【課題】 ウェハに対するレジスト液の吐出流量を安定させる。
【解決手段】 ガス圧駆動式でダイヤフラム形の圧送ポンプ２２のガス管路４１には，電空レギュレータ４３が設けられる。電空レギュレータ４３と圧送ポンプ２２との間には，ダイヤフラム形のアキュームレータ４４が設けられる。第３の開閉バルブ２６が開放され，レジスト液吐出ノズル７からレジスト液が吐出されると，圧送ポンプ２２の給気室３１内の急激な圧力変動がアキュームレータ４４により緩和され，短時間で収束する。これにより，給気室３１の圧力によって貯留室３０から圧送されるレジスト液の流量も短時間で安定する。この結果，レジスト液吐出ノズル７から吐出されるレジスト液の吐出流量が安定する。 （もっと読む）

少なくとも１つのアプリケーションスロット（４８）を有するダイ（１２）を含む装置。スロットはダイキャビティ（４４）と流体連通している。膨張可能チャンバ装置（４２）がダイキャビティ内に配置され、膨張可能チャンバ装置内の圧力の変化に応じて容積を変化させる。本発明の他の態様はダイを通して液体を並進移動させる方法である。塗布ダイを準備する。ダイはダイキャビティと流体連通している少なくとも１つのアプリケータスロットを含む。キャビティ内に膨張可能チャンバ装置を配置する。膨張可能チャンバ装置内の流体圧力の変化により膨張可能チャンバ装置を作動させる。膨張可能チャンバ装置の作動に応じて液体を周期的にダイを通して並進移動させるとともにアプリケーションスロットから送出する。本発明の他の態様はダイを形成する方法である。ダイキャビティと流体連通している少なくとも１つのアプリケータスロットを有するダイを含む装置を準備する。ダイキャビティ内に膨張可能チャンバ装置を配置する。
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【課題】 本発明は、反射防止膜の塗布膜厚のばらつきが生じることなく反射防止膜材料を塗布することができる反射防止膜の形成方法及びその方法を実施に適用される塗膜形成装置を提供するものである。
【解決手段】 本発明の反射防止膜の形成方法は、基板の段差を有する表面に反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、前記基板の表面上に反射防止膜材料を滴下し、前記基板の回転による遠心力と前記基板表面に垂直な力とによって、前記反射防止膜材料を塗布して反射防止膜を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高精度での粘性流体の塗布量制御を可能にする簡素な構造の粘性流体供給装置及びその固化防止方法を提供する。
【解決手段】 粘性流体を内部に保持するカートリッジ３３０と、ピストン３３４を介してカートリッジ３３０内の粘性流体に大気圧よりも大きい圧力の圧縮空気を供給するエアー供給源３３２と、カートリッジ３３０をエアー供給源３３２に連通させるか、あるいはカートリッジ３３０を大気に連通させる切替えバルブ３３１と、カートリッジ３３０内部に配設され、カートリッジ３３０内周面に付着した粘性流体を掻き落とすピストン３３４とを備え、切替えバルブ３３１は、塗布動作を行っていない時間が所定の時間を超えた時に、所定の間隔で切替えを繰り返す。 （もっと読む）

【目的】 透過性シートの全体にわたって一様に液体含浸剤を塗布する連続法及びその装置を提供する。
【構成】 連続して進行している透過性シートの第１表面に液体含浸剤のほぼ層状に流れるカーテンを塗布し、その第２表面に、液体含浸剤のカーテンを塗布する位置の近傍にて、真空を加え、透過性シートを通して液体含浸剤の相当な量を吸引し、透過性シートの全体にわたって液体含浸剤のほぼ一様な分布を生じさせ、液体を含浸した透過性シートを乾燥させる。その結果、透過性シートの内部に向けて、液体含浸剤の一様な或いは制御された分布を実現し、過剰含浸剤のシート内の滞留時間を最小化することができる。 （もっと読む）

【課題】 水頭圧差の変化による吐出量の変動を抑え、膜のパターンや厚さについての精度を十分に高めることができるようにした、成膜装置とこれを用いた成膜方法を提供する。
【解決手段】 ノズル１８を有し、ノズル１８から基体上に液状体を吐出する吐出ヘッド３４と、吐出ヘッド３４に供給するための液状体を貯留するタンク４５と、を有してなる成膜装置３０である。吐出ヘッド３４は、圧力制御装置５２によってその内圧が制御可能な第１のチャンバー４１内に収容されている。 （もっと読む）

