【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と、１次室側開口縁部を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、これを保持する保持部８２ｂから連通流路６９を挿通して延び、先端部で受圧膜体７３に当接する作動軸部８２ｃと、を有し、受圧膜体７３は、膜体本体７３ａの中心部に同心上に接着され、作動軸部８２ｃの先端部が当接状態で係合する係合部７３ｃを形成した受圧板７３ｂと、を有している。 （もっと読む）

【課題】スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能な、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルと、複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッド５と、シート部材１５を供給する供給リール１２と、シート部材１５を巻き取る巻取リール１３と、シート部材１５の表面を撥液処理するプラズマ処理装置３４と、撥液処理されたシート部材１５に対して複数のノズルから吐出された機能液の画像を撮影する撮像装置１４と、撮像装置１４によって撮影された画像を画像処理して機能液のシート部材１５上の着弾面積を測定し、複数のノズルから吐出された機能液の吐出量の分布を求める解析手段３２と、分布から複数のノズルにおける吐出量が所定の適正量に近づくように複数の駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段３１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液面の位置を正確に検出して、高品質な塗膜を形成することができるスリットコート式の塗布方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】液槽に貯留された塗布液をノズルから流出させると共に当該ノズルと基板を前記基板の塗布面の面方向に相対移動させて塗布液を基板に塗布する塗布方法において、前記液槽の液面７７に対して鉛直方向下方から検査光７６を照射して液面７７からの反射光７８を受光して反射光７８の受光位置から液面７７の位置を検出する際に、前記検査光７６が透過する第１透過部７４及び前記反射光７８が透過する第２透過部７５の少なくとも何れか一方を前記液面７７に対して傾斜させて液面７７の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】 塗布ヘッドのノズルから基板の所定の塗布範囲に吐出される液滴の着弾位置ずれを正しく把握し、その着弾位置精度を向上すること。
【解決手段】 液滴塗布方法において、ノズル１１から第１の狙い位置を狙って着弾させた第１の液滴Ｅ１の第１の狙い位置に対する反内側域の側への第１のはみ出し量Ｕと、当該ノズル１１から第２の狙い位置を狙って着弾させた第２の液滴Ｅ２の第２の狙い位置に対する反内側域の側への第２のはみ出し量Ｌを求め、第１と第２のはみ出し量Ｕ、Ｌに基づいて当該ノズル１１による液滴の塗布範囲に対する着弾位置ずれを求めるもの。 （もっと読む）

【課題】弁体の直進性を維持しつつ、連通流路の流路面積を十分に確保することができると共に、軸部が流路壁に引っかかるのを抑えることができる。
【解決手段】１次室１６７および２次室１６９と、１次室１６７と２次室１６９とを連通する連通流路１７３と、連通流路１７３を１次室１６７側から開閉する弁体２１１と、弁体２１１を開閉動作させるダイヤフラム１７１と、弁体２１１を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２１７と、を備え、弁体２１１は、弁座Ｓに対し直接開閉動作するＯリング２１４と、Ｏリング２１４を保持する保持部２１２と、保持部２１２から延びてダイヤフラム１７１に当接する軸部２１３と、を有し、連通流路１７３は、軸部２１３が挿通する第１連通流路２２１と、弁座Ｓと第１連通流路２２１との間に穿孔した第２連通流路２２２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】インクジェット塗布法で機能性材料を基板上に塗布し、液晶表示素子を製造するにあたり、インクジェット塗布装置に特別な機構、機能を付加することなく、塗布品質を安定させ、製品の信頼性を向上させる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】インクジェットヘッドのノズルの詰まりを低減するため、インクジェットヘッドの１回の基板送り方向への移動の間、少なくとも１回、インクジェットヘッドの全ノズルから吐出を行わせるダミーパターンを塗布データに設ける。また、ダミーパターンを撮影する撮影手段をさらに設ける。 （もっと読む）

