【課題】 加熱された空気の結露を低減して、高粘度の液状体をワーク表面に供給することができる液状体の吐出装置およびその吐出方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液晶吐出装置１は、液状体としての液晶が充填された液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０を加熱する加熱手段としてのヒータプレート１１と、液滴吐出ヘッド２０に取り付けられ乾燥空気を送風する吹き出し部１２とを備えた。液晶を基板Ｗに吐出する吐出工程では、ヒータプレート１１により液滴吐出ヘッド２０を加熱して充填された高粘度の液晶を低粘度化して吐出する。また、ヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気の相対湿度が上昇しないように、吹き出し部１２から乾燥空気を基板Ｗに向かって送風する。これにより加熱された空気の結露を低減した。 （もっと読む）

【課題】 流路内の塗工液の圧力を適切に制御することができる塗工装置、およびこれを用いて高品質な電極を歩留まりよく形成することができる電極の製造方法を提供する。
【解決手段】 塗工部２２０内の流路２２１に塗工液Ｍを供給し、吐出孔２２２から吐出して集電体１１０に電極層１２０を形成する。流路２２１と吐出孔２２２との境界に保持溝２４１および遮断部材２４２を設ける。電極層１２０を形成する工程では、保持溝２４１内で遮断部材２４２の閉鎖面２４２Ａを吐出孔２２２の上壁面２２２Ａに接触させて流路２２１と吐出孔２２２との間を遮断する。露出領域１３０を形成する工程では、遮断部材２４２の閉鎖面２４２Ａを上壁面２２２Ａから離して流路２２１と吐出孔２２２とを連通させる。遮断機構２４０に協調して圧力調整弁２５２を開閉すると共に移動機構２６０により塗工部２２０と集電体１１０との間の間隙Ｇの大きさを変化させる。 （もっと読む）

【課題】 給水源から給水される水の圧力を利用して作動するポンプ機構により、給水源の給水圧の変動にかかわらず一定量の水石鹸を供給する水石鹸供給装置を提供する。
【解決手段】 本発明の水石鹸供給装置１は、水石鹸タンク８と、給水源４に接続された水ポンプ室３８と、水石鹸タンクに接続された水石鹸ポンプ室４４と、水ポンプ室内の水圧によって駆動され、水ポンプ室と水石鹸ポンプ室の容積を変化させるピストン４５と、ピストンを両ポンプ室３８，４４の容積が共に減少する方向に付勢する圧縮コイルばね５４と、水ポンプ室に接続された電磁弁２８と、を有し、この電磁弁が閉鎖されると、水ポンプ室内の水圧が上昇し、ピストンが両ポンプ室の容積を共に増加させ、水石鹸タンクから水石鹸ポンプ室内に水石鹸が吸入され、電磁弁が開放されると、水ポンプ室内の水圧が低下し、ピストンが両ポンプ室の容積を共に減少させ、水石鹸ポンプ室から水石鹸が吐出される。 （もっと読む）

【課題】バルブユニットと管路を容易に接離することができるとともに、バルブユニットからシリンジへのペースト供給を安定させることができる粘性流体塗布装置を提供する。
【解決手段】バルブユニット５０と管路７１ｂを連結部９０により接続し、この連結部９０が、流路６５と連通して外周に外ねじ部９２が形成された内管９１と、管路７１ｂに連通して内周に外ねじ部９２に螺合する内ねじ部９６が形成された外管９５とから成り、この外管９５の内部に弾性筒３０を内挿し、外ねじ部９２と内ねじ部９６を螺着することにより、内管９１の端面ｂにより弾性筒３０の一端面ａを押圧して、弾性筒３０の他端面ｃを外管９５の受け部ｄに押接するようにした。 （もっと読む）

