【課題】複雑なパラメータの計算が不要であり、吐出量の変化に柔軟に対応することができる液体材料の充填方法、装置およびプログラムの提供。
【解決手段】ワークの外周に沿った非補正塗布パターンと、非補正塗布パターンと重なる補正塗布パターンとから構成される全体塗布パターンを作成し、全体塗布パターンに基づき吐出部から液体材料を吐出し、基板とその上に載置されたワークとの間隙に毛細管現象を利用して液体材料を充填する液体材料の充填方法であって、補正塗布パターンを、塗布領域および非塗布領域から構成し、補正塗布パターンの塗布領域および非塗布領域を伸縮させることにより、液体材料の吐出量の補正を行うことを特徴とする液体材料の充填方法。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドのクリーニングを行う際に無駄に消費される流体の量を低減することが可能な流体噴射装置及びメンテナンス装置を提供する。
【解決手段】ノズル２１からインクを噴射可能な記録ヘッド１９を有するインクジェット式プリンタに備えられるメンテナンス装置２３は、ノズル２１を囲うようにして記録ヘッド１９に当接した状態で、内部に負圧が生じた場合にはノズル２１からインクを吸引可能に形成されたキャップ部材２４と、該キャップ部材２４内を吸引可能なチューブポンプ２８とを備える。さらに、メンテナンス装置２３は、チューブポンプ２８によってキャップ部材２４内が吸引された場合に、該キャップ部材２４内に発生する負圧の値が予め設定した閾値よりも大きくならないようにするための負圧規制装置３０を備える。 （もっと読む）

本発明は、圧力容器及び遠心ポンプとを兼ね備え、液体ディスペンスシステムにおいて、液体の圧力及び流量を正確且つ効率的に制御する方法及び装置を提供する。本発明は、特には、半導体製造プロセスにおいて使用される高純度の薬品又はスラリーなどの液体の圧力及び流量の正確且つ効率的な制御に関する。 （もっと読む）

【課題】 液滴の異常吐出と不吐出とを区別して検出することで、適切なメンテナンスを施し、インクの消費を抑えることを可能にした液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】液滴吐出センサ５０は、インク滴よりも大きく形成されたインク通過孔５２及びインク滴が接触できるだけの領域であるインク接触エリア５９とを備えたプレート５３と、インク滴がプレート５３に接触したことを圧電層５４の変形による電位の変化を検出することで接触を判断する検出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】不良塗布基板が生産されるのを抑えて塗布基板の生産効率を向上させることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージと、基板に沿って相対的に移動するとともに基板上に塗布液を塗布する口金と、口金に連通して接続された管路を通じて塗布液を口金に送液する送液手段と、を備える塗布装置であって、前記送液手段と前記口金とを連結する前記管路に圧力検出手段を設け、この圧力検出手段の検出結果により基板上における塗布液の塗布状態を判断するように構成する。 （もっと読む）

【課題】塗布後の膜面上のガス濃度を早期に安定させ、塗布直後の初期乾燥過程で発生する斑を顕著に抑制し、均一な膜を形成することができる塗布膜の形成方法および形成装置を提供する。
【解決手段】走行するウエブ１２に、塗布手段２０を用いて有機溶剤を含む塗布液を塗布する塗布工程と、乾燥ゾーン１４にて該塗布液の溶媒を蒸発させる初期乾燥工程と、さらに、該塗布液に温度をかけ揮発分を乾燥する本乾燥工程と、を行う塗布膜の形成方法において、塗布手段２０と乾燥ゾーン１４との区間である塗布部１２２の長さが、ウエブ１２の走行方向において１００〜３０００ｍｍであり、塗布部１２２の圧力が、乾燥ゾーン１４および塗布前室１１０の圧力より加圧となっていることを特徴とする塗布膜の形成方法である。 （もっと読む）

