【課題】温度が低下した吐出ヘッドの温度を所定の温度に素早く回復させる。
【解決手段】ノズルから液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置で
あって、前記ノズルに連通され、液状体を貯留する圧力室と、前記圧力室に設けられ、前
記圧力室に貯留された前記液状体に圧力変化を生じさせる加圧部と、前記ノズルから前記
液滴が吐出されない程度の微振動駆動を前記加圧部に行わせる微振動駆動信号であって、
複数の微振動駆動パターンを有する前記微振動駆動信号を生成する駆動信号生成部と、前
記吐出ヘッドの温度に対応して、選択された前記微振動駆動信号を前記加圧部に印加する
信号印加部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】処理液の無駄をなくすことができると共に、廃液中に溶存するガスを効率的に除去でき、かつ処理液の種類に影響を受けることなく処理の最適化が図れると共に、処理効率の向上が図れるようにする。
【解決手段】気体供給管路６ａを介してＮ２ガス供給源７１に接続される薬液ボトルと、被処理基板に処理液を供給する供給ノズル７０ａとを接続する供給管路７ａ，７ｂにバッファタンク２とフィルタ３を介設する。バッファタンクを大気側に連通可能に形成すると共に、気体供給管路６ｂを介してＮ２ガス供給源７１とバッファタンクとを接続する。フィルタ３に接続するドレイン管路７ｃと、ドレイン管路から分岐され、薬液ボトルとバッファタンクとの間の供給管路に接続する戻り管路８ａとからなる循環管路８を設け、循環管路に設けた可変絞り９によって循環管路中を流れるレジスト液の液圧を低下してレジスト液中に溶存する気体を気泡化して除去する。 （もっと読む）

【課題】ターゲットに付着した記録材を乾燥させるための温風が筐体に形成された通過口から漏れ出すことを抑制することができる乾燥手段を備えた記録装置を提供する。
【解決手段】プリンタは、連続紙１３に対してインクを付着させて記録処理を施す記録ヘッドと、連続紙１３に付着したインクを乾燥させるための温風が内部を流動する筐体５１を有し、且つ該筐体５１の上面５１ａには連続紙１３を通過させるための通過口５１ｂが形成された乾燥装置１６と、乾燥装置１６における筐体５１の通過口５１ｂの外側となる位置に筐体５１内の圧力よりも高圧の高圧空間域を形成する高圧空間域形成装置６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板上に薄膜を形成する場合に、薄膜形成領域の全域で薄膜の形状を均一化可能
な成膜装置を提供する。
【解決手段】基板９を収容するチャンバー２１０と、チャンバー２１０の上壁面に設けら
れた第１排気口２１１と、チャンバー２１０の下壁面の第１排気口２１１と対向する位置
に設けられた第２排気口２１２と、第１排気口２１１に接続されてチャンバー２１０内を
減圧排気する第１減圧手段と、第１排気口２１１と第１減圧手段との間に設けられて、第
１排気口２１１からの排気速度を調整する第１調整弁と、第２排気口２１２に接続されて
チャンバー２１０内を減圧排気する第２減圧手段と、第２排気口２１２と第２減圧手段と
の間に設けられて、第２排気口２１２からの排気速度を調整する第２調整弁と、第１調整
弁と第２調整弁とをそれぞれ独立して制御して、第１排気口２１１からの排気速度と第２
排気口２１２からの排気速度とを調整する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】リールツーリール方式と液滴吐出方式とを用いたパターン形成技術を確立する。また、量産化により電子機器の低コスト化を図ることにある。
【解決手段】リールツーリール方式により帯状基板上にパターンを形成するシステムであって、液滴吐出方式により帯状基板１１に液体材料を配置する液滴吐出装置２０と、液滴吐出装置２０の処理空間の気圧を隣接空間に対して高く制御する気圧制御装置２２とを有する。前記隣接空間は、前記液体材料の膜に対して熱処理または光処理を行う空間を含む構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】噴霧ノズルによる噴霧の開始時、終了時の何れか或は両者において、噴霧ノズルからの水の滴下を防止し得るようにする。