【課題】受圧膜体に起因する弁体の不安定な開閉動作を防止することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】バルブハウジング７１内の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、圧力調整し２次室７６を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３が、円形の金属フィルムで構成された膜体本体９１と、膜体本体９１の中心部に同心上に接着した円形の受圧板９２と、を有しているものである。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と、１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、１次室６７は、弁体７０の開閉動作をガイドする弁ガイド壁６７ａを有し、弁体７０は、弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、弁体本体８１を保持すると共に、弁ガイド壁６７ａに対し開閉動作方向にスライド自在に係合する保持部８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作させることができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、弁体８４の開閉動作により圧力調整して２次室７６に供給し、２次室７６からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、弁体８４は、１次室７５に配設され弁座８３に対し直接開閉動作する弁体本体９４と、弁体本体９４を保持する保持部９７、および保持部９７から連通流路７８を同軸上に挿通して延び受圧膜体７３に当接する作動軸部９９から成る弁ホルダー９５と、を有し、作動軸部９９は、受圧膜体７３に向って先細りのテーパー形状に形成され、連通流路７８は、作動軸部９９に対し相補的形状に形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と１次室側開口縁部を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、これを保持する保持部と、を有し、受圧膜体７３は、膜体本体７３ａの中心部に同心上に接着された受圧板７３ｂから延び連通流路６９を挿通して保持部に当接する作動軸部７３ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】導電性又は半導電性塗布液の塗膜に交流電界を付与しない場合に比べ、コーヒーステイン現象の発生を抑制した導電性又は半導電性膜が形成される導電性又は半導電性膜の形成装置を提供すること。
【解決手段】基板１０の表面に、導電性又は半導電性塗布液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド２０と、導電性又は半導電性塗布液の液滴が基板１０の表面に着弾して形成された導電性又は半導電性塗布液の塗膜１１Ａに対して、交流電界を付与するための一対の交流電界付与電極４０と、一対の交流電界付与電極４０に交流電圧を印加するための交流電圧印加装置４１と、を備える導電性又は半導電性膜の形成装置。 （もっと読む）

【課題】ノズル面の上下方向の位置ずれを正確に測定することでワークギャップを極力小さい値に調整することができるギャップ調整装置等を提供する。
【解決手段】相互に離間したノズル面１０３の複数の箇所に対し、上下方向の位置をそれぞれ測定する位置測定手段１８１と、位置測定手段１８１に対し機能液滴吐出ヘッド８１を移動させるギャップ測定系移動機構２４と、機能液滴吐出ヘッド８１をワークＷに対して上下方向に移動させてワークギャップを微調整する昇降手段１３２と、位置測定手段１８１による測定結果に基づいて、昇降手段１３２を制御する制御手段３と、を備え、制御手段３は、位置測定手段１８１による複数の測定結果の最も近い位置とワークＷの表面との離間距離が設定したワークギャップとなるように、昇降手段１３２を制御する。 （もっと読む）

【課題】１軸方向に移動自在なステージを用いてガラス基板にシール剤を矩形状に能率良く塗布できるようにしたシール剤塗布装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｓを保持する１軸方向に移動自在なステージ３と、ステージ３の移動方向をＸ軸方向として、ステージ３の移動経路を跨ぐようにして配置した門型のフレーム５にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に位置調整自在に配置したシール剤の塗布ヘッド６_１〜６_４と、ガラス基板ＳをＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向の軸線回りに回転させる回転機構１１とを備える。そして、回転機構１１でガラス基板Ｓを９０°回転することにより、ステージ３をＸ軸方向に移動させたときのガラス基板Ｓに対する塗布ヘッド６_１〜６_４の走査方向を９０°切り替える。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁を簡単且つ精度良く組み立てることができる圧力調整弁の組立方法およびこれに用いるバネセット治具を提供する。
【解決手段】圧力調整弁の液室に、コイルバネを起立状態で載置するバネ載置工程と、コイルバネが起立状態を維持するように、バネセット治具７０をリング状端面にセットする治具セット工程と、バネセット治具７０の上から受圧膜体１１および押えリング１３を重ねるようにセットする膜体・リングセット工程と、受圧膜体１１がコイルバネに当接するように、少なくとも２本の取付けネジ３７を仮締めして、押えリング１３および受圧膜体１１をリング状端面に仮固定するネジ仮締め工程と、リング状端面からバネセット治具７０を離脱させるセット治具取外し工程と、全ての取付けネジ３７を本締めして、押えリング１３および受圧膜体１１をリング状端面に固定するネジ本締め工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの吐出口においてインクのメニスカスの形状を安定させることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出する吐出口１１を有するヘッド７と、溜めているインクをヘッド７に供給するサブタンク８とを備えている。さらに、ヘッド７の近傍部１９におけるインクの圧力を検出する圧力計１６と、ヘッド７内のインクの圧力を所定の値とするために、圧力計１６の検出結果に応じて、サブタンク８内のインクを増圧又は減圧させる制御を行う圧力調整部１７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】拭き残りが少なく、拭き取りの際に被拭き取り面を傷付けることなく微小粉末含有ペーストを除去でき、微小粉末を布帛内に確実に保持して系外に散逸させない、プラズマディスプレイ用ペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペーストを吐出する口金および該口金に付着したペーストを拭き取るためのワイピングクロスを備えたクリーニングユニットを有するプラズマディスプレイ用ペースト塗布装置であって、該ワイピングクロスが編物からなる布帛であることを特徴とするプラズマディスプレイ用ペースト塗布装置。 （もっと読む）

