【課題】大型基板又は二個の小型基板とヘッドとの位置合わせが可能に構成された吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の吐出装置１０は、第一、第二の載置台２４ａ、２４ｂを有している。第一の載置台２４ａは第二の載置台２４ｂより大きく、第一の載置台２４ａ上に第二の載置台２４ｂが配置される。基板５０を第一、第二の載置台２４ａ、２４ｂの両方に係るように載せると、第一の基板回転機構４２によって第一の載置台２４ａを基準面に平行に回転させ、ヘッド移動機構４５によってヘッド３２を移動することにより、基板５０とヘッド３２が位置合わせできる。第一、第二の基板５０ａ、５０ｂを第一、第二の載置台２４ａ、２４ｂ上にそれぞれ載せると、第一の基板５０ａを基板５０と同様に位置合わせした後、第二の基板位置合わせ機構によって第二の載置台２４ｂを基準面に平行に回転し、かつ移動することにより、第二の基板５０ｂとヘッド３２が位置合わせすることができる。 （もっと読む）

【課題】待機中のノズル先端部での溶媒蒸発を抑えられる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布ノズルの先端のスリットが待機中に乾燥しないように、待機位置に配置された乾燥防止用のキャップでキャッピングすることができる塗布装置で、塗布ノズル１と乾燥防止用キャップ４５で形成される空間の容積：Ｖを、スリット４４の吐出口表面積Ｓに対してＶ≦３．５×Ｓ^{（３／２）}に設定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドから吐出されるインクの着弾精度を向上させて、画素の混色や着色ムラを防ぐとともに、液滴吐出ヘッドのノズル面やワークステージにインクミストが付着することを防止し、所望の表示画像を得ることが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】機能液５０を吐出する液滴吐出ヘッド９と、液滴吐出ヘッド９から吐出された機能液５０を着弾させる基板を載置するワークステージ６と、液滴吐出ヘッド９から機能液５０を吐出させるタイミングを制御するとともに、ワークステージ６に載置された基板に対して液滴吐出ヘッド９から吐出された機能液５０が柱状の状態でくびれて分裂する前にワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との間の距離Ｌ１ａが所定の適正値Ｌｄとなるようにワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対移動を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体吐出装置のノズルの内部やその外側に付着している異物を速やかかつ確実に取り除くことができ、しかも、この取り除いた異物が再度ノズルの内部やその外側に付着する虞がなく、さらには、液体吐出装置の製造工程中にて生じたノズル内部の異物も効率的に取り除くことができる液体吐出装置のノズルの異物除去方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置の吐出ノズル１０２１の異物除去方法であり、吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７内に付着したカラーフィルタ用インクがゲル化あるいは固化したゲル状物質や固化物からなる固着物１０３１や吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７付近のプレート面１０２１ａ上に付着した固着物１０３２に大気圧プラズマ１０３３を照射し、この固着物１０３１、１０３２を吐出ノズル１０２１から除去する。 （もっと読む）

【課題】 検査用基板の表面に形成した撥液性膜の塗布液との接触角にばらつきがあっても、各ノズルから吐出されて基板上に滴下された各液滴の着弾面積の検出精度を向上し、ひいては各ノズルの個体差に起因する各ノズルの吐出量を調整すること。
【解決手段】 液滴塗布方法において、複数のノズルＮｉのそれぞれから吐出される液滴Ｅｉを基板Ｋ上に滴下し、滴下された各液滴Ｅｉの画像を検出した後、塗布ヘッド１４に対して基板Ｋをその表面に直交する軸を中心に180度回転させた状態で、再度、複数のノズルＮｉのそれぞれから吐出される液滴Ｅｉを基板Ｋ上に滴下し、滴下された各液滴Ｅｉの画像を検出するもの。 （もっと読む）

【課題】エクストルージョン型ノズルを用いて枚葉状の基板の表面に塗布液を塗布する方法において、塗布始端部で塗布液をはみ出すことなく高精度な塗布範囲を実現する塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液３に圧力をかけてスリット６から吐出し基板２上に塗膜を形成する方法であって、塗布始端部においてスリット６先端と基板２の間に充填する塗布液３をスリット幅６ａと実塗布幅の間の２点間で濡れ広がり度合を検知し、濡れ広がり速度から実塗布幅到達時間を算出し、塗布開始のタイミングとノズル１移動速度を制御することで、塗布始端部で塗布液をはみ出すことなく、且つ欠けることなく高精度な塗布範囲を実現する。 （もっと読む）

