【課題】異なる薬液を短時間で確実に切り替えることができ、切り替え時の廃棄薬液量が少ない液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体吐出装置１０は、液体供給部１〜３と、液体を外部に吐出する吐出部５と、液体供給部１〜３及び吐出部５を接続する多方弁４と、多方弁４の開閉を制御するための制御装置６とを備える。制御装置６は、多方弁４のバルブＨ〜Ｉの開閉を制御することによって、液体供給部１〜３と吐出部５とを選択的に連通させる。液体供給部１による薬液の供給から、液体供給部２による薬液の供給に切り替える際には、多方弁４から吐出部５の吐出口に至る流路内の液体を、液体供給部３から供給した洗浄液、液体供給部２から供給した薬液で順に置換する。 （もっと読む）

【課題】高圧下で液送される高粘性材料であっても精度良く吐出する吐出装置および方法の提供。
【解決手段】高粘性材料を吐出する吐出口を有する吐出ユニットと、高粘性材料を貯留する貯留エリア、該貯留エリアに高粘性材料を供給するための受入口、および前記吐出ユニットに高粘性材料を送出するための送出口を有する貯留ユニットと、容器に充填された高粘性材料を前記貯留ユニットに第１の圧力で供給する高圧供給ポンプと、を提供し、高粘性材料を定量吐出する方法において、前記高圧供給ポンプおよび前記貯留ユニットを連通する流路にポンプ機構およびバルブ機構を有する液送ユニットを設け、該液送ユニットにより前記第１の圧力よりも低く調整された第２の圧力により前記貯留ユニットに高粘性材料を供給することを特徴とする高粘性材料の定量吐出方法および装置。 （もっと読む）

【課題】ポンプ装置における騒音の抑制および動力の伝達効率低下の抑制。
【解決手段】駆動モータ１０４が、一方向に回転すると、負圧発生部１０２が駆動されてダイヤフラムポンプ４４０が負圧となる。駆動モータ１０４の回転が、渦電流クラッチ機構１２０を介して伝達され、カム１３２が矢印Ｒ３方向に回転する。この結果、レバー１３０は、大気開放弁１４０の閉弁方向に回転し、大気連通孔１４２は閉弁状態となる。駆動モータ１０４が他方向に回転すると、駆動モータ１０４の回転が、渦電流クラッチ機構１２０を介して伝達され、カム１３２が矢印Ｒ４方向に回転し、これに連動して、付勢バネ１３６の付勢力に抗してレバー１３０が押し上げられ、弁体１４４が上方に持ち上げられて大気連通孔１４２が大気連通する。この結果、大気開放弁１４０が開弁状態となり、ダイヤフラムポンプ４４０が大気開放される。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低コストで高性能の流体供給装置及び流体噴射装置を提供すること。
【解決手段】チョーク弁を介して流体噴射ヘッドに流体を供給する流体供給装置であって、前記流体を貯留する流体貯留部と、圧力路を介して前記流体貯留部に接続され、前記流体貯留部に作動流体を加圧供給する加圧部と、前記圧力路に設けられ、前記加圧部によって加圧供給された前記作動流体を蓄積する蓄圧部とを備える。 （もっと読む）

【課題】初期充填の際、２次室内に液体を円滑に充填させることができる共に、液体を２次室内全域に行き渡らせることできる。
【解決手段】２次室の内面壁１８５は、最大マイナス変形したダイヤフラム１７１が倣うように接触する形状に形成され、内面壁１８５には、中心部に開口した連通流路１７３の２次室側開口部１８６と、下部に開口し流出ポート１９０に連通する流出開口部１８７と、２次室側開口部１８６から上方に延びる上昇溝部２２２、および上昇溝部２２２の頂端から内面壁１８５の周縁部に倣って流出開口部１８７まで延びる下降溝部２２３から成る流路溝２２１と、が形成されている。 （もっと読む）

【課題】機能液タンクの設置高さが変更されても、機能液滴吐出ヘッドに機能液を適切に減圧供給することができる機能液供給装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【解決手段】機能液供給手段とインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドとを連通する機能液供給流路に、機能液供給手段側の第１圧力調整弁および機能液滴吐出ヘッド側の第２圧力調整弁を直列となるように介設し、いずれの圧力調整弁もバルブハウジング内の１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を、２次室の１の面を構成する受圧膜体により大気圧基準で開閉し、流入ポートから１次室に供給された機能液を、圧力調整し２次室を介して流出ポートに供給する、減圧機能を有する。 （もっと読む）

