【課題】インクジェットヘッドを傾けることなくフィルタを製造する。
【解決手段】基材９１の搬送方向および搬送方向と垂直な方向に周期的に配列されるフィルタをインクジェット印刷により製造するフィルタ製造装置１において、予め定められたフィルタピッチとヘッド解像度とを基に、印刷物の搬送方向と垂直な方向における同一個数のドット領域を有する印刷セルＰｃを設定する印刷セル設定部３５と、基材９１の搬送方向と垂直な方向におけるフィルタピッチＦｐｘと印刷セルＰｃとのズレ量を算出するズレ量算出部３６と、印刷セルＰｃ内のズレ量が単位ドット領域を超えるか否かを判別するズレ量判別部３７と、印刷セル内において単位ドット領域を超えるズレ量を印刷セルＰｃに含まれるドット領域数を調節することで補完する印刷セル補完部３８とを備えたフィルタ製造装置。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布液塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】 塗布液を本管を介して複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの本管に配設された基準流量計が示す流量値と、支管に配設された支管流量計が示す流量値との間の関係を示す第１関係式を求める第１関係式作成工程と、塗布液を本管を介して複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの支管に設けられた流量制御バルブの流量設定値と、支管に配設された支管流量計が示す流量値との関係を示す第２関係式を求める第２関係式作成工程と、第１、第２関係式作成工程を複数の支管のうちの他の支管について順次実行する支管変更工程と、各支管に対して作成された前記第１関係式と前記第２関係式とに基づいて各支管の流量制御バルブを制御して基板に塗布液を供給する塗布工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜成膜装置および薄膜成膜方法において、塗布液の蒸発を抑制する設備を設けなくても、高精度な膜厚を有する薄膜を形成できるようにする。
【解決手段】塗布液８を被成膜体４に供給する塗布液供給部６と、被成膜体４を保持する保持部２と、塗布液８を薄膜化する回転駆動部３と、薄膜化された塗布液８の膜厚を測定する膜厚測定部６と、膜厚の変化から薄膜化された塗布液８の粘度および密度を算出する塗布液特性算出部と、回転駆動部３の回転制御を行う回転制御部と、を備え、回転制御部は、回転を開始し塗布液８が有効塗布領域Ｅまで拡がったことを検出してから、塗布液８の拡がりが停止する第１の回転速度に回転駆動部３の回転速度を制御し、塗布液８の粘度および密度が算出された後に、これに基づいて目標塗布膜厚を得るための第２の回転速度を算出して、回転駆動部の回転速度を第２の回転速度に切り換える構成とする。 （もっと読む）

【課題】ダイコータによる塗布の直前に吐出口を複数の清掃部材で拭取るのは、安定した塗布膜を得るために効果的な方法であるが、ノズルを交換する毎に、清掃部材を取り替えて、個々に吐出口にフィットするように調整するのは、時間がかかっていた。
【解決手段】塗布装置は、支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能で、上面に垂直な回転軸を有するθステージと、前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成されている清掃手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ペーストの塗布高さの測定精度を上げ、塗布製品の品質を向上させる。
【解決手段】ペースト塗布装置１は、塗布対象物Ｗの被塗布面にペーストを塗布する複数の塗布ヘッド３ａと、それらの塗布ヘッド３ａにそれぞれ一体的に設けられ被塗布面の変位を測定可能な複数のレーザ変位計３ｃと、制御を行う制御部とを備える。複数のレーザ変位計３ｃのうち少なくとも一つは光路面が塗布パターンにおける二直線のうち一方の直線に沿うように配置されており、少なくとも他の一つは光路面が二直線のうち他方の直線に沿うように配置されている。制御部は、被塗布面に描画された塗布パターンを形成するペーストの塗布高さを測定するとき、当該塗布パターンにおける直線状のペーストの延伸方向に光路面が沿った状態のレーザ変位計３ｃを直線状のペーストの延伸方向と交差する方向に移動させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】不良品の発生を抑制しつつ塗布作業の効率を高める。
【解決手段】シートＷのＸ方向及びＹ方向それぞれに複数並んで形成されている画素部Ｇに対して塗布液を吐出するノズル９が、Ｙ方向に並んで複数設けられている塗布ヘッド７と、シートＷに対して塗布ヘッド７をＸ方向及びＹ方向に移動させる駆動装置１２と、Ｙ方向に並ぶ画素部Ｇに対してノズル９から塗布液を同時に吐出させる単位塗布動作を実行する制御を行う塗布動作制御部１４と、画素部Ｇを撮像するカメラ５を有し画素部Ｇの座標を取得する座標取得部２４と、取得した座標に基づいて、Ｙ方向に並ぶ複数の画素部Ｇのうち、前記単位塗布動作によって正規の位置に塗布液の滴下が可能となる画素部数を算出する演算部１５とを有している。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚制御、特に塗布膜の周縁部の膜厚均一化を容易に行うこと。
【解決手段】この面状塗布ユニット（ＡＣＴ）４０では、ステージ８０の上に基板Ｇを載置して、レジスト液供給機構８６およびノズル移動機構８８を動作させると、長尺ノズル８２の塗布走査により基板Ｇ上に基板の一端から他端に向ってレジスト液の面状塗布膜１００が形成されていく。その際、面状レジスト塗布膜１００が基板Ｇの外側へ向って広がる過程でライン状レジスト塗布膜７６と接触ないし一体化し、ライン状レジスト塗布膜７６によって面状レジスト塗布膜１００の外縁の位置が規定されると同時に膜厚も制御される。 （もっと読む）