【課題】塗布により発生する汚染物質の拡散を防止しつつ、塗布スペースのクリーン度を確保し、基板へのパーティクルの付着を抑制する塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１およびノズルヘッド１３のノズル噴出口を囲むように第１のブース１２を設け、かつ第１のブース１２を囲むように第２のブース１４を設置し、第１のブース１２内の圧力を第２のブース１４内の圧力より高くすると共に、第２のブース１４内の圧力を第２のブース１４外の圧力より低くする。 （もっと読む）

【課題】本発明は接着方法及び接着装置に係り、効率よく気泡の残留のない接着処理を行うことを課題とする。
【解決手段】第１パネル１１と第２パネル１２を接着剤３０を用いて接着する接着方法において、接着剤３０を第１及び第２のパネル１１，１２間に配設する配設工程と、上側装着台１６Ａを下側装着台１５Ａに移動させることにより第１及び第２のパネル１１，１２を加圧し、接着剤３０をこの加圧力により基板外側に向け押し広げる加圧工程と、この加圧の開始後に各装着台１５Ａ，１６Ａを回転させることにより、接着剤３０を遠心力により基板外側に向け広げる回転工程とを有する。また、加圧により接着剤３０が既定膜厚となったとき、各装着台１５Ａ，１６Ａの回転を第１の回転よりも速い第２の回転に変化させる。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの吐出ノズルに液滴が残留することなく確実に払拭可能なヘッドクリーニング装置を提供する。
【解決手段】ヘッド回転装置（回転手段）１５は、回転駆動部（モータ）１５ａと、この回転駆動部（モータ）１５ａから延びる回転軸１５ｂとを備えている。そして、回転軸１５ｂの一端には、液滴吐出ヘッド５が取り付けられる。これにより、ヘッド回転装置（回転手段）１５は、水平面に沿って液滴吐出ヘッド５を回動自在させる。例えば、液滴吐出ヘッド５は、（ａ）に示す第一の位置から、水平面に沿って１８０°回転した第二の位置に向けて、（ａ）に示すように、ヘッド回転装置１５によって回転する。即ち、液滴吐出ヘッド５は、ヘッド回転装置（回転手段）１５によって、その一端側ＦＳと、他端側ＢＳとを逆転させることができる。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の形成の際に塗布中の固形分濃度の変化による塗布ムラ抑制することを目的とする。
【解決手段】塗布液の濃度や粒度を濃度計１０３で計測し、その計測結果を用いて塗布厚みや粒子の分散状態をコントロールすることにより、塗布液の固形分濃度や粒度の経時的な変化に由来する塗布ムラを発生させないで安定的な塗布膜形成を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ブラックマトリックスと着色画素が重なる部位に形成され易い角段差を低減することのできるカラーフィルタ用レジスト塗布装置を提供すること。
【解決手段】スピン前に水平とした基板１面に着色レジスト３の塗布を行い、基板１を１８０度回転させてレジスト塗布面を下向きにした状態で基盤回転ステージ１２に固定し高スピンさせて着色レジスト３の塗布を行うことを特徴とする塗布装置である。該塗布装置は、少なくとも、スリットコーター部とスピンコーター部、レジスト塗布面を下向きにして基板をスピンコーター部へ移動する機構を備える。 （もっと読む）

【課題】保管・運搬に際し機能液滴吐出ヘッドを適切に保護することができると共に、ヘッドユニットの運搬に好適な機能液滴吐出ヘッドのキャップ装置および機能液滴吐出ヘッドの組付け方法を提供することである。
【解決手段】本発明の機能液滴吐出ヘッド１４のキャップ装置５１は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４の保管・運搬に用いられ、機能液滴吐出ヘッド１４をヘッドプレート３３に搭載したヘッドユニット２２に臨み、機能液滴吐出ヘッド１４のノズル面３０を封止する機能液滴吐出ヘッド１４のキャップ装置５１であって、ノズル面３０に密接してこれを封止する封止キャップ５２と、封止キャップ５２が搭載されたキャップホルダー５３と、キャップホルダー５３に設けられ、ヘッドユニット２２と共にキャップホルダー５３を手持ちするためのハンドリング部５４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ヘッドユニットに対し着脱容易で、且つ機能液滴吐出ヘッドを損傷するおそれのない機能液滴吐出ヘッドのキャップ装置および機能液滴吐出ヘッドの組付け方法を提供することである。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４の保管・運搬に用いられ、機能液滴吐出ヘッド１４をヘッドプレート３３に搭載したヘッドユニット２２に臨み、機能液滴吐出ヘッド１４のノズル面３０を封止する機能液滴吐出ヘッド１４のキャップ装置５１であって、ノズル面３０に密接してこれを封止する封止キャップ５２と、封止キャップ５２が搭載されたキャッププレート６１と、キャッププレート６１に設けられ、ヘッドユニット２２を掛け止めして封止キャップ５２をノズル面３０に相対的に密接させる複数の掛止具６２と、を備え、各掛止具６２は、掛止解除状態で、キャッププレート６１に対し着脱自在に構成されているものである。 （もっと読む）