【課題】基板に良好な薄膜を形成することができる薄膜形成装置および薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】基板上に塗布された塗布液の状態を間接的に示す膜厚情報を検出し、その検出結果に応じて塗布液への石英基板（押付部材）の押付タイミングを決定する。このように膜厚情報に基づき基板への石英基板の押付タイミングを決定しているので、最適なタイミングで塗布液の平坦化処理を実行することができる。その結果、基板の周辺環境や薄膜の種類などを問わず、基板上に良好な薄膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布精度及び生産効率を向上させることを可能とするインク塗布装置及びインク塗布方法を提供する。
【解決手段】インク塗布装置１は、インクジェットヘッド３の下方においてロール紙１１を走行させる。インク塗布装置１は、吸引装置５を動作させ、インクジェットヘッド３の吸引口１７から巻取材１１表面のエアを吸引する。インク塗布装置１は、インクジェットヘッド３のノズル口１５からインクを吐出し、巻取材１１に対してインク塗布を行う。インク塗布装置１は、巻取材１１とインクジェットヘッド３との相対速度を大きくしても、インク塗布領域では巻取材１１表面におけるエア流の発生が抑制されるので、巻取材１１に対するインク塗布精度及び生産効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板を支持するユニットを提供する。
【解決手段】基板支持ユニットは、工程時に基板に旋回流を供給して基板をチャックプレート上から浮揚及び回転させる工程を行う。したがって、本発明は、基板を非接触方式でチャックプレートから浮揚させて支持し、工程速度で回転させる。 （もっと読む）

【課題】
金型に供給する粉体塗布剤の排出量を安定させた粉体塗布剤供給装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
弾性体２１４に振動を与えて粉体離型剤を収容したタンク部２１から収容部３１に移動させるのと同時に、タンク部２１に配設した押出機構１１により粉体離型剤等を送出口２１５に向けて押圧を行う。
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【課題】空気圧回路のみの回路構成によって粘性剤の塗布時間を適切に制御できるようにした粘性剤塗布装置を提供する。
【解決手段】手動操作によって切替えられる手動切替えバルブ１１と、エア吐出通路１９中に配設された第１パイロット切替えバルブ１３および第２パイロット切替えバルブと、シリンダにエア圧制御通路より加圧エアが供給された際には第１パイロット切替えバルブを開位置に切替え、シリンダよりエア圧制御通路に加圧エアが排出される際には第１パイロット切替えバルブを閉位置に切替えるエアタイマ部１４と、エアタイマ部とエア圧制御通路との間に配設されエア圧制御通路への加圧エアの排出量を制限する吐出時間調整部１８とによって構成した。 （もっと読む）

【課題】機能液の物性の変化を抑制しつつ、簡易な構造で機能液の圧力を調整できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出ヘッドと、吐出ヘッドと流路を介して接続され、吐出ヘッドに供給するための機能液を収容する第１空間を形成する第１容器と、第１容器を収容し、第１容器との間で第２空間を形成する第２容器と、第２空間の圧力を調整する圧力調整装置と、第１容器の機能液の温度を調整する温度調整装置とを備える。第１容器の少なくとも一部は、圧力調整装置の動作に応じて変形する膜で形成されている。 （もっと読む）

【課題】連続走行する被塗布物表面との間隙にビードを形成させつつ塗布する塗布方式により被塗布物の表面に塗布液を塗布する時、実際の塗布時の状況に合わせ、減圧室に煩雑な加工を必要とせず、被塗布物の幅方向の塗布液膜の厚み分布ムラを防止した塗布装置、塗布物の生産方法、この生産方法で生産した光学用フィルム及び反射防止フィルムの提供。
【解決手段】塗布ヘッドの被塗布物移動方向に対して、上流側を減圧状態に保持する減圧室を有する塗布装置であり、前記減圧室が塗布幅て方向で複数室に分割され、前記複数室は独立に減圧度の調整が可能であることを特徴とする塗布装置。 （もっと読む）

【課題】アキュムレータの内部で流体が長期滞留するのを防止する。
【解決手段】一端部に流入口３５が設けられた第１筒体２０と、第１筒体２０の他端部に対して軸線Ｘ方向にスライド自在に一端部が嵌合され、他端部に流出口３６が設けられた第２筒体２１と、第１筒体２０の一端部が第２筒体２１の他端部に対して近接する方向に短縮スライドさせるように付勢力を受ける付勢部２４ｃと、第１筒体２０の一端部が第２筒体２１の他端部に対して離反する方向に伸長スライドさせるように、第１筒体２０及び第２筒体２１内の流路Ｒを通過する流体から圧力を受ける受圧部２４ｅとを備え、流体が第１筒体２０の一端側の流入口３５から流入し、第２筒体２１の他端側の流出口３６から流出する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから吐出された液滴に変質等が生じないように吐出空間の雰囲気を置換することが可能な半導体デバイス製造装置および半導体デバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 封止部材２１を上昇させて支持部材１３の当接面１７ａに封止部材２１の縁部２１ａを当接させ、精密吐出ノズル５を隔離した状態で、排気装置４１を作動させてチャンバ１内を所定の圧力まで減圧排気する。次に、ガス導入部２６を介してパージガス供給源３１からパージガスをチャンバ１内に導入し、チャンバ１内雰囲気をパージガスで置換するとともに、チャンバ１内の圧力を大気圧に戻した後、封止部材２１を下降させて精密吐出ノズル５の隔離を解除する。次に、キャリッジ７をＸ方向に往復移動させながら、基板Ｓ表面へ向けて液体デバイス材料の液滴を吐出する。 （もっと読む）

