディア上に描画されるドット面積に基づいてノズルの吐出量を良好に補正可能な、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】複数回の液滴の吐出動作に基づいて一つのドットを構成する液滴吐出ヘッド５と、液滴吐出ヘッド５から複数のドットが配されるドット受け部と、液滴吐出ヘッド５とドット受け部とを相対移動させる相対移動手段と、ドット受け部に配されたドットの各々の面積を測定する測定部と、測定部の測定結果に基づいて複数のノズル間における液滴の吐出量のばらつきを補正する補正手段と、ドット受け部にドットを配する場合において複数のドットの各々を構成する各吐出動作による液滴の各々の着弾位置が、一回目の前記吐出動作による液滴の着弾径の１％以内のずれとなるように相対移動手段を制御する制御部１１と、を備えた液滴吐出装置ＩＪである。 （もっと読む）

【課題】各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量計測手段によって当該支管を流動する塗布液流量を計測して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置における塗布液の流量設定方法である。流量設定方法は、直列供給工程および流量計測調整工程を含む。直列供給工程は、支管流量計測手段をそれぞれ直列に接続し、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給して、当該供給された塗布液をノズルの１つから吐出させる。流量計測調整工程は、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給している状態において、当該支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果を調整する。 （もっと読む）

【課題】画素領域間でのインクの塗布量のバラツキを抑制しつつ効率的にインクを塗布することが可能なカラーフィルタの製造装置を提供する。
【解決手段】製造装置１０は、基材４０に対して一方向のみに相対移動しながら基材４０の各画素領域にインクを塗布する吐出手段２０を有する。一方向と交差する他方向に並べて配列された複数のノズルから一つのノズル群が構成される。吐出手段は一方向に離間して配置された複数のノズル群を含む。一方向に相対移動する際に、各画素領域に対面する位置を、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズルが通過するようになる。吐出手段の基材に対する一回の走査中に少なくとも二つのノズルから一つの画素領域に対してインクが吐出され、当該一つの画素領域へのインク塗布が一回の走査で完了する。 （もっと読む）

本発明は、光学コーティングを基板に塗布する方法であって、（ａ）溶剤成分および被膜形成成分を含む光学コーティング剤を調製するステップと、（ｂ）ダイコーターを用いて光学コーティングを基板に塗布することにより塗工された基板を形成するステップであって、塗布された光学コーティングが、その上に厚みが８μｍ〜１００μｍの湿潤膜を形成するステップと、（ｃ）塗工された基板を乾燥させるステップであって、塗工された基板が実質的に水平な面上にあり、それによって湿潤膜が、厚みが１μｍ未満の乾燥膜に変換されるステップとを含む方法に関する。光学コーティング剤は、光学コーティング剤の総重量に対し０．３重量％超〜１０重量％以下の固体を含む。塗工された基板は場合により硬化させてもよい。
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【課題】生産性良く液滴を吐出する方法を提供する。
【解決手段】ノズルから基板に液滴を吐出する吐出方法にかかわり、基板に液滴を吐出するステップＳ６およびステップＳ１０の吐出工程と、ノズルと基板とを所定の方向に相対移動させる移動工程と、を有し、移動工程はノズルと基板との相対速度を減速させるステップＳ９の減速移動工程と、相対速度を加速させるステップＳ４の加速移動工程と、を有し、加速移動工程と減速移動工程との少なくとも一方の工程と吐出工程とが並行して行われる。 （もっと読む）

【課題】筋むらを抑制することができるカラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のカラーフィルターの製造方法は、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、インクジェット方式で該ノズルからインクの液滴を吐出する液滴吐出装置を用い、互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に行列状に多数個のセルが設けられた基板上の該セルに対して前記インクを付与するインク付与工程を有するカラーフィルターの製造方法であって、前記インク付与工程において、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に前記Ｙ軸方向に移動し、前記Ｙ軸方向に並ぶ前記各セルに順次前記インクの液滴を吐出する際、同時に、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に前記Ｘ軸方向に往復移動させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】粘度の高い樹脂でも短時間で、かつ均一に塗布することができる樹脂材料の塗布方法およびマイクロレンズ基板の製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂材料の塗布方法は、基板Ｗ上の中央に樹脂材料Ｒを塗布する工程と、樹脂材料Ｒが塗布された基板Ｗを回転させる第１の回転工程と、樹脂材料Ｒに拡散部材１４を押し当て、基板Ｗを回転させながら基板Ｗの中央から端部に向かって拡散部材１４を移動させ、樹脂材料Ｒを基板Ｗ上に広げる工程と、拡散部材１４を基板Ｗの端部まで移動させ、しかる後に拡散部材１４を取り外す工程と、基板Ｗを第１の回転工程よりも高速に回転させる第２の回転工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウエーハ基板全面に亘る感光液の均一塗布方法を提供する。
【解決手段】感光液Ｌを塗布有効領域Ｔにおいて噴霧しつつ、回転する基板１の回転中心Ｏ上を通る直線移動軌跡Ｘ１に沿って移動するノズル７を用いて、基板上の隣接する塗布有効領域Ｔの外縁Ｅが互いに接するように感光液Ｌを噴霧塗布する方法であって、基板１を二分割し、一方の半円を塗布するとき、直線移動軌跡上における基板１の回転中心Ｏから半径ｗ／２だけ離間した点Ｑを中心とした領域Ｔの中心点Ｐの塗布軌跡Ｋである円弧上を直線移動軌跡に投影した速度でノズル７を半円Ｒ１部分の塗布時間の間だけ直線移動軌跡上を加減速移動させ、且つ、このノズル７の加減速に合わせてノズル７に対する基板１の回転速度が一定となるようにし、他の半円を塗布するとき、基板１の回転速度を等速とすると共にノズル７の中心点Ｐが半円部分から他の部分に切り替わる時点まで停止させる。 （もっと読む）

