【課題】 ウエーハ上の所定の領域に薬液を塗布することができるとともに、ウエーハに形成されたトレンチなどを確実に充填することが可能な薬液塗布方法及び薬液塗布装置を提供する。
【解決手段】 ステージ２上に被処理ウエーハ１を載置、固定する工程と、前記被処理ウエーハ１表面の所定領域上に、圧力制御手段６、薬液供給手段７を備える密閉空間５を形成する工程と、前記密閉空間５を前記圧力制御手段６により減圧する工程と、前記密閉空間５に前記薬液供給手段７より薬液７ａを供給し、前記被処理ウエーハ１表面の所定領域上に前記薬液７ａを塗布する工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】 常温で硬化して塗膜を形成することができ、得られた塗膜は、常温硬化であるにかかわらず高い耐水性を有し、また、基材との付着性が良好な無機質系の塗料用組成物を提供する。
【解決手段】 主剤としてＳｉＯ₂／Ｍ₂Ｏ（ＭはＲ₄Ｎ、Ｎａ、Ｋ又はＬｉであり、Ｒは水素または炭素数１〜１０のアルキル基を示す。）のモル比が２．５〜８であるケイ酸アルカリ、シリカ系無機粒子及び水を混合し、さらに硬化剤として弱酸のアンモニウム塩を含む無機質系塗料用組成物を使用する。ケイ酸アルカリは、当該組成物中に固形分全体の３５〜９０質量％、シリカ系無機粒子は５〜６０質量％含有する。また弱酸のアンモニウム塩としては、四ホウ酸アンモニウム、リン酸二水素アンモニウム、酢酸アンモニウム、クエン酸アンモニウム等を０.１〜８質量％配合することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 基材との密着性が非常に優れるシランカップリング剤溶液の製造方法、シランカップリング剤溶液を提供することを課題とする。
【解決手段】 有機ケイ素化合物と水とアルコールとを少なくとも混合することによりシランカップリング剤溶液を製造する際、混合するアルコール全量のうち一部のアルコールと全量の有機ケイ素化合物と全量の水とを混合し、この溶液を所定時間放置又は攪拌等した後、この溶液に残部のアルコールを混合することによりシランカップリング剤溶液の製造をする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜全面のうちの厚膜塗布され易い耳部の乾燥を十分に行うことができるので、未乾燥な塗布液で後工程が汚染されることがない。
【解決手段】連続走行する帯状の支持体２４上に塗布液が塗布された塗布膜１２を乾燥する塗布膜１２の乾燥方法において、塗布膜全面１２のうちの少なくとも厚膜塗布され易い耳部１２Ａの乾燥については、レーザー照射手段１４からレーザー光を照射して乾燥する。この場合、レーザー乾燥後の耳部１２Ａの膜厚を測定し、測定した測定値と予め設定した目標値とのズレがなくなるように、レーザー照射手段のレーザー出力をフィードバック制御するとよい。 （もっと読む）

次式
-(SiR’R''-NR''')_n- (1)
［式中、Ｒ'、Ｒ''、Ｒ'''は、同一かまたは異なり、互いに独立して水素、または場合によっては置換されたアルキル基、アリール基または（トリアルコキシ）アルキル基を表し、この際、ｎは整数であり、そしてｎは、ポリシラザンが１５０〜１５０，０００ｇ／モルの数平均分子量を有するように定められる］
で表されるポリシラザンまたは複数種のポリシラザンの混合物を溶媒中に含んでなる溶液、及び少なくとも一種の触媒を含む、フィルム被覆用の被覆剤。本発明は更に、フィルム、特にポリマーフィルムを被覆する方法、並びに被覆されたフィルム及びフィルム合成膜に関する。 （もっと読む）

少なくとも１つの目的物質を含む溶液をキャピラリーに供給し、前記溶液に電圧を印加して静電噴霧するエレクトロスプレイステップと、前記エレクトロスプレイステップで噴霧された溶液中の目的物質の機能性および／または活性を保持したままほぼ乾燥した状態、かつ、ナノメートルオーダーの厚さで任意の形状の被塗物に静電気力で固定化する固定化ステップとを含む固定化方法、装置、及び微小構造体製造方法を提供する。
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【課題】近赤外域に大きく且つ巾の広い吸収を有し、さらに可視領域の光透過性が高く、且つ可視領域に特定波長の大きな吸収がなく、加工性および生産性が良好で、高温または高湿下でも長時間性能的に安定な近赤外線吸収フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくともジイモニウム塩化合物を含む近赤外線吸収色素、バインダー樹脂、溶剤を含むコーティング液を基材上にコーティングし、下記式（１）〜（３）を満足する条件下で乾燥させて、前記コート層中の残留溶剤量を５．０質量％以下とすることを特徴とする近赤外線吸収フィルターの製造方法。
風速×（熱風温度−２０）× 乾燥時間／コート厚み＞４８ …（１）
熱風温度：≧８０℃ …（２）
乾燥時間：≦６０分 …（３）
なお、上記式（１）〜（３）で用いた因子の単位は、風速がｍ／秒、熱風温度が℃、乾燥時間が分、コート厚みがμｍである。 （もっと読む）