【課題】受圧膜体に起因する弁体の不安定な開閉動作を防止することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】バルブハウジング７１内の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、圧力調整し２次室７６を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３が、円形の金属フィルムで構成された膜体本体９１と、膜体本体９１の中心部に同心上に接着した円形の受圧板９２と、を有しているものである。 （もっと読む）

【課題】小型な構成で、開閉動作に伴う圧力変動（脈動）を抑制することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】圧力調整弁２７において、流入ポート７１に連通する１次室６７と流出ポート８１に連通する２次室６８との連通流路を１次室６７側から開閉する弁体７０を、２次室６８の１の面を構成し弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体８４と拮抗しつつ閉弁方向に付勢するマグネット７２を備え、マグネット７２は、同極同士を対面配置され、互いの反発力で弁体７０を付勢する。 （もっと読む）

【課題】弁体を、円滑且つ精度良く開閉動作させることができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、機能液供給装置に連通する１次室７５および機能液滴吐出ヘッドに連通する２次室７６と、隔壁７７に直線状に貫通形成され、１次室７５と２次室７６とを連通すると共に、少なくとも１次室７５側の一部に同軸上に弁座８３を形成した連通流路７８と、同軸上において１次室７５側から弁座８３に進退自在に臨み、連通流路７８を開閉する弁体８４と、２次室７６の１の面を構成すると共に弁体８４を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、を備え、弁体８４は、先細りのテーパー形状に形成され、弁座８３は、弁体に対し相補的形状に形成されている圧力調整弁である。 （もっと読む）

【課題】 受圧膜体に起因する弁体の不安定な開閉動作を防止することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】バルブハウジング７１内の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、圧力調整し２次室７６を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３が、円形の金属フィルムで構成されているものである。 （もっと読む）

【課題】弁体の直進性を維持しつつ、連通流路の流路面積を十分に確保することができると共に、軸部が流路壁に引っかかるのを抑えることができる。
【解決手段】１次室１６７および２次室１６９と、１次室１６７と２次室１６９とを連通する連通流路１７３と、連通流路１７３を１次室１６７側から開閉する弁体２１１と、弁体２１１を開閉動作させるダイヤフラム１７１と、弁体２１１を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２１７と、を備え、弁体２１１は、弁座Ｓに対し直接開閉動作するＯリング２１４と、Ｏリング２１４を保持する保持部２１２と、保持部２１２から延びてダイヤフラム１７１に当接する軸部２１３と、を有し、連通流路１７３は、軸部２１３が挿通する第１連通流路２２１と、弁座Ｓと第１連通流路２２１との間に穿孔した第２連通流路２２２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】受圧膜体への気流の影響を排除することができる圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】バルブハウジング７１の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、流入ポート８１を介して１次室７５に供給した液体を、圧力調整して２次室７６から流出ポート８６を介して供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３の挙動を許容すると共に大気に連通する空間を存して、受圧膜体７３を覆う風防カバー５１を備えた。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作させることができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、弁体８４の開閉動作により圧力調整して２次室７６に供給し、２次室７６からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、弁体８４は、１次室７５に配設され弁座８３に対し直接開閉動作する弁体本体９４と、弁体本体９４を保持する保持部９７、および保持部９７から連通流路７８を同軸上に挿通して延び受圧膜体７３に当接する作動軸部９９から成る弁ホルダー９５と、を有し、作動軸部９９は、受圧膜体７３に向って先細りのテーパー形状に形成され、連通流路７８は、作動軸部９９に対し相補的形状に形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と、１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、１次室６７は、弁体７０の開閉動作をガイドする弁ガイド壁６７ａを有し、弁体７０は、弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、弁体本体８１を保持すると共に、弁ガイド壁６７ａに対し開閉動作方向にスライド自在に係合する保持部８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の自己封止開閉動作を安定して行うことができる弁体付勢ばねを有する圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】隔壁７７を隔ててバルブハウジング７１内に形成され、機能液供給手段に連通する１次室７５および機能液滴吐出ヘッドに連通する２次室７６と、隔壁７７に貫通形成され、１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８と、連通流路７８を形成した隔壁７７の１次室７５側開口縁部を弁座として、連通流路７８を１次室７５側から開閉する弁体８４と、２次室７６の１の面を構成すると共に弁体８４を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７７に対向する１次室７５の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体８４を閉弁方向に付勢する弁体ばね（弁体付勢ばね８５）と、を備え、弁体ばねが、円錐コイルばねで構成されている。 （もっと読む）

