本発明は、供給装置３４によって液体の流れに化学物質を供給するための方法および装置に関するものであり、この供給装置３４は、ノズル・ケーシング８０と、このノズル・ケーシング８０に関連して配置された装置８４、８８、１４４とを含む。また装置８４、８８、１４４は、化学物質を供給するための手段１６２と、ノズル・ケーシングに関連して配置された分離空間１５４に混合液を供給するための手段１４２とを有する。本発明による方法および装置は、極めて少量の化学物質を正確な量で、大量のプロセス液の流れに供給しなければならないアプリケーションにとりわけ適している。
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汚染物質から圧縮空気によってノズルを保護するための保護装置を備えた、紙ウェブ（１）上に接着剤を塗布するためのノズル（３６）。前記保護装置は、前記ノズルを取り囲む空間（４７）を定める部材、前記空間に空気を供給する部材、および前記ノズルの前端面（３７）の前方で距離を開けた中心線上において前記空間から空気を排出する部材、を有している。本発明によれば、前記空気を供給する部材は、接着剤の２つの連続した塗布の間の休止状態に前記ノズルがあるときに、空気を供給するように構成される。本発明はまた、そのようなノズルによって紙ウェブ上に接着剤を塗布するための装置および方法に関する。本発明はまた、前記ノズルの作動機能を改良する方法に関する。
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印刷流体容器（１２０）は、ほぼ平坦なプロフィールを有する最前部分と、該最前部分と協働し、それにより、囲まれた体積を画定するようになっている終端部分とを備える。上記最前部分は、相補的な構成のインク容器ベイ（１００）とはめ合うように構成されている。 （もっと読む）

マイクロエレクトロニックデバイスのような硬化性塗膜基板を効率的で高速に接触平坦化するための改良した装置（２０）および方法を提供し非常に高度な平坦化を達成する。装置（２０）は好ましくは光学的に平面である柔軟シート（８８）および支援の光学的平面体（８２）を持つ平坦化ユニット（２８）、および硬化アセンブリ（３０）を含む。操作においては、平坦化塗膜（７６）を持つ基板（７８）を真空チャンバー（２６）内のシート（８８）および平面体（８２）の下に置く。シート（８８）を隔てて圧力差を設けることによりシートをたわませ塗膜（７６）の中央領域Ｃと接触させ、それからすぐ塗膜（７６）はサポート（１１４）および真空チャック（１２０）を用いてシート（８８）および平面体（８２）と全平坦化接触させ、この時点で塗膜（７６）はアセンブリ（３０）を用いて硬化される。硬化後、シート（８８）を隔てて圧力差をつくり出し、シートを塗膜の周辺部Ｐから、そしてシート（８８）および塗膜（７６）を全面的に逐次分離する。 （もっと読む）

本発明は、コーティングを基材に塗布するためのアプリケータおよびコーティングアセンブリのさまざまな実施形態、ならびに多くのタイプのコーティングの塗布において本発明を使用するための方法に関する。アプリケータは、その外部長さより小さい内部長さを有し、それにより、少なくとも１つの端面の中心点がアプリケータの内部に引っ込められることをもたらす。

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接着剤などの流体の消費装置の入口で作動圧力を調節するための流体源に結合可能な第１の分容積（１４）と、消費装置側の流体入口に結合可能であるような第２の分容積（２４）とを備える圧力調節器であって、第２の分容積（２４）は、大きさが可変である円筒形部分（２４ａ）と、第１の分容積（１４）と第２の分容積（２４）とを結合する結合流路（２２）と、結合流路を開閉すべく第１の分容積の内部に配設されてなるバルブとを備え、これはインサート（２３）と可動であるシールピストン（３２）とを備えて、その前端部は結合流路を閉じるためのシール本体（３４）を形成し、その後端部は第１の分容積に対して密封され、円筒形部分（２４ａ）の内部にはその容積を変化させるべく作動ピストン（５４）が配設され、その前端部（５９）は円筒形部分及びシールピストンに対面し、それを動かすピストンロッド（５６）が備えられ、これはシールピストンにおける前端部（５９）に係合し、該ピストンのための行き止まり端を形成し、シールピストンの後端部と作動ピストンの前端部とは、第２の分容積（２４）の内部の流体圧力に暴露され、バルブの閉位置と開位置との間においてバルブの開き具合を決定すべく、圧縮空気が与えられて行き止まり端に結合される可動な調整ピストン（９２）とを備えている。

