【課題】 カートリッジの交換が容易で、使い勝手が良好な、さらに、ヘッドへの塗布液供給流路部に気泡が入らない、安定した液滴の吐出が可能となる液滴塗布装置を提供することである。
【解決手段】タンク6，7とタンク6又は7に塗布液を補給する補給タンク１２１にを有するカートリッジ収納部3と、塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部4と、タンク6の塗布液をヘッド部4に供給して、ヘッド部4を通過した塗布液をタンク7に戻す塗布液供給循環部2と、塗布液供給循環部2を介して洗浄液をヘッド部4に供給する洗浄液供給部29と、塗布液供給循環部2の一部から廃液を排出する廃液排出部33と、洗浄液供給部2から供給する洗浄液で塗布液供給循環部2とヘッド部4を洗浄する際に洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、塗布液供給循環部2により塗布液を循環する際にタンク6，7内を減圧する圧力切替部を備え、タンク6,7及び補給タンク121が塗布液供給循環部2に交換可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単かつ省スペースで、インクジェット印刷装置において不吐出なく、安定した高品質の印刷物が得られる、インクジェットヘッドの洗浄方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドをワイピングするワイピング部材とを備えたインクジェットヘッド印刷装置の洗浄において、インクジェットヘッド印刷装置から洗浄開始信号をインクジェット印刷装置に伝達する事で、インクジェット印刷装置にインプットされたワイピング部材に吸収されるインクジェットヘッドのノズル吐出口内部のインク量分を、ワイピングに先立って予めポンプにより押し出す事を特徴とするインクジェットヘッドの洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】液体吐出部の先端部分に吸い上げられた液体が飛散しても、基板への付着を低減することができ、塗布不良を低減することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板上の塗布領域に液体を塗布する塗布装置において、塗布装置１の液体吐出部３２に連動し、液体吐出部３２から吐出される液体の不要時に、前記液体の飛散を遮蔽する遮蔽機構を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い安全性および生産性を有する液滴塗布装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴塗布装置１０は、被塗布物６に液滴を吐出する吐出部１ａと、上記被塗布物６を載置する吸着ステージ２と、上記吐出部１ａと上記吸着ステージ２とを相対的に移動させる駆動部３ａおよび３ｂと、排気口４ａを有し、かつ上記吐出部１ａからの液滴を受ける液滴受け部４と、上記液滴受け部４にある気体を吸引する吸引部５とを備え、上記吐出部１ａと上記液滴受け部４とが対向するとき、上記排気口４ａと上記吸引部５とが略密接する。 （もっと読む）

【課題】ワイピングシートの終端が繰出しリールに残っている状態で、シートエンドの検出を行うことができるワイピング装置のシートエンド検出装置およびワイピング装置等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０を払拭するワイピングシート１０１が巻回された繰出しリール１０３に臨み、ワイピングシート１０１のシートエンドを検出するワイピング装置３２のシートエンド検出装置２０４であって、繰出しリール１０３におけるリールコア２２５の外周面に、近接して光軸Ｌを臨ませた発光部２４１と、リールコア２２５を挟んで発光部２４１に対面し、光軸Ｌ上に配設した受光部２４２と、発光部２４１の検出光を受光部２４２が受光したか否かを検出する検出回路２４３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】吐出開始時におけるノズルからの高粘度液体の吐出量を抑え、高品質な塗布作業を行う。
【解決手段】 ホットメルト接着剤Ｂを、ポンプユニット３からヒーティングホース４を通して圧送し、塗布ガン２の吐出ノズル８から吐出する。ポンプユニット３の還流路１４に、ホットメルト接着剤Ｂの圧送圧力を調整するためのエア作動式の圧力調整バルブ１５を設ける。圧力調整バルブ１５とエア源６との間にエア供給路２４，２５を並列に設け、作動エア圧力を高圧側に調整するための第１のエアレギュレータ２６、低圧側に調整するための第２のエアレギュレータ２９、第１，第２の切替弁２８，３１及びそれらを制御するシーケンサ７を設ける。シーケンサ７は、塗布ガン２におけるホットメルト接着剤Ｂの非吐出時に、作動エア圧力を低圧側とし、ホットメルト接着剤Ｂの吐出開始時に、作動エア圧力を高圧側に切替える。 （もっと読む）