【課題】 定量吐出装置のノズルおよびシリンダーピストン内にストッパー、スプリング、ボールからなる逆止弁を設けることで、流量方向を制御し、一定量の粘性液体を安定して吐出できる定量吐出装置を提供する。
【解決手段】 材料が固形の状態で、材料投入口２８より投入され、材料分離かご２３の中に入る。材料は、材料分離かご２３によって、漉され、既に材料の融点まで暖められたタンク２５に、材料が溶融状態で溜まる。溜まった材料は、シリンダーピストン２４の動作によりシリンダータンク２６内を流動し、ノズル２７から一定量吐出する。シリンダーピストン２４は、ロボシリンダー２１のピストンシャフト２２が一定量上下することで、動作する。 （もっと読む）

【課題】液移送ポンプで使用される封止部材の長寿命化を図ることのできる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布液を貯留する貯留タンク４と、基板Ｋを保持するステージ５と、スリット状の開口部６２１を備えステージ５の上方に架設された口金６と、吸込動作と吐出動作とを交互に行うことにより貯留タンク内の塗布液を口金に導く液移送ポンプと、液移送ポンプの吸込口Ｃ１２と貯留タンクとの間に配設され吸込動作時に開状態となり吐出動作時に閉状態となる第１開閉バルブ１１と、液移送ポンプの吐出口Ｃ１３と口金との間に配設され吐出動作時に開状態となり吸込動作時に閉状態となる第２開閉バルブ１２と、スリット状の開口部と基板とを近接させた状態で口金と基板とを相対移動させる駆動手段７とを備える塗布装置１において、液移送ポンプは、シリンダＣとプランジャＰとの間隙Ｇを封止する膜状封止部材Ｆを備える。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、気泡の発生を抑制し得るディスペンサ装置を提供する。
【解決手段】液剤を貯留するバレル１と、バレル１からシリンジ３への液剤の供給を制御する供給弁と、シリンジ３からノズル６への液剤の供給を制御する先端弁と、先端弁の開路時に、シリンジ３内の液剤をノズル６に向かって押圧するプランジャ７とを備えたディスペンサ装置において、供給弁及び先端弁は、開閉動作による液剤中の気泡の発生を防止する摺動部のないピンチバルブ１３ａ，１３ｂで構成した。 （もっと読む）

【課題】吐出装置からの接着剤が漏れたり、垂れ下がるのを防止できる接着剤吐出装置の提供。
【解決手段】
内部に接着剤を供給可能な磁性体よりなる弁本体と、弁本体の下部に設けた第２絞り部と、弁本体下方に設けられ、内部に接着剤を供給可能なニードル部と、ニードル部内に上下動可能に遊嵌配置され、常にはニードル部下方に位置するニードル弁と、弁本体の外周に設けられ、励磁によりニードル弁を第２絞り部に吸引するソレノイドコイルと、弁本体に接着剤を供給するシリンジとを備えた接着剤吐出装置。 （もっと読む）