【課題】 隣接する各塗布ヘッドにより塗布される塗布膜の厚さムラを抑制すること。
【解決手段】 所定方向に配列されてなる複数のノズルＮｉ（Ｎa、Ｎb）を備えた塗布ヘッドＨＤa〜ＨＤcを前記所定方向に隣接して複数個有し、各塗布ヘッドＨＤa〜ＨＤcの複数のノズルＮｉ（Ｎa、Ｎb）のそれぞれから吐出される液滴を基板に塗布する液滴塗布方法において、隣接する各塗布ヘッドＨＤa〜ＨＤc間において隣接して位置するノズルＮｉ（Ｎa、Ｎb）間の吐出量のバラツキの大きさＬが、各塗布ヘッドＨＤa〜ＨＤc内で許容される吐出量のバラツキＮの大きさ以下になるように、各塗布ヘッドＨＤa〜ＨＤcの個々のノズルＮｉ（Ｎa、Ｎb）から吐出される液滴の吐出量を制御するもの。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置の基板テーブルを軽量化できるとともに、基板テーブルを平坦形状に調節し、その平面度を維持することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を載置する載置面を有する基板テーブルと、前記基板テーブルの載置面に載置された基板に対し、所定の処理を行なう基板処理部と、前記基板テーブルを支持するテーブル調整支持ユニットとを備え、前記テーブル調整支持ユニットは、前記基板テーブルの載置面が平坦形状になるように前記基板テーブルの平面度を調整する。 （もっと読む）

【課題】塗布ノズルの内部の洗浄をカラーフィルタの製造処理フロー内で工程内で行うことを可能としたスリットコータを提供する。
【解決手段】塗布ヘッドの内部へ供給された塗布液を基板に塗布するスリットコータであって、塗布ヘッドの内部へ洗浄液を供給し排出して塗布ヘッドの内部を洗浄し、洗浄した後に塗布ヘッドの内部へクリーンドライエアを供給し排出して塗布ヘッドの内部を乾燥することを特徴とする塗布ヘッドを備えたスリットコータ。 （もっと読む）

【課題】被塗布部材の表面のうねりの測定精度の向上と生産性タクトの向上を実現することを目的とする。
【解決手段】基準板（４）を用いて高さ検出器（１０）の測定結果の校正を実施することで測定精度を向上させ、また高さ検出器（１０）をカム昇降機構（２２，２３）を用いて昇降させることにより、測定結果の再現性を実現する。 （もっと読む）

【課題】複数の射出ヘッドの温度にばらつきが生じること、あるいは複数の射出ヘッドから射出されるインクの温度にばらつきが生じることを抑制でき、性能の低下を抑制できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、インクを射出する第１射出ヘッドと、第１射出ヘッドに隣接し、インクを射出する第２射出ヘッドと、第１射出ヘッドの熱を奪って、第２射出ヘッドに与える熱交換を行う熱交換機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ピン跡ムラ等の乾燥ムラの発生が効果的に抑制でき、かつ短時間で塗布膜溶液の乾燥処理が行なえる塗布膜形成用加熱乾燥装置を提供する。
【解決手段】塗布膜形成用加熱乾燥装置は、配向膜としてのポリイミド膜をガラス基板１００上に形成するためにガラス基板１００上に塗布されたポリイミド溶液２００を乾燥させるためのものであり、加熱源としてのホットプレート２と、ホットプレート２の上面側に取付けられた複数のプロキミシティピン１０Ａとを備える。プロキミシティピン１０Ａは、空気が封止された空洞１３をその内部に有している。 （もっと読む）

【課題】ノズル初期化機構で用いられる洗浄液を有効利用するとともに、配管構成を簡略化できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１のノズルメンテナンスユニット９は、ローラ９５と、ローラ９５を収納するローラバット９６と、ノズルの洗浄に用いられるノズル洗浄ユニット４０と、ノズル洗浄ユニット４０が待機する待機バット４１と、を備えている。このローラバット９６と待機バット４１とは連結管４２で連結されており、待機バット４１上の溶液はすべてローラバット９６へと送液される。そのため、スリットノズル５５やノズル洗浄ユニット４０より排出された洗浄液や処理液はすべて、ローラバット９６に一旦貯留され、予備吐出で処理液が吐出されたローラ９５外周面の洗浄に再利用できる。また、排気配管２５およびオーバーフロー廃液配管２３、ローラバット廃液配管２４をローラバット９６に設置すればよいので配管構成が簡略化される。 （もっと読む）