【課題】ピン跡ムラ等の乾燥ムラの発生が効果的に抑制でき、かつ短時間で塗布膜溶液の乾燥処理が行なえる塗布膜形成用加熱乾燥装置を提供する。
【解決手段】塗布膜形成用加熱乾燥装置は、配向膜としてのポリイミド膜をガラス基板１００上に形成するためにガラス基板１００上に塗布されたポリイミド溶液２００を乾燥させるためのものであり、加熱源としてのホットプレート２と、ホットプレート２の上面側に取付けられた複数のプロキミシティピン１０Ａとを備える。プロキミシティピン１０Ａは、空気が封止された空洞１３をその内部に有している。 （もっと読む）

【課題】ノズル初期化機構で用いられる洗浄液を有効利用するとともに、配管構成を簡略化できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１のノズルメンテナンスユニット９は、ローラ９５と、ローラ９５を収納するローラバット９６と、ノズルの洗浄に用いられるノズル洗浄ユニット４０と、ノズル洗浄ユニット４０が待機する待機バット４１と、を備えている。このローラバット９６と待機バット４１とは連結管４２で連結されており、待機バット４１上の溶液はすべてローラバット９６へと送液される。そのため、スリットノズル５５やノズル洗浄ユニット４０より排出された洗浄液や処理液はすべて、ローラバット９６に一旦貯留され、予備吐出で処理液が吐出されたローラ９５外周面の洗浄に再利用できる。また、排気配管２５およびオーバーフロー廃液配管２３、ローラバット廃液配管２４をローラバット９６に設置すればよいので配管構成が簡略化される。 （もっと読む）

【課題】 ヘッドのドレン側に液体用ポンプを接続して吸引動作を一定時間行なうことでドレン抜きを行なっていたために、液体用ポンプの吸引圧力が直接ヘッドのメニスカス部分に影響することによる不吐出が生じた。
また、液体用ポンプがキャップ部での予備吐出時の吸引動作も兼ねて行なっていたために、この動作に対しては流量が少なく予備吐出したインクが周囲に飛散する問題が生じた。
【解決手段】
ドレン用の配管を有するインクジェットヘッド、バルブ、気液分離装置、吸引手段、キャップを有するインクジェット装置において、上記の気液分離装置の構造として、第１の領域と第２の領域に分離部材によって仕切られ、第１の領域にヘッドとキャップからのインク流入ポートと圧力センサポート、第２の領域にインク排出ポートと真空エジェクタポートを設け、分離部材は液体流入口からのミストを遮るようにかつ液体が浸らないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】各キャリッジ間における液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量の均一化を図ることができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】複数の液滴吐出ヘッド７２がキャリッジ７３に搭載されてなるキャリッジユニット３１が複数配列され、ワークとキャリッジユニット３１とを相対的に移動させながら、各液滴吐出ヘッド７２からワークに向けて機能液の液滴を吐出する液滴吐出装置１において、キャリッジユニット３１の配列方向に沿って気流を発生させる気流発生機構１４０を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能な、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルと、複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッド５と、シート部材１５を供給する供給リール１２と、シート部材１５を巻き取る巻取リール１３と、吐出された機能液の画像を撮影する撮像装置１４と、撮像装置１４によって撮影された画像を画像処理して機能液のシート部材１５上の着弾面積を測定し、複数のノズルから吐出された機能液の吐出量の分布を求める解析手段３２と、分布から複数のノズルにおける吐出量が所定の適正量に近づくように複数の駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段３１と、を有し、シート部材１５は、シート基材と、機能液の着弾径よりも大きい複数の開口部を有する隔壁層と、各開口部に設けられたインク受容層と、を備える。 （もっと読む）

【課題】矩形の基板がステージ上で傾いて載置されても、当該基板を位置決めし直すことのできる矩形基板の載置位置矯正方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗの左辺Ｌに二点で接触可能な一対の第一部材１１及び第二部材１２を前後方向基準線Ｘ０に平行な直線Ｘ１上に位置させ、基板Ｗの前辺Ｆに一点で接触可能な第三部材１３、及び、基板Ｗの後辺Ｂに一点で接触可能な第七部材１７を、基板Ｗの前後方向寸法ｂよりも広い間隔でかつ左右方向基準線を中心として位置させる。左側の前記二点及び右側の第五部材１５と第六部材１６とで基板Ｗを左右方向に挟むと共に、この左右方向に挟む動作の間に、基板Ｗを第四部材１４及び第八部材１８で、左右方向基準線Ｙ０を中心として前後方向に挟む。 （もっと読む）