本発明は、容器（１２）を処理するための方法であって、この容器（１２）は、この容器（１２）の外側でキャビティ（１８）を規定し、真空ポンプ回路（５０）に接続されているチャンバ（１６）の内側に配置され、この容器（１２）の内部は、このポンプチャンバ（５０）に接続されるタイプで、初期排気工程（Ｅ１）とそれに続く処理工程（Ｅ２）とを有するタイプの方法において、この初期工程（Ｅ１）は、キャビティ（１８）の内側だけで圧力を減少させる外部排気段階（Ｐ１）と、容器（１２）の内側だけで圧力を減少させる内部排気段階（Ｐ２）と、を有することを特徴とする方法に関する。本発明は、また、この方法を実行するための機械を提供する。
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【課題】 スピンレス方式で被処理基板上に処理液を供給ないし塗布する基板処理装置において基板の大型化に無理なく効率的に対応すること。
【解決手段】このレジスト塗布ユニット（ＣＴ）８２は、プロセスラインＡの方向（Ｘ方向）に長く延びるステージ１１２を有し、このステージ１１２上で基板Ｇを噴出口１２０からの空気圧で浮上させて同方向（Ｘ方向）に平流しで搬送しながら、ステージ１１２上方に配置された定置型のレジストノズル１１４より基板Ｇ上にレジスト液を供給して、基板上面に一定の膜厚でレジスト塗布膜を形成する。ステージ１１２の両端部の搬入、搬出領域に属する各噴出口１２０については、空気の噴出流量を基板Ｇとの相対的な位置関係で個別的かつ自動的に切り換える噴出制御部（流量切換弁）をステージ１１２の内部に設けている。 （もっと読む）

【課題】物品の外表面の所望の位置に向かって着色材を一定量ずつ確実に滴射できる着色ノズルを提供する。
【解決手段】着色ノズル３１は物品としての電線３の外表面３ａに向かって液状の着色材を一定量ずつ滴射して該電線３を着色する。着色ノズル３１は着色材を滴射するノズル５４とノズルカバー５５と洗浄液供給源６２を備えている。ノズルカバー５５はノズル５４の少なくとも先端部３７ｂを覆う。ノズル５４の先端面５０ｂとノズルカバー５５の端面５６ａとは同一平面上に位置する。洗浄液供給源６２はノズルカバー５５内に洗浄液を供給する。着色ノズル３１は表面張力により洗浄液がノズルカバー５５内に保たれた状態でノズル５４から着色材を滴射する。 （もっと読む）

【課題】基板を高速で回転させながら基板の処理を行う際、塵埃が基板に付着するのを抑制し、かつ処理液のミストが装置の外へ漏れるのを防止する。
【解決手段】処理室内において、第１層カバー１１及び下外カップ５の内側には基板１を取り囲む第１の層が形成され、第１の層の外側には第１層カバー１１及び下外カップ５と第２層カバー１２との間に第２の層が形成されている。清浄空気供給装置２１，２２の空気供給量及び強制排気装置４１，４２の排気量を調整することにより、第１の層内の空気の圧力（Ｐ１）を第２の層内の空気の圧力（Ｐ２）より高くし（Ｐ１＞Ｐ２）、かつ、第２の層内の空気の圧力（Ｐ２）を処理室の外の空気の圧力（Ｐ０）より低くする（Ｐ２＜Ｐ０）。 （もっと読む）

フィルム接着剤に細網化用多孔板を作成するための方法及び装置。この方法は、多孔板を支持するステップを含む。この方法はまた、フィルム接着剤の硬化を開始させることなく、フィルム接着剤を多孔板に接着させるステップを含む。この方法は、フィルム接着剤に真空を加える。次に、この方法は細網化ユニットを通して所定の速度で多孔板を移動させる。次に、この方法はフィルム接着剤を軟化させ、最後に空気流によって穿孔からフィルム接着剤を取り除く。この方法は普通、多くの産業において使用される音響シート・パネルを作り出すのに使用される。 （もっと読む）