【課題】薬液に溶解した気体を除去することができる薬液供給装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】薬液を貯蔵する薬液貯蔵容器２が、気体が透過可能、かつ液体が透過不能である、可撓性を有する材質からなる内側容器２２と、内側容器２２を収納する外側容器２１とを備える。外側容器２１と内側容器２２との間に、加圧配管３を通じて加圧気体等を導入することにより、内側容器２２は外側から加圧圧縮される。当該加圧により内側容器２２から送出された薬液は、供給配管４を通じて対象物に供給される。また、薬液供給待機期間中に、内側容器２２と外側容器２１との間の空間を減圧する、真空ポンプ１０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】閉弁時に開閉弁の膜状部が揺動部材から付与される押圧力によって疲弊することを抑制することが可能な液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェット式プリンタは、インクを噴射する記録ヘッドにインクを供給するための液体供給路と、該液体供給路を開閉する際に可撓性を有する第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂがそれぞれ変位する第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８と、第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８の閉弁時に第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂをそれぞれ閉弁方向へ変位させるための押圧力を付与するために揺動する作動板７３及び作動板７２と、第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８の閉弁時に作動板７３及び作動板７２からの押圧力をそれぞれ受けて第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂと直交する方向に移動して該第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂを閉弁方向に変位させる第１中継部材４９及び第２中継部材５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの冷却用放熱板などを必要とせず、合わせて駆動信号の電圧値の変動を抑制防止可能な液体噴射装置および印刷装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータ駆動制御のためのアナログ駆動波形信号ＷＣＯＭを変調回路２４で変調して変調信号とし、この変調信号をデジタル電力増幅器２５で電力増幅し、この電力増幅された電力増幅変調信号を平滑フィルタ２６で平滑化してアクチュエータへの駆動信号ＣＯＭとする。デジタル電力増幅器２５内のＭＯＳＦＥＴはスイッチング素子として使用されるので電力損失が少なく、冷却用放熱板が不要となる。また、電源電圧ＶＤＤに応じて駆動波形信号ＷＣＯＭや三角波信号ＷＴＲＩの振幅を補正することにより変調信号を補正して駆動信号ＣＯＭの電圧値の変動を抑制防止する。 （もっと読む）

【課題】被処理基板の搬入出を効率よく安全かつスムースに行い、しかも基板上の塗布膜に基板接触部の転写跡が付くのを最小限に抑えること。
【解決手段】この減圧乾燥ユニット（ＶＤ）４６は、減圧乾燥処理を受けるべき基板Ｇを搬入側コロ搬送路１０４ａおよび内部コロ搬送路１０４ｂ上のコロ搬送によってコロ搬送でチャンバ１０６の中に搬入し、チャンバ１０６内で減圧乾燥処理の済んだ基板Ｇを内部コロ搬送路１０４ｂおよび搬出側コロ搬送路１０４ｃ上のコロ搬送によってチャンバ１０６の外へ搬出する。減圧乾燥処理中は、多数本のリフトピン１２８が基板Ｇを水平姿勢のままコロ搬送路１０４ｂから上方に持ち上げて極細のピン先部で支える。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口からパターン形成材料を吐出して線状の複数のパターン要素により構成されるパターンを形成する際に、パターンに生じるムラを抑制する。
【解決手段】パターン形成装置１は、複数の吐出口を有する得るノズル部５、および、基板９をノズル部５に対して移動するステージ移動機構２を備え、ノズル部５の複数の吐出口からパターン形成材料が連続的に吐出される間に基板９が移動することにより、基板９上に等ピッチにて配列された線状かつリブ状の複数のパターン要素により構成されるパターンが形成される。パターン形成装置１では、パターン形成材料の吐出速度などを変動させることにより、ノズル部５から基板９に付与されるパターン形成材料の量のノズル部５の相対移動距離に対する割合が不規則に変更される。これにより、各パターン要素の幅や高さが不規則に変更され、ストライプ状のパターンに生じるムラが抑制される。 （もっと読む）