粘性材料、例えばはんだペーストを間欠的に噴射するシステム（１０）、弁、及び方法が、弁（１２）を有し、この弁は、供給通路（５０）を備えた弁体を有する。弁棒（２６）が、弁体内において開き位置と閉じ位置との間で往復動自在に設けられ、この弁棒は、テーパ付き端部（２８）を有する。弁座（３０）が、弁棒の端部に隣接して位置決めされ、この弁座は、弁体の出口通路（４０）と連通した貫通通路（３６）を有する。弁棒（２６）の端部は、閉じ位置では貫通通路（３６）内に延びる。位置決め装置（２０）が、弁（１２）を支持するのが良く、この位置決め装置は、噴射作業中、弁（１２）を基板（１８）に対して複数の方向に移動させることかできる。弁棒（２６）の行程中に出口通路（４０）から噴射される材料の量は、貫通通路（３６）の容積と出口通路（４０）の容積を合わせた全容積の約２５％以下であるのが良い。
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【課題】 設置工数を削減することができ、継手等の接続具を不要とし、さらには装置本体のサイズが小さな液体吐出装置の提供。
【解決手段】 加圧気体を調圧する減圧弁と、調圧された加圧気体を供給する圧力供給ジョイントと、減圧弁と圧力供給ジョイントとを連通または遮断する電磁弁とを備え、内部に流路を有するマニホールドに電磁弁及び減圧弁を一体的に配置することを特徴とする液体吐出装置。電磁弁及び減圧弁は、マニホールドの外表面に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 乱流や気泡が発生しにくく、吸入ポートから排出ポートに液体が勝手に流れたりせず、屑が発生せず、破損しにくく、良好な吐出が得られる液体吐出方法及び装置の提供。
【解決手段】 バルブ室内で切換バルブを移動させることにより、シリンダとバルブ室と液体貯留容器への通路又はシリンダとバルブ室と吐出口への通路との連通を切り換えながらシリンダ内のプランジャを往復させて吐出を行う液体吐出方法であって、プランジャが後退するときに、シリンダとバルブ室と液体貯留容器への通路を連通させ、かつ、該通路と液体貯留容器との間に設けられた開閉弁を開き、プランジャが前進するときに、シリンダとバルブ室と吐出口への通路を連通させ、かつ、開閉弁を閉じることを特徴とする液体吐出方法及びその装置。 （もっと読む）

【課題】 基板面内に対する液滴の乾燥環境を均一にしてパターン形状の均一性を向上し、その生産性を向上したパターン形成方法、パターン形成装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】 透明基板２を収容する収容室２２に連通可能な第１減圧チャンバ３１を素子形成面２ｓ直上に設け、収容室２２と第１減圧チャンバ３１との間を連通する第１連通路（吸引孔３３及び排気孔２９）を素子形成面２ｓと相対する大きさで形成し、さらに第１減圧チャンバ３１内の第１減圧室３２の容積を収容室２２の容積よりも大きい容積で形成した。そして、第１減圧室３２内の圧力を、予め液滴を減圧乾燥するための第１目標圧力に調整し、液滴１８を乾燥するときに、第１バルブ２９Ｖを開弁して、収容室２２と第１減圧室３２を連通させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 フィルタ部材に気泡を付着させないように気泡を退避させるバルブユニット及び同バルブユニットを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 バルブユニット３７内にインクが導入されると、脱気室１０５内にはインクが流入する。脱気室１０５内に流入したインクに気泡１３０が含まれていると、気泡１３０は脱気室１０５の重力上方向に退避し退避空間１０６内に滞留する。そして、退避空間１０６に滞留した気泡１３０は、プリンタによってチョーククリーニング操作が実行されると吸引ポンプの吸引によって脱気室１０５内のインクとともに流動し、流動するインクがフィルタＦを通過する際に除去される。ここで、吸引ポンプの吸引によってインクとともに流動できなかった気泡１３０は、脱気室１０５内に残留し、次のインクがバルブユニット３７内に導入された際に退避空間１０６内に退避し滞留する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、機能液の使用量を削減し且つ吐出を安定化することができる機能液供給装置等を提供することを課題としている。
【解決手段】 機能液タンク４３からバルブハウジング６９内の１次室７０に導入した機能液を、バルブハウジング６９内の２次室７９を介して機能液滴吐出ヘッド３に供給すると共に、大気に面し２次室７９の１つの面を構成するダイヤフラム７５により、１次室７０と２次室７９とを連通する連通流路８０に設けた弁体７６を開閉動作させて、２次室７９を圧力調整する圧力調整弁４６の２次室７９には、連通流路８０の２次室側開口部９２が開口すると共に、機能液滴吐出ヘッド３に連なる流出流路９３の流出開口部９４が開口し、２次室７９の内面壁９１は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が接触する形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 内蔵する弁体付勢ばねまたは負圧保持ばねを簡単に交換することができる圧力調整弁、機能液供給装置、描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 ダイヤフラム１７５が受ける大気圧を基準調整圧力として、機能液を機能液タンク９１から機能液滴吐出ヘッド４１に供給する圧力調整弁１６１において、１次室１７２と２次室１７３とを連通する連通流路１７４を開閉する弁体１７６に付勢する弁体付勢ばね２６７は、蓋体１９０のハウジング本体１９２からの離脱に伴って共に離脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 高粘度液供給ラインにおいて高圧側ラインでたとえば５ＭPa〜２０ＭPaの圧力変動があっても低圧側ラインは一定圧たとえば１ＭPaに調整でき、しかも従来のように減圧弁とシャットオフバルブの２種類の弁やアキュムレータが不要で、装置全体の構造を簡略化できる高粘度液用圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 高粘度液の流入口２３を備えた一次圧室３Ａ、高粘度液の流出口２２を備えた二次圧室４Ａおよび二次圧調整室５Ａを有する筒状ハウジング１ａと、一次圧室と二次圧室とを接続する流路６を開閉する可動弁体８と、二次圧室内に一面を臨ませて二次圧調整室内に摺動可能に配設するピストン１０と、可動弁体８とピストン１０とを一体に移動可能に連結する連結ロッド９と、一次圧室内に可動弁体と一体に移動可能に連結され一次圧に対する受圧面積を共通にした圧力バランス体２とを備え、ピストン１０を介して二次圧を調整可能な圧力調整機構１７を二次圧調整室内に配備した。 （もっと読む）