コーティングアプリケータ、乾燥機または硬化ステーションを用いるウェブコーティング方法および装置、ならびにコーティングアプリケータを過ぎかつ乾燥機を通してウェブ（１４）を搬送するウェブ取扱い機器。ウェブ（１４）は、密結合エンクロージャにおいて当該の粒子数を実質的に減じる、または物理特性を実質的に変更するのに十分な速度で流れる１つ以上のストリームの調整ガスを供給された密結合エンクロージャ（７２）または一連の密結合エンクロージャにおいて、少なくともコーティングアプリケータから乾燥機または硬化ステーションまで密閉されている。
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本発明は処理機器により、紙／板状のウェブ（Ｗ）にコーティング及び／又は処理の物質を移転させる方法及び機器に関するものであり、少なくとも１つの処理要素（２、５）により設けられる荷重面を備え、繊維性ウェブがその面に接触している。その方法は、移転面として、処理機器の処理要素のうち少なくとも１つ（２、５）の荷重面を利用し、その移転面には、移転面と繊維性ウェブとが接触する前に、繊維性ウェブ（Ｗ）に移転される物質が供給される。前記移転面は、前記物質が前記ウェブと圧接する前に、前記移転される物質を前もって加熱するために加熱される。 （もっと読む）

ポリマー溶液を基板、例えば半導体ウェーハ上に塗布する方法及び装置を提供する。本発明による方法は、基板を用意するステップを有する。ポンプを用いてポリマー溶液を基板の表面上に小出しする。ポンプは、バッファタンク及びポリマー溶液源と直列に連結され、ポンプは、ポリマー溶液を小出しするために、連続流路内のポリマー溶液をポリマー溶液源及びバッファタンクから引き出す。ポリマー溶液源は、ポリマー溶液をポリマー溶液源からバッファタンク内に移送することができる圧力源に連結されている。バッファタンクは、ポンプが空気を引き込んでこれを基板の表面上に小出しするのを防止するためにポリマー溶液を比較的一定のレベルに維持するよう構成されている。 （もっと読む）

接着剤などの流体の消費装置の入口で作動圧力を調節するための流体源に結合可能な第１の分容積（１４）と、消費装置側の流体入口に結合可能であるような第２の分容積（２４）とを備える圧力調節器であって、第２の分容積（２４）は、大きさが可変である円筒形部分（２４ａ）と、第１の分容積（１４）と第２の分容積（２４）とを結合する結合流路（２２）と、結合流路を開閉すべく第１の分容積の内部に配設されてなるバルブとを備え、これはインサート（２３）と可動であるシールピストン（３２）とを備えて、その前端部は結合流路を閉じるためのシール本体（３４）を形成し、その後端部は第１の分容積に対して密封され、円筒形部分（２４ａ）の内部にはその容積を変化させるべく作動ピストン（５４）が配設され、その前端部（５９）は円筒形部分及びシールピストンに対面し、それを動かすピストンロッド（５６）が備えられ、これはシールピストンにおける前端部（５９）に係合し、該ピストンのための行き止まり端を形成し、シールピストンの後端部と作動ピストンの前端部とは、第２の分容積（２４）の内部の流体圧力に暴露され、バルブの閉位置と開位置との間においてバルブの開き具合を決定すべく、圧縮空気が与えられて行き止まり端に結合される可動な調整ピストン（９２）とを備えている。

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【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンク１０から供給される薬液５を負圧吸引して該薬液５を噴射するノズル１１と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１２とを備え、上記正圧供給手段１２により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの流量を調整することによって上記ノズル１１への薬液５の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンク１０からの薬液５を負圧吸引して噴射するノズル１１を利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）

【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンクに薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンクから供給される薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液タンクの上面に接続され内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク内に形成される負圧空間に対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段により薬液タンクに供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズルへの薬液の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）

【課題】 背景技術の欠点を克服する吹き付け空気を制御する装置を創造する。
【解決手段】 装置が基体２を有しており、この基体は、複数のこのような基体２が吹き付け空気体、特にターニングバー、にまとめ得るように、構成されている。 （もっと読む）