【課題】塗料を循環させつつ、この塗料とエアとを選択的に吐出できる注入ガンを提供すること。
【解決手段】注入ガン６０は、塗料およびエアを選択的に吐出する。具体的には、この注入ガン６０は、円筒状のガン本体６１と、このガン本体６１の内部に摺動可能に設けられた円筒状の塗料シャフト６２と、この塗料シャフト６２の内部に摺動可能に設けられたエアシャフト６３と、を備え、ガン本体６１には、塗料が流通する塗料供給路６１１および塗料排出路６１２が貫通して形成され、ガン本体６１および塗料シャフト６２には、それぞれ、エアが流通するエア供給路６１４およびエア供給路６２２が貫通して形成され、塗料シャフト６２の外周面には、塗料シャフト６２の先端がガン本体６１の先端まで前進した状態で、塗料供給路６１１の貫通位置から塗料排出路６１２の貫通位置に至る凹部６２３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】従来のキャッピング装置によらずにノズルの噴射特性を維持可能とする。
【解決手段】噴射ヘッド１３に形成されたノズルを介して流体を噴射する流体噴射装置であって、上記噴射ヘッド１３を上下方向に回転可能な回転部４０と、上記ノズルが上方を向くように上記噴射ヘッドが回転された場合に、上記ノズルの噴射特性を維持するための特性維持流体を上記ノズルの形成領域を含んで貯留可能な貯留部と、上記貯留部に上記特性維持流体を供給する供給部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルに生じた目つまりを確実に除去すること。
【解決手段】塗布ヘッド１２に設けた圧電素子の駆動により、塗布ヘッド１２内の溶液をノズルから吐出して塗布する塗布方法において、塗布ヘッド１２のノズル出口が開口しているノズル面１２Ａを溶剤槽５１内の溶剤に浸漬させる状態で、圧電素子を塗布段階よりも高周波で駆動し、ノズル内の異物を除去する。制御装置は、塗布ヘッド１２のノズル面１２Ａを溶剤槽５１内の溶剤に浸漬させる状態で圧電素子を塗布段階の周波数より高い周波数で駆動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ノズルからの溶液の吐出動作を安定化すること。
【解決手段】 塗布ヘッド１２内の溶液をノズル２４から吐出して基板Ｗに塗布するとともに、塗布ヘッド１２のノズル２４出口が開口しているノズル面１２Ａに付着した溶液を拭き取り手段５０により拭き取る塗布装置において、前記拭き取り手段５０が、塗布ヘッド１２のノズル面１２Ａの外縁寄りに接するガイド部材５２と、ガイド部材５２が上記ノズル面１２Ａの外縁寄りに接するときに、該ノズル面１２Ａとの間に隙間を介して該ノズル面１２Ａに相対し、該ノズル面１２Ａに付着した溶液を拭き取る拭き取り部材５１とを有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】液柱状態の塗布液を基板に塗布する際、基板外に吐出される塗布液が当該基板へ影響しない塗布装置を提供する。
【解決手段】ノズルは、その先端部から塗布液を液柱状態で吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。液受部は、傾斜面を含み、ノズル移動機構が横断する方向に沿ってステージ上から外れた位置にノズルより塗布液を吐出させつつノズルを移動させる際、当該ノズルからステージ外に吐出された塗布液を受ける。傾斜面は、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルの先端部から鉛直下方向となる位置に横断する方向へ延設され、当該横断する方向に垂直な水平方向に対して傾斜している。液受部は、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルから吐出された塗布液を、液柱状態で傾斜面に塗着させて回収する。 （もっと読む）

【課題】液柱状態の塗布液を基板に塗布する際、基板外に吐出される塗布液が当該基板へ影響しない塗布装置を提供する。
【解決手段】鉛直下方向への直線棒状となった液柱状態の塗布液を基板上に吐出して当該塗布液を塗布する塗布装置である。ノズルは、その先端部から塗布液を液柱状態で吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。液受部は、ノズル移動機構が横断する方向に沿ってステージ上から外れた位置にノズルより塗布液を吐出させつつノズルを移動させる際、当該ノズルからステージ外に吐出された塗布液を受ける。液受部は、吸着材を含む。吸着材は、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルの先端部から鉛直下方向となる位置に塗布液を吸着保持する。 （もっと読む）