【課題】乾燥前の塗布膜であっても塗布ムラを検出することができ、塗布工程直後から塗布ムラを検出することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、基板上に形成された塗布膜に対し、特定の照射パターンの光を出力する照射部と、塗布膜の表面で反射された反射光を受光する受光部と、受光部によって受光された反射光の受光パターンと、特定の照射パターンとを比較することにより、塗布膜の形成状態の良否を判断する制御装置とを備える塗布装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドモジュールにおけるインクの吐出状態を確認することのできる塗布装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するヘッド７をそれぞれ有する複数のヘッドモジュール４と、これらヘッドモジュール４に供給するインクを溜めるサブタンク８と、ヘッドモジュール４それぞれにおけるインクの圧力を計測する圧力センサ１５と、ヘッドモジュール４それぞれにおけるインクの圧力を制御するための電空レギュレータ１７と、圧力センサ１５の計測値を取得して当該計測値に基づいてヘッドモジュール４におけるインクの吐出状態を検出する管理手段３１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】異物検出部が異物を検出してからノズルが異物に到るまでの距離を長くする必要がなく、装置の大型化を抑制することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗布装置１１は、走行機構２５によって口金部２２を走行させながら、口金部２２のノズル４４から流出した塗布液をステージ１４上の基板１２に塗布する。そして、塗布装置１１は、ノズル４４よりも走行方向の先方側に存在する異物Ｐを検出する異物検出部４５，３３と、異物検出部４５，３３によって異物Ｐが検出されたときに、口金部２２を上方に退避させるように昇降機構２４を制御する昇降制御部（退避制御部）３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】インクジェット印刷装置を用いて画素が平坦な、むらのないパターン形成体を製造する際に、大型な装置を用いることなく、かつ生産性に優れた製造方法および製造装置を提供することである。
【解決手段】多数の領域に区分けする隔壁を有する基板にインクジェット印刷装置にて隔壁内にインクを塗工することにより画素を形成する際に、基板の加熱とＵＶ露光による初期インク硬化工程をインクジェット塗工の間にはさむことで画素が平坦となる。また、初期インク硬化工程後に画素検査工程を用い、その情報に応じてインクジェット塗工量を調整することでむら不良のないパターン形成体が製造できる。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布むらが発生するのを抑制でき、また、塗布むらの発生を抑制するための制御が簡単となる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１２を載せるステージ１４と、基板１２に沿って相対的に移動すると共に当該基板１２に塗布液を吐出するノズル１０と、このノズル１０に塗布液を送り出すポンプ装置と、このポンプ装置が駆動することで当該ポンプ１内の塗布液に生じようとする圧力変動を抑制する動作を当該ポンプ１において行うアクチュエータ７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】吐出不良検査に要する時間を短縮し、ワークに対しての描画を効率良く行うことができる液滴吐出装置、液滴吐出方法及び電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ワークＷに描画するためのワーク描画データと、描画シート５５に検査パターンを描画するための検査描画データとを含んだ描画データを生成する。ここで、ワーク描画データと検査描画データとを含んだ描画データは、図１０の二点鎖線で示した描画範囲２０１を描画するように生成され、生成された描画データに基づいて、ワークＷおよび描画シート５５に対して描画を行う。 （もっと読む）

【課題】インクの着弾位置の検証が容易となる着弾位置検証方法を提供する。
【解決手段】インクジェット装置のノズル６ａからは、実基板Ｗ０に形成されているＢＭ格子１１により区画された多数の画素部１２に、インク９を着弾させることができる。インク９に対して撥液性を有している検証用基板Ｗ１に対して、ノズル６ａからインク９を着弾させる。検証用基板Ｗ１上に着弾させたインク９の画像を基準座標と対応つけて取得すると共に、取得した当該画像に、前記ＢＭ格子１１と同じ形状を有するように作成され前記基準座標と対応付けられている格子形状情報を、前記基準座標を一致させてモニタ２７にオーバーレイ表示する。 （もっと読む）

【課題】新旧機能液の置換を適切に効率良く行うことができる機能液タンク、液滴吐出装置の機能液置換方法および液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】本発明のサブタンク４８は、メインタンク５０から機能液の供給を受けると共に、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を供給するサブタンク４８であって、サブタンク本体８１と、サブタンク本体８１に添設した液柱パイプ８３と、液柱パイプ８３に臨み、サブタンク本体８１の上限液位を検出する上限検出センサー９１および下限液位を検出する下限検出センサー９３と、サブタンク本体８１に収容され、サブタンク本体８１の内壁に微小間隙を存して配設された蓋体フロート８２と、液位の下降に伴って下降する蓋体フロート８２の下降端位置を、規制するフロート規制部材（８５，１０３，１０５，１０７）と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ワイピング処理の際、周囲に浮遊する異物を除去することができる。
【解決手段】布製のワイピングシートＳを繰り出すシート繰出しリール５１からワイピングシートＳを巻き取るシート巻取りリール５２に至るシート送り経路５４に、ワイピングシートＳを、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４のノズル面３８に相対的に押圧する押圧ローラー５３を配置し、押圧ローラー５３により、走行するワイピングシートＳをノズル面３８に押し付けてノズル面３８を払拭する機能液滴吐出ヘッド１４のワイピングユニット１７であって、シート繰出しリール５１から押圧ローラー５３に至るシート送り経路５４の送り込み経路に臨み、周囲に浮遊する異物を吸着するように、走行するワイピングシートＳを帯電するテンションローラー６１を、備えた。 （もっと読む）

