【課題】ノズルから液柱状に塗布液を吐出しつつ、基板上を走査移動することにより、基板に塗布を行う塗布装置において、基板の左右端に配置され、基板から外れた位置において塗布液を受ける液受け部に吸着部材を設けた場合、長期間の使用によっては塗布された液が液受け部内に溜まってしまう。溜まった液と新たに塗布される液とが衝突することにより、塗布液がミスト状に飛散してしまう可能性がある。
【解決手段】液受け部の内部に空間を設け、その空間内を負圧にしておくことにより、接液部材に吐出された塗布液を吸引する。常に接液部材が乾いた状態を維持することにより、塗布液がミスト状に飛散することを防止する。 （もっと読む）

【課題】機能液を塗布する領域毎に塗布する機能液の量を細かく調整できる液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】基板に設けられた第１塗布領域３７に向けて液滴２９を複数回吐出する液滴吐出方法にかかわり、第１塗布領域３７に吐出する液滴２９の総量の目標値である吐出目標値を設定し、液滴２９の量である吐出量が異なる複数の吐出条件の中から吐出量を整数倍した値が吐出目標値に近くなる吐出条件にて液滴２９を吐出する。 （もっと読む）

【課題】液滴ディスペンシング装置及び有機電界発光素子用の発光物質塗布方法を提供する。
【解決手段】対角線方向への液剤の吐出を容易に行え、大型化された基板にも適用容易にするために、（ｉ）パターニング対象体の移動方向である第１方向、及びこれと交差する第２方向に、それぞれ移動自在に構成された第１移動ユニット１５、１６及び第２移動ユニット１１、１２、（ｉｉ）第２移動ユニットに装着されるディスペンシング・ユニット、及び（ｉｉｉ）第１方向及び第２方向に平行な仮想面上で、第２移動ユニットを、第１移動ユニットに対して回転させるように、第１移動ユニットと第２移動ユニットとの間に装着される第３移動ユニット１３、１４を具備する液滴ディスペンシング装置１０、及びこれを利用した有機電界発光素子用の発光物質の塗布方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルのスリット内部を効率的に清掃すること。
【解決手段】このスリットノズル清掃装置７０は、スリットノズル３２の吐出通路３２ｂをキャビティ３２ｃから吐出口３２ａまで横断してその先端部７２ａが吐出口３２ａの外に出ている糸状の掻き出し部材７２と、スリットノズル３２の外で、糸状掻き出し部材７２の先端部７２ａを着脱可能に保持し、吐出通路３２ｂ内の固化物の掻き出しを行うように、糸状掻き出し部材７２を吐出通路３２ｂ内でスリットノズル３２の長手方向（Ｙ方向）に摺動させながら牽引して走査する牽引走査ユニット５６と、キャビティ３２ｃよりも高いスリットノズル３２の外の位置で糸状掻き出し部材７２に結合され、牽引走査ユニット５６の牽引力に抗して糸状掻き出し部材７２に張力をかけながらその移動を許容する引っ張り部７４とを有する。 （もっと読む）

【課題】隣接するｎ個の着弾位置に対応したｎ個の部分データを、１のラッチ信号に対して処理可能な１吐出データとして扱う方法において、吐出データに対し適切な書換処理を実施することができる。
【解決手段】隣接するｎ個の着弾位置に対応して各着弾位置への吐出の有無を１ビットで表したｎ個の部分データを、１のラッチ信号に対して処理可能な１吐出データとして扱う液滴吐出ヘッドの吐出データ書換方法であって、吐出データを着弾位置にしたがって配列した複数の吐出データの中の任意の吐出データを部分データ単位で書き換える場合、当該任意の吐出データに隣接する少なくとも一方の吐出データに応じて、当該任意の吐出データの部分データを書き換える。 （もっと読む）

