【課題】吸着力によるレンズの変形を起こすことなく、レンズを吸着固定することができるレンズ保持治具及びレンズの保持方法を提供することを目的とする。
【解決手段】レンズの下方にレンズの下面との間に空隙を有して配設され、その下面が外部装置に吸着固定される移載台と、レンズのコバ面と移載台を把持する把持部材と、を備えたレンズ保持治具とする。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出装置では、描画品位を向上させることが困難である。
【解決手段】光硬化性を有する機能液５３を液滴の状態でワークＷに向けて吐出する吐出ヘッド３３と、吐出ヘッド３３を支持するキャリッジ７と、キャリッジ７に対するワークＷの相対位置を、Ｘ方向に沿って相対変化させる変位装置と、キャリッジ７に設けられ、ワークＷに付着した機能液５３に照射する紫外光４１を発する２つの光源４３と、キャリッジ７に設けられ、ワークＷに対向した状態でワークＷに向けて気体を吹き出す２つの吹出口１７と、を有し、２つの光源４３は、前記相対位置がＸ方向に相対変化したときに吐出ヘッド３３によって描かれる軌跡に重なっており、且つ吐出ヘッド３３を挟んで互いに並んでおり、２つの吹出口１７は、前記軌跡に重なっており、且つ吐出ヘッド３３を挟んで互いに並んでいる、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】インク吐出工程における雰囲気の温度変化や吐出ノズルの温度変化によるノズルの変形を防止して、液体インクの吐出量を安定化させる吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のノズル孔２０１を有する吐出ノズル２０２を有し、前記吐出ノズル２０２の前記ノズル孔２０１から液体インクを吐出させる吐出装置であって、前記吐出ノズル２０２には、前記吐出ノズル２０２の温度を調整するための温度調整手段と、前記吐出ノズル２０２の変形を計測するための位置センサ２０３とを配置しており、温度調整手段として、一定温度に調整された液体を循環させる循環液配管が、ノズル孔２０１に対向した位置の吐出ノズル２０２面に配置された構成である。 （もっと読む）

【課題】記録メディアに再度インクを吐出して液滴吐出ヘッドの吐出動作の確認を行う必要がなく、さらに、液滴吐出ヘッドを取り外すことなく流路溝内の気泡発生箇所を正確に特定できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】判断部６は、液滴吐出ヘッド１から吐出される液滴の速度を液滴吐出速度測定部３に測定させる前に、液滴吐出ヘッド１をヘッド用軌道部４を介して液滴吐出速度測定部３から撮像部２へ平行移動して、流路溝内の状態を撮像部２に撮像させて、撮像部２によって撮像された流路溝内の状態が良好であるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】装置内におけるカラーフィルター用インク中に含まれる異物を検出することが可能な液滴吐出装置、および、インクの検査方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置１００は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むインク２を吐出する液滴吐出装置１００であって、インク２を貯留する１次インク貯留槽１３２と、１次インク貯留槽１３２から送液されたインク２を貯留する２次インク貯留槽１５０と、２次インク貯留槽１５０から送液されたインク２を吐出する液滴吐出ヘッド１１４と、超音波の伝播速度の度合いを測定することによってインク２中の異物を検出する異物検出手段１５２とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜厚分布の高さ検出を所定精度でいつでも検出を可能にし、膜厚分布測定ができない時は、塗布を停止して不良製品流出を回避する。常に検出器の較正を行い膜厚分布の測定を可能とし、生産性・稼働率で高品質製品の生産を可能とする塗布方法および塗布装置を提供する。更にこの方法および装置を用い高品質で高生産性を維持したプラズマディスプレイ用部材の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】塗布前に被塗布部材９の表面高さを検知するステップと、被塗布部材に塗布膜を形成するステップと、塗布後に被塗布部材の表面高さ９ａを検知するステップと、塗布前後の被塗布部材の高さより塗布膜の厚さを演算して求めるステップと、を有する塗布方法で、塗布前後の表面高さを検知するステップの前、中または後に連続して、異なる高さの２以上の基準面を持つ基準器６を用い基準器高さを測定する塗布方法。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出装置では、描画精度を向上させることが困難である。