【課題】塗布不良をより確実に防止する。
【解決手段】塗布装置１０は、ステージ４と、ノズル２１〜２３と、ノズル移動機構１と、被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌと、塗着位置変更手段とを備える。ステージ４は、基板Ｗを載置する。ノズル２１〜２３は、下方に向けて塗布液を液柱状態で吐出する。ノズル移動機構１は、塗布液の吐出中に基板Ｗ上を横断するようにノズル２１〜２３を往復移動させる。被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌは、ノズル２１〜２３が基板上から外れた時に当該ノズル２１〜２３から吐出される塗布液が塗着される位置に配置される。塗着位置変更手段は、被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌにおいて塗布液が塗着される位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】溝付板材の溝内面を、溝のエッジまできれいに塗装することができる溝塗装方法及びそれを実施するための簡単な構造の溝塗装装置を提供する。
【解決手段】溝付板材１の溝４の開口をマスク８で閉じ、マスク８に形成している貫通孔９から塗布液１０を溝４内に供給することで塗布液が溝４の外側に流出しないようにし、次いで貫通孔９を通して余分な塗布液を吸引、除去し、その後、溝４内を負圧状態に保った状態でマスク８を上昇させて溝４から離すことで、マスク８を持ち上げた際に溝４内の塗布液が毛細管現象によって溝４の外側に滲み出すことを防止し、溝内面のみをきれいに塗装可能とする。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置の発熱部分における放熱効果を向上させるとともに浮遊する微小な液滴（ミスト）を回収する。
【解決手段】吐出ヘッドユニット２は、筐体内に、ノズル７を有する吐出ヘッド３、吐出ヘッドのアクチュエータを駆動する回路素子３９、その回路素子のための放熱体４１とを備え、筐体には排気チューブ７３を介してポンプを接続している。ポンプの駆動により筐体内を減圧することで、吐出ヘッドの外周に設けた吸引口２９からノズル７の周囲の空気とともにインクミストを吸引し、放熱体４１を冷却しながら、廃インクタンクに排出する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置の発熱部分における放熱効果を向上させる。
【解決手段】液滴吐出装置１は、吐出ヘッドユニット２の吐出機能を回復するため吐出ヘッドユニット２から排出された液体の廃液を貯留する廃液タンク７１と、廃液タンク７１から延びて、吐出ヘッドユニット２の発熱部を通り、再び廃液タンク７１に戻るように配置された管路７２と、管路に廃液タンク７１の廃液を循環させる循環手段１８とを備えており、吐出ヘッドユニット２の発熱部から発生した熱を、管路を循環する廃液によって放熱するように構成した。 （もっと読む）

【課題】
記録ヘッド内に確実にインク導入を可能とすること、および記録ヘッドのオリフィス面の汚れを防止して、安定したインク塗布を継続させること。
【解決手段】
粒子が分散されたインクのほかに、粒子を含まない前記インクの溶媒のみのインク、および洗浄液を収容する液体ボトルを配置し、すべての液体ボトルから記録ヘッド内に液体を加圧して流入させる加圧手段と、前記記録ヘッド内部を適度な負圧に設定する手段を有する。また、記録ヘッドに接触してオリフィス列を覆うキャップを設け、キャップ内に洗浄液を搬送して、オリフィス面の汚れを洗い流す送液手段を有する。また、オリフィスから記録ヘッド内に洗浄液を吸い込み、回収ボトルに洗浄液を送る送液手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】溝付板材の溝内面を、溝のエッジまできれいに塗装することができる溝塗装方法及びそれを実施するための簡単な構造の溝塗装装置を提供する。
【解決手段】塗布液を連続的に吐出するディスペンサノズル８を溝付板材１の溝４に対して相対的に移動させながら該溝内に塗布液１３を供給し、次いで、円盤状の回転スキージ９を回転させながら塗布液供給後の溝に対して相対的に移動させ、塗布液１３ｂを溝内面に拡げると共に過剰な塗布液１３ａを回転スキージ周面に付着させて溝４から除去し、長い溝４に対しても常に一定幅での溝塗装を行うことができる構成とする。 （もっと読む）

【課題】噴射不良の発生を抑止することができる液滴噴射塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射塗布装置１において、液体収容部２１から供給される液体を噴射する液滴噴射ヘッドＨと、液体収容部２１から液滴噴射ヘッドＨに液体供給流路３１を介して供給する液体供給部Ｐ１と、液体供給流路３１中に液体供給部Ｐ１より液滴噴射ヘッドＨ側に位置付けて設けられ流入する液体が滴下するように形成された第１緩衝液体貯留部１９と、液滴噴射ヘッドＨから液体収容部２１又は第１緩衝液体貯留部１９に液体戻し流路３２を介して戻す液体戻し部Ｐ３、Ｐ４と、液体戻し流路３２、３３中に液体戻し部Ｐ３より液滴噴射ヘッドＨ側に位置付けて設けられ流入する液体が滴下するように形成された第２緩衝液体貯留部２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハ等の円形状の基板の表面または裏面に液状樹脂を塗布するにあたって、被塗布面に塗布されずに落下した樹脂を容易に除去する。
【解決手段】塗布装置１０に樹脂受けパン１３を設け、樹脂受けパン１３内に水を供給する。スロットダイ６０のスロット６２は、チャックテーブル２０上に保持された基板１へ樹脂を排出する。このとき、基板１が塗布開始位置から塗布終了位置まで移動することで、基板１上に樹脂が塗布されるとともに、落下領域４周辺に排出された樹脂が樹脂受けパン１３内に落下する。樹脂受けパン１３は、樹脂受けパン１３内の水Ｗで落下した樹脂を受ける。樹脂が混合した水Ｗを排水口１３ａから排出受け１５へ排出することにより樹脂受けパン１３内から樹脂が除去される。 （もっと読む）