【課題】 耐チッピング透明塗膜において、環境にやさしい水分散系の透明な塗料を充分な厚さに塗布して下地の着色をそのまま生かせて、低温乾燥できて省エネルギーにもなり、加湿することで短時間で乾燥でき、充分な耐チッピング性が得られること。
【解決手段】 水分散樹脂Ａとしてウレタンディスパージョン１００重量部に対して、水分散可能イソシアネートＢとしてノニオン性の親水性基を付与したポリイソシアネート化合物を１０重量部、増粘剤Ｃとしてウレタン変性ポリエーテル系化合物を１重量部混合して作製した耐チッピング塗料を約５００μｍの厚膜まで塗布して、約５０℃〜約６０℃で約１０分間低温乾燥した後、湿度８０％±５％に約１０分間加湿する。Ｂの平均官能基数を２．５以上、側鎖のアルキル基（Ｃ_n Ｈ_2n+1 ）のｎ数を５以上とすれば、透明で塗面外観にも上塗付着性にも耐チッピング性にも耐水白化性にも優れた耐チッピング透明塗膜が得られる。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出方式により液状体を吐出させ基板上に所定の立体造形物を容易に形成することができる造形方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の立体造形物の造形方法は、吐出ヘッド２０のノズル２５からゲル化剤が添加された液状体１２を柱状に吐出させ基板Ｗ上に着弾させて第１層１３を形成する第１層形成工程と、第１層１３に対応する位置で繰り返し液状体１２を同様にして着弾させて第２層１４以降を積層する積層工程とを備えた。 （もっと読む）

本発明は、絶縁性基体上への金属付着のための粘度調整可能な感光性分散液に関し、該感光性分散液は、光照射下に酸化−還元特性を与える顔料、金属塩、該金属塩の封鎖剤、液状膜形成性高分子配合物、塩基性化合物、有機溶媒および水を組み合せて含む。本発明はまた前記分散液の使用に関する。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット塗布方法などにより基板に塗布液の液滴を噴射して塗布した後、その塗布液を加熱して乾燥させる際に、良好な膜厚分布の固化物や膜を得ることのできる液滴噴射塗布方法を提供する。
【解決手段】 複数の溶媒を含有する塗布液の液滴を被塗布材の表面に噴射して塗布した後、前記被塗布材の表面に塗布された塗布液を、前記複数の溶媒の各沸点温度に応じて加熱温度を順次に上昇させながら加熱して乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布された液体材料を乾燥させて塗布膜を形成するに際して、塗布膜の膜厚の均一化を図ること。
【解決手段】液状の塗布膜４が塗布された基板１を設置するための熱伝導プレート２と、この熱伝導プレート２および前記基板１を介して前記塗布膜４を加熱し乾燥させるための加熱手段３とを備え、前記熱伝導プレート２が、基板１上の塗布膜４の面内中央部に対応する基板設置領域に熱伝導率の高い高熱伝導領域を有し、かつ、上記塗布膜４の面内両端部または外周部に対応する基板設置領域に熱伝導率の低い低熱伝導領域を有する塗布膜の乾燥装置を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 シリコーンゴム層とふっ素樹脂膜が優れた接着力をもち、かつ膜厚が薄く表面平滑性の優れたふっ素樹脂膜を形成することができるふっ素樹脂被覆方法の提供。
【解決手段】 第一の工程として基材上に付加反応型液状シリコーンゴムの未硬化層を形成、第二の工程として熱可塑性樹脂粒子を前記シリコーンゴム表面に塗布し、第三の工程として前記の熱可塑性樹脂粒子を塗布したシリコーンゴムを加熱硬化し、第四の工程として前記の加熱硬化させたシリコーンゴム表面にふっ素樹脂粒子の分散液を塗布・乾燥し、第五の工程として前記ふっ素樹脂粒子を焼成・製膜することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 塗装から乾燥までの所要時間を短縮することができる水性塗料の塗布乾燥方法及び装置を提供する。
【解決手段】 ディスクロータ１はローラコンベア２によって予熱用高周波誘導加熱コイル４まで搬送され、予熱用高周波誘導加熱コイル４で局部的に７０乃至１００℃に予熱される。予熱されたディスクローラ１は、後流の塗装ロボット５によって被塗装面が塗装される。塗装後のディスクローラ１は養生のためのセッティング工程を経て乾燥加熱用高周波誘導加熱コイル７まで搬送され、ここで加熱され、塗膜が乾燥する。塗膜が形成されたディスクローラ１は製品１５として回収される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、一般に、スピネル結晶充填剤に有用な、ポリイミドベースマトリックス中に分散されているポリイミド複合体であって、０．０５と０．６０ミクロン^-1の間およびこれらの値を含む可視−赤外線吸光係数を有する複合体を提供すること。
【解決手段】そこから形成された複合体ポリイミドは、典型的な場合、ポリイミド基板に隣接した微細な導電性経路を有する回路を作製するのに使用される。これらの微細な導電性経路は、典型的な場合、無電解金属メッキステップを使用して、基板上に形成される。まず、ポリイミド複合体の表面を、典型的な場合にはレーザ光線を使用して光活性化し、次いで光活性化した部分をメッキして、細いラインまたは経路を被膜表面に形成する。 （もっと読む）