【課題】 無駄なレジスト液の消費を極力抑えて、かつスループットを低下させずに、インラインでレジスト液の粘度調整を行うことができる塗布処理装置を提供すること。
【解決手段】 高濃度塗布液と溶剤とを混合して所定濃度に希釈された希釈塗布液とする混合部７０と、希釈塗布液を吐出して基板に塗布膜を形成する塗布液吐出機構１４と、混合部７０から塗布液吐出機構１４へ向けて希釈塗布液を送給する送給配管６９、送給配管６９からの希釈塗布液を一時的に貯留するバッファタンク７１、及びバッファタンク７１から塗布液吐出機構１４へ希釈塗布液を供給する供給ポンプ７４を有する希釈塗布液供給機構と、バッファタンク７１から希釈塗布液を取り込み、混合部７０に戻して循環させる希釈塗布液循環部と、希釈塗布液の送給先を塗布液吐出機構１４側と塗布液循環部側とで切り替える切替機構とを具備する。 （もっと読む）

【課題】弁体を適切に開閉動作させることができる圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】隔壁７７を隔ててバルブハウジング７１内に形成され、機能液供給手段に連通する１次室７５および機能液滴吐出ヘッド２５に連通する２次室７６と、隔壁７７に貫通形成され、１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８と、連通流路７８を形成した隔壁７７の１次室側開口縁部８２を弁座として、連通流路７８を１次室７５側から開閉する弁体８４と、２次室７６の１の面を構成すると共に弁体８４を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７７に対向する１次室７５の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体８４を閉弁方向に付勢するコイルばねと、を備え、コイルばねを構成する線材は、コイルばねの軸線に直交する方向において扁平断面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と１次室側開口縁部を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、これを保持する保持部と、を有し、受圧膜体７３は、膜体本体７３ａの中心部に同心上に接着された受圧板７３ｂから延び連通流路６９を挿通して保持部に当接する作動軸部７３ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】被塗布基材の一定長さ（例えば製品１枚分の長さ）あたりの液体の間欠塗布回数を増加させた場合に発生し易い液体塗布不良を確実に検知することができる液体塗布装置を提供すること。
【解決手段】搬送中の被塗布基材２の一定の送り長さ間隔で周期信号を発生する信号発生手段３と、圧縮流体の流路を開閉する電磁弁４と、電磁弁４からの圧縮流体により弁体を移動させて被塗布基材２に塗布される液体を放出又は不放出状態に切り換える液体塗布部５と、圧縮流体が電磁弁４から液体塗布部５へ向かう途中の流路の内圧を測定し、予め定めた閾値以上の圧力が検知された場合にオン信号を出力する圧力センサ６と、該信号を受信し分析するシーケンサ７とを備える液体間欠塗布装置１であり、周期信号間の圧力センサからのオン信号の送信時間の和に基づいて電磁弁４の動作チェックが行われる。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁を簡単且つ精度良く組み立てることができる圧力調整弁の組立方法およびこれに用いるバネセット治具を提供する。
【解決手段】圧力調整弁の液室に、コイルバネを起立状態で載置するバネ載置工程と、コイルバネが起立状態を維持するように、バネセット治具７０をリング状端面にセットする治具セット工程と、バネセット治具７０の上から受圧膜体１１および押えリング１３を重ねるようにセットする膜体・リングセット工程と、受圧膜体１１がコイルバネに当接するように、少なくとも２本の取付けネジ３７を仮締めして、押えリング１３および受圧膜体１１をリング状端面に仮固定するネジ仮締め工程と、リング状端面からバネセット治具７０を離脱させるセット治具取外し工程と、全ての取付けネジ３７を本締めして、押えリング１３および受圧膜体１１をリング状端面に固定するネジ本締め工程と、を備える。 （もっと読む）