【課題】インキジェット装置のノズルのメンテナンスの際に、インキノズルのインキメニスカスの形状がノズル開口部で所定の形状になるように、ノズル内のインキ圧力を、所望の値に、できるだけ短時間で到達するような手段を備えたインキ供給装置を提供すること。
【解決手段】ダイヤフラムポンプを駆動してインキ供給タンクからインキ吸上げ、ダイヤフラムポンプを駆動して前記インキを加圧してインキジェットヘッドに備わるインキノズルまでインキを送り出すインキ供給装置において、前記インキノズル内のインキ圧力と予め設定した目標圧力の差を検出しながら、その差に比例した前記ダイヤフラムポンプのポンプ駆動速度設定をすることを特徴とするインキ供給装置である。 （もっと読む）

【課題】非接触支持装置を利用しつつも、安定した有効なノズルプリンティング法により塗布をおこなう装置を提供すること。
【解決手段】基板に流動性材料を塗布するための塗布装置であって、ノズル、液受部、浮上支持ユニット、ノズル移動機構、基板移動機構、制御部を備え、その浮上支持ユニットおよび液受部の配置が、ノズルが被塗布基板に対して液柱を形成している場合に浮上支持ユニットが前記ノズルの直下となるように、または上述のノズルが被塗布基板の範囲外で液柱を形成している場合に液受部のいずれかがノズルの直下となるように行われる、塗布装置。 （もっと読む）

【課題】液体の温度に拘わらず吐出特性を一定に揃えることが可能な液体吐出装置、及び、液体吐出装置の制御方法を提供する。
【解決手段】インクパック５２からのインクを圧力発生室に導入し、圧力発生手段を駆動させることによりノズル４７から着弾対象物（記録紙）に向けて液体を吐出可能な記録ヘッド３と、圧力発生手段を駆動する吐出駆動パルスを発生する駆動信号発生手段と、インク又は着弾対象物を加熱する加熱手段と、を有するプリンターにおいて、着弾対象物に対するインクの吐出動作の合間に、記録ヘッドのノズルから吐出されるインクの飛翔速度を測定するインク速度測定部７と、インク速度測定部により測定された飛翔速度の変化に基づいて吐出駆動パルスを補正する補正手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光硬化性を有する液状材料を用い、高精度な液滴吐出を実現することができる液滴吐出装置および液滴吐出方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置１は、光透過性を有する板状またはシート状のワークＷの一方の面の描画領域に向けて、光硬化性を有する液状材料を液滴として吐出し、描画領域に付与された液状材料Ｌに、当該液状材料を硬化し得る光を照射するものであり、ワークＷ内に光を入射させるように設けられた光出射部７１を備え、液状材料の屈折率をｎ_Ｌとし、空気の屈折率をｎ_Ａとしたときに、これらの屈折率は、ｎ_Ａ＜ｎ_Ｌなる関係を満たし、光出射部７１からワークＷ内に入射した光を、描画領域のうち液状材料Ｌが付与されていない領域では、ワークＷと空気との界面で反射させ、描画領域のうち液状材料Ｌが付与された領域では、ワークＷと液状材料Ｌとの界面を通過させて当該液状材料Ｌに入射させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル毎の駆動電圧を変更することなく、また複数の濃度のインクを用いることなく、ノズル毎のインク吐出量のバラツキによって発生する濃度ムラによる品質低下がなく、高品質なカラーフィルタ及び有機機能性素子を製造することができるインクジェットパターン形成装置を提供する。
【解決手段】インクジェットノズルヘッドユニットを駆動させるためのノズルパラメータ情報及び基板内の画素の位置を示す基板パラメータ情報からインクを吐出する有効なノズルを選択する手段と、前記有効なノズルから吐出するインクのドロップ数の増減を基準となるデータから多値誤差拡散法を用いて算出する手段と、算出されたインクのドロップ数を増減させるノズルを選択する手段とを具備することを特徴とするインクジェットパターン形成装置。 （もっと読む）