【解決手段】高圧ポンプ２から第一の管路４を介して噴霧ノズル５へ送水し、感圧逆止弁を開いて噴霧ノズル５から水Ｗを噴霧する水噴霧設備であって、第一の管路４には、第二の管路２３を介して与圧タンク２２を接続させると共に、第一の管路４の第二の管路２３接続位置Ａよりも送水方向下流側で噴霧ノズル５よりも送水方向上流側には、第一の開閉弁２４を設ける。 （もっと読む）

【課題】高い粘度の材料において、重要である。また、公知のシステムでは、それぞれの小出し動作で小出しにされる材料の体積にはかなりの変動がある。
【解決手段】 広い範囲の粘度にわたって、精密かつ再現性のある量又は体積を小出しにするオプションを提供する、液体材料を小出しにする方法及び装置である。１つの実施形態においては、計量チャンバが設けられ、同時に充填され及び空にされ、小出し動作間の遅れ時間を解消している。材料には、圧力が加えられ、その圧力を使用して、計量チャンバを充填し及び空にする。別の実施形態においては、計量チャンバと共に制御装置が設けられ、制御装置は、加圧流体を計量チャンバへの２つの通路の間にて切り換えるように動作する。より特定の実施形態においては、制御装置は、例えば、バルブであり、より特別な１つの実施形態においては、空気圧作動式スプールバルブである。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、基板（６，１６）の表面上に、パターン形成されたレジスト（２ａ，１２ａ）のコーティングを塗布する方法に関する。前記方法は、流動性を有するレジスト（２，１２）がスタンプの表面に構築されたレジストコーティング（２，１２）を与えるために、前記スタンプ（１，１１）の構築された表面と支持物（３，１３）との間で押印される、少なくとも１つの印ステップと、それぞれに、前記構築されたレジストコーティングの第１の部分（２ａ，１２ａ）を備える前記スタンプと、前記レジストコーティングの第２の部分（２ｂ，１２ｂ）を備える前記支持物と、が互いから分離される次に続く分離ステップと、前記構築されたレジストコーティング（２ａ，１２ａ）を前記基板（６，１６）の表面上に転写するために、前記スタンプ（１，１１）の表面上の、前記パターン形成されたレジストコーティングの前記第１の部分（２ａ，１２ａ）が、前記基板（６，１６）の表面に押圧される、次に続く転写ステップと、前記構築されたレジストコーティング（２ａ，１２ａ）の前記第１の部分（２ａ，１２ａ）が硬化される、硬化ステップと、前記スタンプ（１，１１）が前記構築されたレジストコーティングの前記第１の部分（２ａ，１２ａ）から分離される、離型ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸を有する建築板であっても、搬送しながら、該建築板の表面全体に塗料を塗り残しなく十分に塗布する塗装装置を提供する。
【解決手段】建築板の塗装装置であって、該建築板の表面に塗料を塗布する塗布装置と、該建築板の表面に塗布された過剰分の塗料を除去し、塗料液膜を形成する除去装置と、該建築板の表面の塗料液膜に空気を吹き付ける加圧装置とを有し、該加圧装置は該除去装置よりも後工程に設けてあり、更に、該加圧装置は、該建築板の横幅よりも広い横幅で、該建築板の表面を覆う空気吹き出し口を備え、該除去装置から該加圧装置までの間、該建築板の表面に大気圧以上の圧力がかかっている状態とする建築板の塗装装置。 （もっと読む）

【課題】 記録ヘッド内に溜まった空気を除去する際に、空気とともに排出されるインクの量を低減することができる記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インクを吐出する吐出口と、吐出口にインクを供給するための第１の液室と、第１の液室にインクを供給するための第２の液室と、第１の液室内の上部に配され気体を集める気体溜め部と、気体溜め部から流体を排出する排出口と、第１の液室と圧力差を設けることにより第１の排出口を介して第１の液室から流体が移動されるポンプ室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】放熱媒体を放熱ユニットの所定の塗布領域に均一に塗布することのできる放熱媒体塗布装置を提供する。