【課題】改良されたスピンコーターシステムを提供する。
【解決手段】再循環スピンコーターシステムは、スピンコーティングボウル１２を備え、このスピンコーティングボウル１２は、再循環排液口２２、およびこのスピンコーティングボウル１２の内側壁２８の上端に付随する湿潤流体チャンバ３０を備える。この湿潤流体チャンバ３０は、側壁湿潤流体を、このスピンコーティングボウル１２の内側壁２８に分配するように構成されている。映像システムは、品質管理および加工片の位置決めのために、スピンコーティングボウル内の加工片の画像を捕捉するように構成されている。光源の環状アレイが、スピンコーティングボウル１２の面を囲み、そして光学制御のためにスピンコーティングボウル１２の内部を照射するように構成されている。映像システムは、品質管理と加工片位置決めとの両方のために利用され得る。 （もっと読む）

【課題】温度環境の変化に伴うガイド部材の変形を抑制可能な技術を提供する。
【解決手段】移動装置１は、第１の材料により形成された基台１１と、基台１１上に設置された一対のガイド部材１２と、第１の材料と熱膨張率の異なる第２の材料により形成され、一対のガイド部材１２に沿って移動可能な移動体１３と、一対のガイド部材１２のうちの少なくとも一方のガイド部材１２ａと移動体１３との間に配置された板バネ１４１とを備える。板バネ１４１は、移動体１３に対して固定される第１のブロック部と、ガイド部材１２ａの延在方向について第１のブロック部から離間した位置に配置され、ガイド部材に沿って摺動する摺動部材に対して固定された第２のブロック部と、第１のブロック部と第２のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と
を備える。 （もっと読む）

【課題】シール若しくは接着剤の流動防止のための線幅を細く維持しつつ、均一で高い充填空間を確保できる接着剤供給装置及び接着剤供給方法を提供する。
【解決手段】紫外線の照射により硬化する接着剤Ｒを供給する接着剤供給装置において、ワークＳ１に対して線状に接着剤Ｒを供給する供給部１０と、供給部１０による接着剤Ｒの供給とともに、接着剤ＲにおけるワークＳ１との界面に対して、界面における接着剤が硬化するのに必要なエネルギーを有する紫外線を照射する照射部１１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】アスペクト比が大きく且つ多数のスペーサを高速で実装することができる電界放出ディスプレイ用のスペーサ自動実装システムを提供する。
【解決手段】複数個のスペーサを水平整列パレット２１に水平方向に整列する水平整列機と、複数個のスペーサを垂直整列パレット５０に垂直に整列する反転機を含む垂直整列機５と、垂直整列パレット５０と接着剤の塗布されたパネル９とが固定される実装ベースと、垂直整列パレット５０に複数個のスペーサを真空吸着する真空吸着機７０と、複数個のスペーサをパネル９にガイドするガイド兼加圧機８０と、真空吸着機を垂直整列パレット５０でパネル９の上側に移動させる第１ローダ９１と、ガイド兼加圧機８０をパネル９の上側に移動させる第２ローダ９２と、垂直整列機５、真空吸着機７０、ガイド兼加圧機８０、第１ローダ９１及び第２ローダ９２を制御してパネル９に複数個のスペーサを実装する制御機とを含む。 （もっと読む）

【課題】 複数のインクジェットノズルによって光学シートの背面にドットパターン印刷を施す際に、印刷面におけるスジの発生を抑制することにより、光学シートを用いた製品の品質向上を図ることができる光学シートの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】 隣接するインクジェットヘッド５１，５２は、それぞれ複数のインクジェットノズル５１Ａ〜５１Ｃ，５２Ａ〜５２Ｃが設けられている。ドットパターン印刷を行う際の固定ノズル間距離ｄ１と、不定ノズル間距離ｄ２と、が、下記（１）式を満たす。
０．９４＜ｄ２／ｄ１＜１．０６ ・・・（１） （もっと読む）