【課題】塗布面における液だまりやかすれ等の塗布不良を防止する。
【解決手段】脱脂液を保有した脱脂液塗布部材２をワークＷに押圧しながら移動させて油分や塵埃を拭き取る脱脂液Ｌの塗布方法であって、脱脂液Ｌを保持することが可能な脱脂液吸着体３の表層部３ａに規定量の脱脂液Ｌを吸着保持させる吸着工程（ａ）〜（ｂ）と、脱脂液塗布部材２を表層部３ａに当接させて、規定量の脱脂液Ｌを脱脂液塗布部材２に浸透させて吸収する吸収工程（ｃ）〜（ｅ）と、を含み、吸収工程（ｃ）〜（ｅ）において吸収された脱脂液ＬをワークＷに塗布する。 （もっと読む）

【課題】塗液のせん断速度が低い領域で粘度が高い液でも、塗布量分布を抑え、塗工液の物性を管理しながらグラビアコーターで塗工することができる塗膜の製造方法及び塗工装置を提供する。
【解決手段】液受けパン２１の下部から供給口２４より塗液を供給し、液受けパン２１の下部から順に塗液で満たす。最表面の塗液をグラビアロール１２にのせ、ドクター刃２０で計量された後、塗液は基材１０に塗工される。塗工されなかった塗液は、廃液回収パンに流れ落ち、供給系へ循環させずに廃液する。 （もっと読む）

【課題】線径が６．５〜２００μｍの細線の被膜作成方法及びこれに使用する被膜作成装置を提供する。
【解決手段】細線材の周囲の塗布位置と塗布速度を決定して塗布手段によって塗布するステップからなり、該塗布手段の塗布部を前記線材の周方向一端側に接触させて長手方向に移動させ、さらに該線材の他の周方向から前記塗布手段の塗布部を接触させて長手方向に移動させることによって、前記線材の周囲に被膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 塗布ヘッドのノズルから吐出される塗布液の液滴の量を高精度に測定すること。
【解決手段】 塗布ヘッド２０のノズル２６から塗布液を液滴Ｌとして吐出させて基板に塗布する液滴塗布装置１０において、塗布液とは混ざり合わず、塗布液の比重より小さい比重をもち、塗布ヘッド２０のノズル２６から吐出した塗布液の液滴Ｌを受止め球状にして捕獲する液状体Ｖと、液状体Ｖに捕獲されて球状をなす上記液滴Ｌを撮像する撮像部５０と、撮像した液滴Ｌの画像に基づいて、当該液滴Ｌの量を求める検査部６０とを有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】ウェハ面内に均一にレジスト液を塗布する。
【解決手段】先ず、塗布工程Ｓ３−１において、低速でウェハを回転し、その状態でウェハの中心部に第１のノズルからレジスト液を吐出して、その後工程Ｓ３−２において、高速でウェハを回転し、ウェハ上にレジスト液を塗布する。次に、平坦化工程Ｓ４において、ウェハの回転を減速し、低速でウェハを回転させ、ウェハ上のレジスト液を平坦化する。このとき、塗布工程Ｓ３−２における第１のノズルによるレジスト液の吐出は、平坦化工程Ｓ４の途中まで継続して行い、その平坦化工程Ｓ４においてレジスト液の吐出を終了させる際には、第１のノズルを移動させてレジスト液の吐出位置をウェハの中心部からずらす。その後、乾燥工程Ｓ５において、ウェハの回転を加速して、ウェハ上のレジスト液を乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】液体にハンダ粉などのフィラーが含まれたペーストを、基板などの被塗布物に安定して微少量塗布する。
【解決手段】ペーストを保持し下端に吐出口を備えたノズルと、前記ペースト中を上下移動する押し出しピンと、前記押し出しピンを連結して上下移動させる駆動部と、前記ノズルと前記押し出しピンと前記駆動部を昇降させる昇降台とを備え、前記昇降台の下降による前記吐出口が被塗布物との間隔寸法からなる塗布位置Ｈへの移動と、前記押し出しピンが前記ペースト中での上方位置から吐出位置への移動と、前記押し出しピンが前記ペースト中での吐出位置から上方位置への移動により、前記ペーストを転写塗布することを特徴とするペースト塗布装置を用いる。 （もっと読む）