【解決手段】放熱媒体塗布装置５０では、ベース１に、シャフト３を介して昇降フレーム２が取り付けられている。シャフト３には昇降フレーム用圧縮ばね２５が装着されている。昇降フレーム２の内側にマスク４が把持されている。マスク４には所定形状の開口部６が形成されている。昇降フレーム２にはリニアガイド７と、リニアガイド７にガイドされるスキージフレーム８が配設されている。スキージフレーム８にはスキージ１３が上下方向に移動可能に装着されて、スキージ１３の先端部がマスク４の上面に接触する。スキージフレーム８の上端部には、スキージ１３をマスクの側に押圧する加圧機構が設けられている。昇降フレーム２の下方には、放熱ユニットを搬送する放熱ユニット搬送路１１が配設されている。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の垂れ落ち等の問題を生じることがなく、塗布液の無駄をなくし、しかも塗布処理に要する時間を短くすることができる塗布装置を提供すること。
【解決手段】 塗布ヘッド３６の本体３８の下部には、保持板３１より保持された基板Ｇの表面に向けて塗布液としてのレジスト液を吐出する複数の吐出孔３９が列設されたノズル４０が設けられている。そして、ノズル４０を吐出孔３９の列設方向５０と直交する方向に走査しつつこれら複数の吐出孔３９から同時にレジスト液を吐出している。また、回動機構を設けることでノズル４０を回動し、列設方向５０と走査方向５１との間に一定の角度を持たせることで隣接する吐出孔３９間のピッチＰを調節できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 塗装室に供給する空気の加熱及び乾燥炉に供給する乾燥用空気の加熱に対する熱源供給方式を改良することで省エネルギーを図った塗装装置を提供する。
【解決手段】 塗装室３と、乾燥炉５と、塗装室３に温度と湿度を調整した空気を供給する給気装置８と、乾燥炉５に高温の乾燥用空気を供給する乾燥用空気循環供給装置１０とを備え、乾燥用空気循環供給装置１０は、乾燥炉５から吸引した乾燥用空気をバーナーユニット１３の燃焼ガスにて加熱し、加熱された乾燥用空気を熱交換器１５に通して温度調整した後乾燥炉５内に供給し、給気装置８は、外気を冷水と熱交換する冷却用熱交換器２０に通して冷却した後、乾燥用空気循環供給装置１０の熱交換器１５に通して加熱し、その後蒸気源３１から水蒸気が供給される加湿器２９にて加湿して塗装室３内に供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】原紙への塗工量のばらつきを飛躍的に低減することができるブレードコータの提供
【解決手段】 バッキングロール１と、バッキングロール１に沿って走行する原紙２の表面に塗工液を塗布する塗布手段と、バッキングロール１に押し付けられ、原紙２上の塗工量を調整するブレード３およびブレード先端部３ａの加圧量を調整する複数のプロファイラ４を備えるコータヘッド６と、コータヘッド６を移動させるコータヘッド移動手段と、少なくともブレード先端部３ａの幅方向両端部の背後に設置され、ブレード先端部３ａの変位量を測定する複数の距離センサ５とを有する。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドにより液体を吐出する方法を用いて、半導体デバイスの配線を適切に形成する。
【解決手段】導電性の配線が形成される半導体デバイス５２の製造工程において、配線の少なくとも一部を形成する配線形成装置１０であって、導線性物質を含む液体を吐出するノズルを有し、半導体デバイス５２において配線が形成される領域へ当該ノズルから液体を吐出する吐出ヘッド１８と、吐出ヘッド１８及び半導体デバイス５２を内部に収容するチャンバ部１２と、チャンバ部１２内の気圧を大気圧よりも低い圧力に減圧する減圧手段である真空ポンプ１６とを備え、吐出ヘッド１８は、チャンバ部１２内が減圧された状態で、半導体デバイス５２へ液体を吐出する。 （もっと読む）