【解決手段】光硬化性を有する液状体を液滴の状態でワークＷに向けて吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを支持するキャリッジ７と、前記吐出ヘッドがワークＷに対向した状態で、キャリッジ７をＸ方向に移動させるキャリッジ搬送装置１１と、光を発する光源を有する露光装置９と、キャリッジ７に設けられ、前記光源からの光の進路の途中で、前記吐出ヘッドからワークＷに吐出された液状体に向けて前記光の進行方向を屈曲させる反射装置１５と、を有し、前記光源は、キャリッジ７から独立して設けられており、キャリッジ７がＸ方向に移動するとき、前記光源に対するキャリッジ７の位置が変化する、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークを備える基板の位置決めにおいて、アライメントマークの正確な位置が未知である場合においても、正確に基板の位置合せを行なう。
【解決手段】基板２におけるアライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル用ＴＦＴ基板におけるゲート絶縁膜のように、濡れ広がりの制約を満足しつつ、膜厚を上限および下限値がある所定の範囲内に収めることが必要な成膜工程において、制約条件を満足する範囲での膜厚制御性を向上させ、プロセスマージンを向上させる膜形成方法および膜形成装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る絶縁膜形成方法は、絶縁材料および有機マトリクス成分を含有する液体を基板に塗布した後、非加熱下で所定の時間置き、その後で、上記有機マトリクス成分の架橋促進温度を超えない温度で強制乾燥処理を施す。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドの吐出面に付着した塗布液の乾燥に起因する吐出異常の発生を抑止する。
【解決手段】塗布装置１は、吐出口が形成された吐出面Ｍ１を有し吐出口から溶液系の接着剤を液滴として吐出する塗布ヘッド４と、吸液性を有し吐出面Ｍ１に接触しつつ吐出面Ｍ１を払拭するワイピング部材６ｂと、ワイピング部材６ｂに接着剤の溶質を溶かす溶剤を供給する溶剤供給部６ｄと、ワイピング部材６ｂの吸液状態を許容範囲内に保つように溶剤供給部６ｄを制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】低固形分量で高粘度な塗布組成物を用いて塗工を行った基板であっても、乾燥時に塗膜の白化を起こしにくい乾燥方法を提供する。
【解決手段】乾燥速度と溶解度に差がある２種類以上の溶媒であって、粘度が低い良溶媒と粘度が高い貧溶媒との組み合わせからなる塗布液の乾燥を行う際に、塗布工程では塗布液の粘度を重視するために高粘度溶媒を凝集する直前の濃度まで添加しておき、乾燥工程において溶媒の溶解性を重視するために、良溶媒を塗膜に供給することにより、乾燥工程時に発生する塗膜の白化を抑制する。 （もっと読む）

【課題】溶液吐出ヘッドを備えた印刷装置で有機ＥＬパネルの発光層を全面にわたって、はみ出し無く形成すること。
【解決手段】溶液吐出ヘッドから有機発光材料インクを基板上に連続吐出してストライプ状に塗布するに当たり、基板位置計測手段とノズル穴位置計測手段を用い、更にノズル穴位置計測手段を用いて基板位置計測手段の位置を校正した上で基板とノズル穴の位置合せを行ってから塗布することによって、基板の塗布対象部に対してはみ出し無く正確にストライプ状に塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を防ぐこと。
【解決手段】基板を立てた状態で回転可能に保持し、保持した前記基板を第一位置及び第二位置に配置可能な基板搬送部と、前記第一位置に配置された前記基板の第一面及び第二面のそれぞれに液状体を吐出する液状体ノズルを有する塗布部と、前記第二位置に配置された前記基板の周縁部の一部を収容する収容機構及び前記周縁部に洗浄液を吐出する洗浄液吐出機構を有し、前記周縁部の前記液状体を除去する除去部とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の画面が面付けされて製造されるガラス基板上に塗布された塗布膜の溶媒を乾燥する減圧乾燥装置において、画面サイズ変更に伴う基板保持ピンの配置位置変更の作業負荷の低減と停止ロスを抑制できる省スペースな乾燥装置を提供する。
【解決手段】溶媒を含む塗布液が塗布されたガラス基板を乾燥する減圧乾燥装置であって、真空吸引可能なチャンバー内に前記ガラス基板を保持する複数の可動基板受けピンを有し、且つ、前記可動基板受けピンの各々のピン配置位置を所望する位置に自動で変更するピン位置自動変更機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】液状体の塗布領域上部において均一性の高い蒸気濃度分布を実現する。