【課題】塗布ユニットが固定されている場合であっても、口金部の交換を容易に行うことができ、また、口金部の交換に伴うコストアップを抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を浮上させる浮上ステージと、浮上ステージから基板を浮上させた状態で浮上ステージに沿って基板を搬送する基板搬送部と、塗布液を吐出する口金部が着脱可能に支持されるとともに、口金部が浮上ステージに対向した状態で固定して設置された塗布ユニットと、を備えており、浮上ステージ上に浮上した基板を基板搬送部により塗布ユニットに対して移動させつつ口金部から塗布液を吐出することにより、基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、口金部を載置可能な口金移載ユニットをさらに備え、この口金移載ユニットが口金部と対向する口金受取位置と口金部を交換する口金交換位置とに移動可能である構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板表面に塗布液を塗布しこれを光硬化させることにより所定のパターンを形成するパターン形成技術において、品質の良好なパターンを効率よく形成する。
【解決手段】吐出ノズル先端の吐出口５２１から基板Ｗに向けて塗布液を吐出するとともに、基板Ｗに塗布された直後の塗布液Ｐに対して第１の照射光源５５１，５５２から波長３６５ｎｍのＵＶ光Ｌ1を照射する。これにより塗布液の表面が硬化する。続いて、第２の照射光源５６１，５６２から、より長波長（例えば３８５ｎｍまたは３９５ｎｍ）のＵＶ光Ｌ2を、先のＵＶ光Ｌ1の照射を受けた塗布液に照射する。長波長の光Ｌ2はより塗布液の内部まで浸透するので、内部の硬化が促進される。 （もっと読む）

【課題】より効率的に液滴吐出ヘッドを洗浄することのできる液滴吐出装置およびその洗浄方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置１００は、洗浄ヘッド２１０を液滴吐出ヘッド１１０に対して接触させた状態で、移動手段２９０によって、洗浄ヘッド２１０を液滴吐出ヘッド１１０に対して相対的に移動させながら、第１の開口２１６から該第１の開口２１６に覆われたノズル１１８を介して液滴吐出ヘッド１１０内に洗浄液貯留槽から送液された洗浄液２を供給するとともに、第２の開口２１４から第２の開口２１４に覆われたノズル１１８を介して液滴吐出ヘッド１１０内の洗浄液２を吸引するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚のバラつきを抑えること。
【解決手段】第一浮上量で基板を浮上させる第一浮上部、及び、第一浮上量よりも小さい第二浮上量で基板を浮上させる第二浮上部、を有し、第一浮上部と第二浮上部との間で基板を連続的に搬送する基板搬送部と、第二浮上部において第二浮上量で浮上する基板に液状体を塗布する塗布部と、第一浮上部と第二浮上部との間を移動する基板の浮上量を調整する浮上量調整部とを備える。浮上量緩和領域ＲＣは、塗布浮上領域ＴＣの上流側に設けられた上流側緩和領域（上流側調整部）ＲＡと、塗布浮上領域ＴＣの下流側に設けられた下流側緩和領域ＲＢとを有している。浮上量緩和領域ＲＣは、第一浮上部である基板搬入領域と第二浮上部である塗布浮上領域ＴＣとの間、及び、第二浮上部である塗布浮上領域ＴＣと第一浮上部である基板搬出領域との間、でそれぞれ基板の浮上量が急激に変化するのを緩和する部分である。 （もっと読む）

【課題】ノズルのメンテナンス性を向上させること。
【解決手段】基板を保持する基板保持部と、前記基板との間で相対的に移動可能に設けられ、前記基板に対して先端部から液状体を吐出するノズルを有する塗布部と、前記ノズルの前記先端部の画像を取得する画像取得部とを備える。 （もっと読む）

【課題】蛍光体分散液及び前駆体溶液を塗布装置に補充する際に生じる濃度変化を抑制することができるカートリッジを提供し、さらに、このカートリッジから供給される蛍光体分散液及び前駆体溶液を用いて、蛍光体が均一に分散された蛍光体分散膜を発光装置に形成して、発光装置が発光するときの色度の変化やバラツキを抑制することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】波長変換部を形成するための蛍光体分散膜を発光装置の発光面に塗布する塗布装置に、蛍光体を含有する塗布液を供給する供給体を、波長変換特性を有する蛍光体を含有する蛍光体分散液が充填される第１充填室と、透光性セラミックの前駆体組成物を含有する前駆体溶液が充填される第２充填室と、を一対一体状に備えたカートリッジとする。 （もっと読む）

【課題】均一な浮上量で基板を浮上させること。
【解決手段】所定領域に液状体を吐出するノズルを有する塗布部と、前記所定領域を通過するように基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、少なくとも前記所定領域において前記基板のうち基板搬送方向に直交する方向の端部の浮上量を調整する調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ノズル内の流路における異物の付着を防止し、被処理基板に対する塗布液の塗布
の際に、ノズル吐出口から処理液を均一に吐出する。
【解決手段】吐出口１６ａから塗布液を吐出するノズル１６と、前記ノズル１６の待機期間において前記ノズル１６内の流路が前記塗布液から前記塗布液の溶剤Ｔに置換された状態で保持するメンテナンス手段２６とを具備し、前記メンテナンス手段２６は、前記ノズル１６に前記溶剤Ｔを供給する溶剤供給手段３３，３４と、前記ノズル１６の吐出口１６ａとの間に所定の間隙を形成する液保持板２８の液保持面２８ａと、この液保持面２８ａを洗浄する液保持面洗浄手段５１とを有する。 （もっと読む）