熱可塑性樹脂で被覆された金属、セラミックおよびガラスの物体は、金属、セラミックおよびガラスの物体を提供し、第１の熱可塑性樹脂を被覆されたまたは被覆されていない物体の基材の表面に含む被覆材料の水溶液、懸濁液および／または分散液を浸漬、噴霧またはフロー被覆により塗布し、第１の密着している膜を形成するために物体を浸漬、噴霧、フロー被覆から引き出し、浸漬、噴霧またはフロー被覆に起因した余分の材料を除去し、そして、第１の膜を形成するために第１の膜が実質的に乾燥されるまで硬化および／または乾燥する処理により製造される。第１の熱可塑性樹脂は熱可塑性エポキシ樹脂を含む。同じまたは異なる組成の付加的な被覆は、本発明の処理のステップの連続反復により第１の被覆の上に塗布され得る。
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【課題】水系中塗り塗料と水系上塗り塗料とをウェットオンウェットで塗装したのちこれらを同時に硬化させる場合に中塗り塗膜層と上塗り塗膜層との混層を防止して上塗り塗膜の平滑性を確保できる塗装方法を提供する。
【解決手段】被塗物に中塗り塗料を塗装する第１中塗り工程６と、被塗物を加熱して第１中塗り工程で形成された第１中塗り塗膜層に含まれた水分を蒸発させる第１プレヒート工程７と、第１プレヒート工程を経た被塗物に中塗り塗料を塗装する第２中塗り工程８と、被塗物を加熱して第１中塗り工程で形成された第１中塗り塗膜層及び第２中塗り工程で形成された第２中塗り塗膜層に含まれた水分を蒸発させる第２プレヒート工程９と、第２プレヒート工程を経た被塗物に上塗り塗料を塗装する上塗り工程１０，１１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】原反ロールより繰り出され、搬送速度Ｖで走行するウェブＷの表面に第１の塗布手段により塗布液を塗布し、Ｌ１離れた位置にある第２の塗布手段によりウェブＷの裏面に塗布液を塗布し、Ｌ２離れた位置にある巻き心にウェブが巻き取られる生産形態における、製品ロールの交換時において、未塗布のウェブが新規の巻き心に巻き込まれるという問題を排除する。
【解決手段】原反ロールの繰り出し終了の際に、塗布手段による塗布を終了させ、終了後の原反ロールを新規の原反ロールに交換し、支持体を連続走行させながら第１の塗布手段による塗布を開始させ、Ｔ２経過後に第２の塗布手段による塗布を開始させ、Ｔ１経過後に製品ロールを新規の巻き心に交換し、Ｔ２≦Ｌ１／Ｖの際に、Ｔ１＞（Ｌ１＋Ｌ２）／Ｖとなるように調整し、Ｔ２＞Ｌ１／Ｖの際に、Ｔ１＞Ｔ２＋Ｌ２／Ｖとなるように調整する。 （もっと読む）

【課題】 配線材料が絶縁膜などに拡散することに起因する半導体装置などの性能劣化を抑制することができ、回路配線が他の回路配線や半導体装置の導体層とショートすることを抑制することができる、配線パターン形成方法、膜パターン形成方法、半導体装置、電気光学装置、及び電子機器を実現する。
【解決手段】 配線パターン形成方法は、基板上の所定の領域にバンクを形成するステップと、バンクで囲まれた領域に配線パターンの材料を含む機能液を吐出し、機能液を乾燥させて配線パターンを形成するステップと、バンクの高さと配線パターンの厚さとを略同一になるようにバンクの一部を削除するステップと、を有する。半導体装置の配線パターンは、上記配線パターン形成方法を用いて形成されており、電気光学装置は当該半導体装置を備え、電子機器は上記電気光学装置を備える。 （もっと読む）

【課題】面内、面間厚みムラが非常に小さな、色目ムラの認識できない塗布型光学膜及びその作製方法、光学多層膜、反射型スクリーン並びに浸漬塗布装置を提供する。
【解決手段】隔壁で囲われた密閉空間を形成するブース１０１内に、溶媒を含有する塗料１０２Ｌが満たされた塗布槽１０２と、支持体１１を塗布槽１０２上で保持し、支持体１１を昇降させる昇降機構１０３と、塗料１０２Ｌ液面上にさらに隔壁で囲われた重密閉空間を形成し、上部に支持体１１を通過させる隙間を有する重密閉槽１０４とを備え、支持体１１を降下させて塗布槽１０２の塗料１０２Ｌ中に浸漬し、ついで支持体１１を塗料１０２Ｌ液面から引き上げながら支持体１１上に塗料を付着させて塗膜を形成し、同時に重密閉槽１０４及びブース１０１内で塗膜から溶媒を蒸発させて乾燥する。 （もっと読む）