【課題】広範囲の部分に薬液を均一に塗布すると共に薬液の塗布時間を短縮する。
【解決手段】上面１ａに基板５を載置して水平面内を移動可能にされたステージ１と、ステージ１の上方に配設され、該ステージ１に載置された基板５の上面に圧着して該基板５上に滴下された薬液を所定厚みに押し広げる圧着ヘッド２と、圧着ヘッド２を間にして左右に配設された一対のリール８間に圧着ヘッド２の圧着面２ａ側を経由して掛け渡されたテープ３と、ステージ１と圧着ヘッド２とを相対的に上下動させて基板５と圧着ヘッド２とを、間にテープ３を介在させた状態で互いに圧着可能とする移動手段４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】レンズの着脱が容易であり、かつ、ディップコート法を用いてレンズに機能性薄膜を効率よく塗布することができるレンズ挟持部材を提供する。
【解決手段】レンズ挟持部材１は、第１部材１０と、第２部材２０とを備える。第１部材１０には、複数の貫通孔１４が形成される。各貫通孔１４は、第２部材２０に対向する内表面１１側に位置する内側貫通部１４ｂと、内表面１１の反対側に位置する外側貫通部１４ａとを有する。外側貫通部１４ａと内側貫通部１４ｂとの間には、円環状のフランジ接触面１４ｃが形成される。第２部材２０には、第１部材と重なり合うときに、各貫通孔１４と同軸となる複数の貫通孔２４が形成される。フランジ接触面１４ｃにフランジ３２を載せて、第１部材１０と第２部材２０とを互いに重ね合わせることにより、複数のレンズ３０がレンズ挟持部材１に挟持される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、気泡の発生を低減させるノズルヘッド充填装置及びその充填方法を
提供する。
【解決手段】 ノズルヘッド充填装置は、複数のノズルＮが形成されたノズル面Ｍ３、この複数のノズルＮにそれぞれ連通し、液体を収容する複数の液室Ｅ、及び前記液室Ｅに液体を供給・排出する液体流路液体を有するノズルヘッド２と、このノズルヘッド２を支持し、回動する支持傾斜部３と、前記ノズルヘッド２に着脱可能に取り付けられ、前記ノズル面Ｍ３との間に空隙Ｃ１を有してノズルを覆うキャップＣと、液体流路Ｒに供給する液体を収容する液体供給部４、５と、を備えることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は塗布装置及び塗布方法に関し、ペーストパターン形成時に安定したペーストパターンを形成する装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の実施形態は、基板を準備するステップと、前記基板にペーストを塗布するステップと、を含み、ペースト塗布速度が加速又は減速される区間を持ち、前記加速又は減速される区間での塗布圧力変化がＮ個の段階で段階毎に行われる。前記ペーストを塗布するステップは、ペースト塗布の加速又は減速される区間での塗布圧力変化を段階化する段階化個数Ｎを算出するステップと、前記加速又は減速される区間でのペースト塗布加速度を算出するステップと、前記加速又は減速される区間での塗布圧力を前記Ｎ個の段階毎に変化させながら、前記算出された塗布加速度でペーストを塗布するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】インク吐出時に発生するミストに起因した不具合の発生を防止できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板Ｐに液滴を吐出する液滴吐出ヘッド６０と、液滴吐出ヘッド６０を移動可能に保持するキャリッジ６９と、キャリッジ６９の移動に伴って液滴吐出ヘッド６０のノズル面１４７Ａと基板Ｐとの間に生じる気流Ａ１の流れを規制する規制部２０３と、規制部２０３により規制された気流Ａ１の流れの下流側に設けられるミスト回収部２０２と、を備えた液滴吐出装置である。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出装置では、吐出ヘッドの信頼性を高めることが困難である。
【解決手段】液状体が液滴の状態で吐出されるノズルを有する吐出ヘッド３３と、吐出ヘッド３３の前記ノズルが設けられている面であるノズル面３５に付着した前記液状体の少なくとも一部を払拭するワイパー２３ａ及びワイパー２３ｂと、ノズル面３５とワイパー２３ａ及びワイパー２３ｂとを互いに対向させた状態で、ワイパー２３ａ及びワイパー２３ｂに対する吐出ヘッド３３の位置を変化させる変位装置と、を有し、吐出ヘッド３３とワイパー２３ａ及びワイパー２３ｂとが互いに対向した状態において、ノズル面３５とワイパー２３ａ及びワイパー２３ｂとは、隙間９１を介して互いに離間している、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】たわみを抑制しつつ基板を持ち上げること。
【解決手段】基板９０を載置可能なステージ２０と、旋回部３２を受渡位置と処理位置との間で移動可能なステージ動作機構部３０と、ステージ２０が受渡位置に移動された状態で旋回部３２の移動軌跡上に配設される外側補助リフトピンを含み、ステージ２０上に載置される基板９０の周縁部に沿った位置に、ステージ２０上面に対して出退可能に配設された複数の外側リフトピン４２と、受渡位置に配設され、ステージ２０が受渡位置に移動された状態で、第１の外側リフトピンを出退操作可能な出退操作機構部６０と、ステージ動作機構部３０に対して、第２の外側リフトピンに対向する位置に出退方向に移動可能に配設され、ステージ２０が受渡位置に移動された状態で、出退操作機構部６０の出退操作力に応じて出退方向に移動される突き上げ補助部材７２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】塗布液を異なる種類に交換する液換え作業が容易となる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布液を吐出する口金３と、異なる二種類の塗布液それぞれを口金３側に送るために当該塗布液の種類毎に設けられた二つのポンプ２１，２２と、複数のポンプ２１，２２と口金３との間に設けられた切り換えバルブ７とを備えている。切り換えバルブ７は、ポンプ２１，２２それぞれと流路を介して繋がっている二つの入口ポート３１，３２を有し、これら入口ポート３１，３２を択一的に出口ポート３３と繋がった状態に切り換える。この出口ポート３３から口金３へと配管６を通じて塗布液が流れる。そして、ポンプ２１，２２と出口ポート３３との間に設けられた流入口２３から洗浄流体が供給され、当該洗浄流体によって、配管６及び口金３が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、そのまま所定時間放置する。次に、プライミングローラ１４の回転を開始して、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取る。次いで、プライミングローラ１４の回転速度を一気に上げて、スリットノズル７２側とプライミングローラ１４側とに分かれるようにレジスト液Ｒの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４上のレジスト液膜ＲＭ₁を所定の待機用回転角位置へ着かせる。 （もっと読む）