カートリッジ１０は二つの部品の塗布器１４に加圧洗浄液を供給するための、安価で効率が良く、清潔で信頼性のある方法を提供する。低摩擦ピストン１８の設計によって、引きずり動作を弱め、洗浄液１２の圧力を一定にする。
（もっと読む）

【課題】管内周壁全体に確実に平滑で均等な厚みを有する塗料層を形成する。
【解決手段】配管Ｐの下流端部に接続した吸引装置により配管Ｐ内を負圧化し、該配管Ｐの上流端部より塗料Ｌを投入した後に続けて投入される塗料吹付け助勢具１と、該塗料吹付け助勢具１に連結して吸引装置の吸引力に抵抗を付与しながら繰り出し調整されるワイヤ２、３とから成り、前記塗料吹付け助勢具１は、正方形状シートの四隅を一束に括って前記ワイヤ２、３に連結される括り部４から下方傾斜した開口部５を有する側面視三角形状の房を十字方向に有する膨収変形自在なエアーバッグ１から成り、管内投入によって前記開口部５から流入する気流を内部に受けることで括り部４を頂点とする四角錘状に膨出変形して管内下流側へ移動すると共に、その方形状の周縁1aと官内周壁との間に生ずる隙間Ｇを管内下流側へ吹き抜ける気流によって管内全周へ塗料Ｌを吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】重量の増加を伴うことなく、流体部品のチューブ接続部分からの液漏れした機能液を適切に受けることができるヘッドユニット等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド４０の複数個と、複数個の機能液滴吐出ヘッド４０をヘッド搭載部８１に搭載したキャリッジプレート３５と、キャリッジプレート３５のヘッド搭載部８１から外れたサイド延設部８２の直上に配設され、各機能液滴吐出ヘッド４０に機能液を供給する複数の流体部品と、サイド延設部８２上で引き回され各流体部品と各機能液滴吐出ヘッド４０とを接続する機能液チューブと、流体部品の直下に位置してキャリッジプレート３５のサイド延設部８２に窪入形成され、流体部品から液漏れした機能液を受ける溝状の受液部８３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で多くの払拭動作を略同時に行うことができる液滴吐出ヘッドのワイ
ピングユニット、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドのノズル面にワイピングシート３４を押圧して摺動すること
によりノズル面の払拭動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにかかわり、ワイ
ピングシート３４を液滴吐出ヘッドに押圧する第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３
０と、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０にワイピングシート３４を供給する清
掃部材供給装置４３と、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０に供給されるワイピ
ングシート３４を回収する清掃部材回収装置４４と、を有し、ワイピングシート３４は第
１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０を順次通過して供給されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布液による装置内の汚染を防止しつつ、媒体に対する均一塗布を実現する。
【解決手段】塗布ローラ(11)の塗布面(11A)に当接することにより、該塗布面に液体を供給する液体保持ユニット(14)を備える液体塗布装置(10)において、塗布ローラ(11)に対する媒体（P）の相対位置に基づき、塗布ローラ(11)と液体保持ユニット(14)の間の第１の当接圧力及び塗布ローラ(11)と媒体（P）の間の第２の当接圧力のうち少なくとも一方の当接圧力を変化させる制御を行う。例えば、媒体（P）の先端が塗布ローラ(11)に接触する直前に第１の当接圧力を弱くして塗布ローラ上の液膜厚を増やし、媒体（P）の後端が塗布ローラ(11)を通過する直前に第１の当接圧力を強くして塗布ローラ(11)上の液膜厚を減らす。 （もっと読む）