【課題】 粒子が分散している液体がノズル先端から射出されない状態が長時間続いた場合においても、その後、所定の領域に液体を射出する。
【解決手段】 糊射出口１１から糊を射出する際、当該射出処理に先立って、ばね１４によって糊射出口１１に押圧されているニードル弁１２を糊射出口１１から離間する処理と、糊射出口１１から離間したニードル弁１２を糊射出口１１に押圧する処理とからなる予備射出処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 装置を大型化させることなく、簡単な制御でチョーククリーニングを行い、しかも気泡排出性を向上できる液体噴射装置及び弁機構を提供する。
【解決手段】 プリンタは、インクを貯留するカートリッジを備え、カートリッジと記録ヘッドとを連通するインク流路の途中には、チョーククリーニングを行うためのチョークバルブＢが設けられている。チョークバルブＢは、圧力室３８を備え、その壁面の一部は圧力室３８の内外の圧力差に伴い変位するフィルムＦ１で形成されている。圧力室３８の底面３３ａは、吐出孔３５が形成された突部３４から離間するにつれて、フィルムＦ１の可撓部Ｋとの相対距離が小さくなるような傾斜面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッド内流路から気泡を効率良く排除し得るようにした機能液滴吐出ヘッドへの液体充填方法およびこの方法を実施するのに適した吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供する。
【解決手段】 各液滴吐出ヘッド７に個別に接続される給液用の分岐通路１５８ｂに開閉弁１６６を介設すると共に、各キャップ２１２に個別に接続される吸引用の分岐通路２１６ｂに液体センサ２１７を介設する。液体充填時に、液体が液体センサ２１７に到達したところで対応する開閉弁１６６を一時的に閉弁する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、気泡の発生を抑制した圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 圧力調整弁７は、機能液タンク９１から１次室１２２に導入した機能液を、２次室１２３を介して機能液滴吐出ヘッド１１に重力供給し、２次室１２３の円形のダイヤフラム１２５により、大気圧を調整基準圧力として、弁体１２６を開閉動作させて、２次室１２３を圧力調整し、機能液タンクに連なる流入口１４７と１次室１２２の上端部１５３に開口した１次室側開口１４９とを連通する流入流路１４８を下り勾配に流路形成し、２次室１２３の下端部１７５に開口した２次室側開口１７９と機能液滴吐出ヘッド１１に連なる流出口１７８とを連通する流出流路１８０を下り勾配に流路形成している。 （もっと読む）