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【課題】本発明は、インクジェット法等の吐出法を用いて平坦な機能性部を製造効率よく形成可能な、機能性素子の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、基板上に、溶媒を含有する機能性層形成用塗工液を、機能性層を形成する領域である機能性層形成用領域に吐出法により滴下後、乾燥固化させて機能性層を形成する機能性層形成工程を有する機能性素子の製造方法において、前記機能性素子の機能性部として用いられる領域である前記機能性層内の有効領域における最大膜厚をＴｍａｘ、最小膜厚をＴｍｉｎとした場合、
Ｔｍａｘ／Ｔｍｉｎ≦２
となるように、滴下後の前記機能性層形成用塗工液の温度を調整することを特徴とする機能性素子の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】処理容器の内側面を簡単かつ効果的に洗浄できるようにし、メンテナンス性や信頼性を向上させる。
【解決手段】回転カップ６０を洗浄するときは、基板Ｇの入っていない空のカップ本体６８に蓋体７０を被せた状態で、駆動部６６の回転駆動によりスピンチャック６２と回転カップ６０を適当な回転速度でスピン回転させる。そして、切換弁９０において回転支持軸６４側のポート９０ａを洗浄液供給源８８側のポート９０ｃに切り換えて、洗浄液供給源８８からの洗浄液を回転支持軸６４の流体通路６４ａを介してスピンチャック６２の流体通路９２に送り、スピンチャック６２の裏面側の洗浄液吐出口９４より回転カップ６０の内側面に向けて洗浄液を吐出させる。 （もっと読む）

【課題】液晶セル等、ディスプレイ用パネルを反転させずに下基板のエッジ部と接続基板の下面との間に樹脂を円滑かつ確実に供給する。
【解決手段】樹脂の塗布ステージには、２組のディスペンサ２０，４０が設けられている。ディスペンサ２０は液晶セル１における上部側角隅部に、またディスペンサ４０は下部側角隅部に向けて樹脂を供給する。ディスペンサ４０は、シリンジ４１と針状ノズル４２とを有し、針状ノズル４２は下部側角隅部に向けて斜め上方に樹脂を吐出する。 （もっと読む）

【課題】 薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により内部に発生する負圧を利用して上記薬液タンク１０からの薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液供給パイプ７に対しノズル１１が接続された部位の近傍から分岐されて上記薬液タンク１０の上面に接続されその内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段１３により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズル１１への薬液の供給流量を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】 回転する基板の所定の表面領域をマスクで覆って薬液を噴霧することにより、薬液を節約し、塗布時間並びに乾燥時間を短縮しようとするスプレー併用スピンコート方法及びスピンコート装置を提供することである。
【解決手段】 水平に保持して回転される基板１の表面の所定領域をマスク３で覆い、上記基板１の上方に配置されたスプレーノズル４により該基板１の表面に薬液を噴霧し、上記基板１の所望領域に薄膜を形成するようにしたものである。これにより、薬液の使用量を減少させ、塗布時間及び乾燥時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンク１０から供給される薬液５を負圧吸引して該薬液５を噴射するノズル１１と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１２とを備え、上記正圧供給手段１２により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの流量を調整することによって上記ノズル１１への薬液５の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンク１０からの薬液５を負圧吸引して噴射するノズル１１を利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）

【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンクに薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンクから供給される薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液タンクの上面に接続され内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク内に形成される負圧空間に対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段により薬液タンクに供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズルへの薬液の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）