【解決手段】乾燥炉外形５の内のステージ４の上に設置された基板１の上には、機能膜の溶液を塗布する塗布領域２の外側に立て板３が設けられている。立て板３の材質はステンレス鋼などの金属が用いられ、基板１上に設置される。基板１端部は、塗布領域２内では蒸気が発生し続けるのに対し、塗布領域外には蒸気の発生源がなく、塗布領域２外への拡散が起こるために濃度差が発生する。立て板３を設けることにより、基板１と平行な方向への蒸気の拡散が抑制され、塗布領域２端部の蒸気濃度が基板１中央部の蒸気濃度に近づいていく。立て板３の高さの選択により拡散の抑制効果を得られ、塗布領域２上で均一性の高い蒸気濃度分布を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 支持部材に対する被噴射材の浮き上がりが生じている状態においても高精度な液体噴射を実行可能な液体噴射装置を実現する。
【解決手段】 記録紙支持部材１３に支持される記録紙Ｐの裏面の反射光を受ける反射鏡２２と、反射鏡２２を介して、記録紙支持部材１３に支持される記録紙Ｐの裏面の反射光を結像させるテレセントリック光学系２４と、テレセントリック光学系２４による結像を電気信号に変換して出力するイメージセンサー２５と、テレセントリック光学系２４の光軸方向へ反射鏡２２を変位させる焦点調整装置２６とを含む記録紙検出装置２０を備え、制御装置１００は、テレセントリック光学系２４による結像が合焦状態となるように反射鏡２２の位置を調整し、合焦状態における反射鏡２２の位置に基づいて記録ヘッド１７から記録紙Ｐへインクを噴射するタイミングを調整する。 （もっと読む）

【課題】装置内におけるカラーフィルター用インクの劣化を防止することが可能な液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置１００は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用られ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むインク２を吐出する液滴吐出装置であって、インク２を貯留する１次インク貯留槽１３２と、１次インク貯留槽１３２から送液されたインク２を貯留する２次インク貯留槽１５０と、２次インク貯留槽１５０から送液されたインク２を吐出する液滴吐出ヘッド１１４と、１次インク貯留槽１３２内のインク２を冷却する冷却手段１３３とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズルのメニスカスを維持すること。
【解決手段】移動可能に設けられ、流体を噴射する複数のノズルを有する流体噴射ヘッドと、流体噴射ヘッドの流体を供給する流体供給源と、流体供給源に設けられ、流体噴射ヘッド側から流体供給源側へ向かう流体の流通を規制する逆止弁と、逆止弁を介して流体供給源に接続された上流部、及び、複数のノズルに接続され流体噴射ヘッドの移動に伴って移動可能な下流部、を有する供給経路と、上流部に設けられ、供給経路を流通する流体の流路損失を調整する第一調整部と、下流部に設けられ、第一調整部と共に流路損失を調整する第二調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドに供給される液状体におけるゲル状異物を含む異物の数を抑制することができる液滴吐出装置、液状体供給方法、及び液状体供給装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、液状体を液滴として吐出し、液滴を描画対象物上に着弾させることによって描画対象物上に液状体を配置する液滴吐出装置であって、液滴を吐出する吐出ヘッドと、吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段と、ヘッド保持手段と描画対象物とを相対移動させる相対移動手段と、吐出ヘッドに液状体を供給する液状体供給手段と、を備え、液状体供給手段は、吐出ヘッドに向けて液状体を流動させる供給路の途中に、ヘッド保持手段と一体に移動可能に配設された濾過フィルターを備える液状体濾過手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ヘッドが熱の影響を受けた場合であっても、熱膨張によるノズルの位置ずれから生じる吐出位置のずれを補正してインクの塗布精度の低下を抑えることできるインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージ上の基板に対して相対的に移動し、インクを吐出するノズルを有するヘッドを複数有する塗布ユニットを備え、塗布ユニットを相対的に移動させつつノズルから基板の所定位置にインクを着弾させることにより、基板上にインクを塗布するインクジェット塗布装置であって、前記塗布ユニットは、前記複数のヘッドを一体的に取付けて支持するヘッドケース部と、このヘッドケース部を所定の位置に位置決めする位置決め機構と、前記ヘッドケース部の現在位置を計測する位置計測部と、を備える構成とする。 （もっと読む）