【課題】基板への連続塗布を行う場合においてもタクトタイムを短縮することのできる塗布方法、及び塗布装置を提供する。
【解決手段】基板Ｓを浮上させて順次搬送しつつ、順次搬送される複数の基板Ｓに液状体を連続的に塗布する方法である。基板Ｓの搬送方向後方側の所定領域を用いて、液状体を吐出するノズルの液状体の吐出状態を管理する、ノズル管理工程を備える。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物の塗布領域に液体を均一に塗布する。
【解決手段】ヘッドシリンダ１２の軸線に対して、ノズル１０の吐出路１４０は斜めに形成されている。また、吐出方向変更部４０は、モータ６４とプーリ６２とベルト６０と制御部６６ａとから構成される。吐出方向変更部４０によって、ノズル１０の吐出路１４０は、ノズル１０の送り方向の逆側に所定角度だけ鉛直線に対し傾斜した方向に向けられる。ノズル１０の送り動作をしながら溶液を吐出した場合に、ノズル１０の相対速度の送り方向成分は、送り方向と逆方向に鉛直線から傾斜した向きにノズル１０から溶液が吐出されることによって相殺され、基板の塗布領域に対して鉛直方向から溶液が塗布される。 （もっと読む）

【課題】配管の揺れによる吐出部の揺れを抑制すること。
【解決手段】基板に塗布液を塗布する塗布装置２０であり、基板を保持する基板保持部と、基板に対して略平行な主走査方向Ｘに沿って延びる主走査方向ガイド部４２と、主走査方向ガイド部４２との間にエア層を介在させた状態で、主走査方向ガイド部４２により主走査方向Ｘに沿って移動可能に支持されたスライダ４４とを有する主走査機構と、スライダ４４により主走査方向Ｘに沿って移動可能に支持され、基板に対して塗布液を吐出する吐出部５０とを備えている。また、主走査方向Ｘに沿って吐出部５０の移動に追従して移動可能な配管支持部材６０が設けられ、配管８０は、途中が配管支持部材６０により支持された状態で、スライダ４４及び吐出部５０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】基板上に、有機ＥＬ素子の機能層をはじめとして、塗付膜をウェット法で形成する際に、基板上全体に配される塗膜形状のバラツキを抑えて、塗膜形状を均一化する。
【解決手段】乾燥装置２０は、減圧容器２１の内部に設けられた支持台２２上に、インクが充填された基板１が支持台２２に載置される。基板１の上方には、整流部材５０が配置されている。整流部材５０には、溶剤蒸気を流通させるスリット５３が複数並設されている。整流部材５０の下面には、各スリット５３の入口を覆うように、板上の網目部材４０が配設されている。網目部材４０には、各スリット５３に対して貫通孔４１が複数個づつ開設されている。 （もっと読む）

【課題】基板上に電極を形成する方法および装置において、低コストで、しかも優れた生産性で、幅の異なる電極を形成することのできる技術を提供する。
【解決手段】光硬化性樹脂を含む塗布液と吐出する吐出ノズル部と、吐出された塗布液に光照射して硬化させる光照射部とを２組設け、それぞれの照射条件を異ならせる。第１ヘッド部５に設けた吐出ノズル部５２と光照射部５３との間隔が、第２ヘッド部７に設けた吐出ノズル部７２と光照射部７３との間隔よりも小さい。このため、第１ヘッド部５では、塗布液が基板Ｗに塗布されてから光照射されるまでの時間が短く、幅が狭くて高さのある電極が形成される。一方、第２ヘッド部７では、塗布液が基板Ｗに塗布されてから光照射されるまでの時間が長いので塗布液が広がり、より幅広の電極が形成される。 （もっと読む）

【課題】塗布液の粘度が高い場合であっても流量調整を的確に行なって膜厚の均一化を図ることのできる塗布工具を提供する。
【解決手段】一対のヘッド部材１０，２０から構成された塗布ヘッド１を有し、ヘッド部材１０，２０における互いに対向する一対の内側面１１，２１同士の間にスロット３が画成され、塗布液がスロット３内を流通して塗布ヘッド１の先端から吐出される塗布工具において、一方の内側面１１側に突出する側に向かって他方の内側面２１の一部を弾性変形させて膨らませ、又は、一方の内側面１１から後退する側に他方の内側面２１の一部を弾性変形させて凹ませて、スロット３内の塗布液の流量を調整する内部流量調整機構６０を設ける。 （もっと読む）