【課題】上部空間に開口した液体流入口から液面に流下する液体の、飛散を抑制することができる。
【解決手段】液面Ａの上部空間Ｓに連通する液体流入口１６１,１６２がヘッドキャップ８１に接続されると共に上部空間Ｓに連通する気体流出口１６３がエジェクター１１０に接続され、エジェクター１１０により上部空間Ｓを負圧にすることで、ヘッドキャップ８１から機能液を吸引しトラップする廃液タンク１０１であって、上部空間Ｓに配設され、液体流入口１６１,１６２から流入する機能液が衝突する邪魔板１６４と、邪魔板１６４に衝突した機能液を邪魔板１６４から液面Ａに導く内周面１６５ａを有する導水部材１６５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】同一ガラス基板内に複数の狙い膜厚がある品種に対して、それぞれの狙い値に膜厚を制御できるスピンレスコート装置を提供することと、その装置を用いた複数品種の面付けを持つカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】ステージ上に載置されたガラス基板の表面に、該ガラス基板表面と所定間隔離して該ガラス基板に対して移動する少なくとも1台以上のスリットノズルに塗布液をポンプで送液しながら、該塗布液を一定幅及び一定長塗布するスピンレスコート装置において、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、複数の狙い（仕上がり）膜厚に対応する塗布膜厚への膜厚変更制御機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、良品と不良品を分別することで、次工程への不良品の流出を抑止し、製品歩留りを向上させることが可能なスピンコート技術を提供する。
【解決手段】ワーク保持台４１に載置されて回転するレンズ３にシリンジ６１からコーティング剤６２を供給してスピンコートするスピンコート装置１において、スピンコート処理後のレンズ３の画像をＣＣＤカメラ７１で撮影して判別手段９で良否を判別し、良品のレンズ３ａを良品収納パレット８１に、不良品のレンズ３ｂを不良品収納パレット８２に振り分けて収納することで、次工程に不良品のレンズ３が流れることを確実に防止し、製品歩留りを向上させる。 （もっと読む）

【課題】被吐出領域に滴下された液滴の液量を短時間で測定する技術が望まれていた。
【解決手段】被吐出領域の長手方向と直交する短手方向に沿う線分上の異なる３つの位置Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３において、この３つの位置のうちの一つの位置Ｄ１における前記液滴の液面高さを基準として他の２つの位置Ｄ２，Ｄ３における前記液滴の液面高さ△Ｈ１，△Ｈ２を計測する計測工程と、計測された他の２つの位置Ｄ２，Ｄ３における液滴の液面高さと３つの位置Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３とから、短手方向に沿った前記液滴の液面形状を近似する円弧の曲率半径Ｒを演算し、演算した曲率半径Ｒから液滴の液量を測定する測定工程と、を備えた。 （もっと読む）