【課題】塗布対象物上に形成された塗布膜の膜厚の均一性の低下を抑制できる成膜装置、成膜方法及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、塗布対象物を載せるステージと、塗布対象物の表面の法線方向を回転軸としてステージを回転する回転機構と、塗布対象物の表面に塗布材料を供給する塗布ノズルと、ステージ上における塗布ノズルの位置を塗布対象物の表面に沿って移動させる塗布移動機構と、回転機構と塗布移動機構を制御して、ステージを回転させると共にステージの回転中心部と外縁部間で塗布ノズルの位置を移動させながら、塗布ノズルを制御して塗布対象物の表面に塗布材料を塗布させる制御部と、塗布対象物上に塗布材料を塗布して形成された塗布膜の表面に照射する音波を発生する音波発生装置とを備え、音波を塗布膜の表面に照射する。 （もっと読む）

【課題】 塗布作業と平行して塗布材の流速等を計測して塗布材の流量制御ができるようにする。
【解決手段】 塗布材が吐出されるスリット２０を備えたダイヘッド１６と、ダイヘッド１６に塗布材を圧送するポンプ１２と、ダイヘッド１６とポンプ１２とを接続する配管２５の途中に設けられて、スリット２０を流動する塗布材の流量に対応した寸法に形成された計測チャネル及び該計測チャネルを流動する塗布材の動的特性を計測するセンサを備えた計測部１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体材料貯留部と吐出装置を物理的に接続する必要がなく、パーティクルの発生および混入を効果的に防止することができる液体自動供給機構およびこれを備える塗布装置の提供。
【解決手段】液体材料を貯留する液体貯留部と、液体貯留部に貯留された液体材料を供給する供給口を有する供給部と、供給部から排出される液体材料を受ける受給口および気泡除去機構を有する受給部と、受給部を移動させる受給部駆動装置とを備え、受給部が受給口が供給口の直下に位置する受給位置に移動して供給口から液体材料の滴下供給を受け、気泡除去機構により気泡が除去された液体材料を吐出装置に供給することを特徴とする液体自動供給機構およびこれを備える塗布装置。 （もっと読む）

【課題】本液体貯留部内に発生する気泡の排出を効率良く実行する。
【解決手段】工程４において、流量１と流量２（流量１＞流量２）を設定し、相対的に急激な圧力変化率で昇圧し、目標圧力到達後、相対的に緩やかな圧力変化率で降圧することで、昇圧時にヘッドモジュール１２の貯留室の内壁に付着する気泡を剥がしテインク内を浮遊させ、その後、降圧時にヘッドモジュール１２のノズルから気泡を排出するようにした。 （もっと読む）

【課題】ウエブ自体に長手方向における湾曲や、部分的な弛み等の癖が存在する場合にあっても、それらに起因する塗布むらの発生を防止し、塗液を薄膜で均一に塗布することが可能なウエブ塗工装置を提供する。
【解決手段】走行中のウエブの表面に、該ウエブの幅方向に延びる塗液供給手段のスリット状吐出口から吐出される所定の塗液を連続的または間欠的に塗布していくウエブ塗工装置において、ウエブ走行方向に見てスリット状吐出口の上流側および下流側の少なくとも一方の位置に、一面が走行中のウエブによって形成される加圧室または減圧室を設けるとともに、該加圧室または減圧室を通過中のウエブを、該加圧室または減圧室の内部に対して離反、接近する方向に局所的に変位可能に支持することを特徴とするウエブ塗工装置。 （もっと読む）

【課題】シリンジポンプを交換する際の作業効率を向上させることが可能な塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置１０は、シリンジポンプ１００と、シリンジポンプ１００を着脱自在に把持するポンプ把持ユニット２００とを備えている。シリンジポンプ１００は、内部に塗料充填空間１１１が形成されたシリンジ本体１１０と、シリンジ本体１１０の塗料充填空間１１１内の塗料１０１を吐出する塗料吐出部１２０と、シリンジ本体１１０の塗料充填空間１１１内に移動自在に設けられたピストン部１３０とを有している。ピストン押圧ユニット３００は、シリンジポンプ１００のピストン部１３０を押圧し、吐出駆動ユニット４００は、ピストン押圧ユニット３００を駆動するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、被塗布物の直線部の高粘性流体の塗布量とコーナー部の高粘性流体の塗布量とを調節し、コーナー部の高粘性流体の吐出量を少なくし、全体としてバランスの取れた高粘性流体量を給送することを目的としたものである。
【解決手段】
この発明は、高粘性流体を定速度で自動定量塗布する方法において、塗布速度の変動を検出し、この検出に基づき高粘性流体の吐出量を塗布速度の変化に拘わらず均一塗布できるように制御することを特徴とした高粘性流体の定量塗布における吐出量制御方法により目的を達成した。 （もっと読む）

【課題】間欠コーティング時のコーティング液の引きずり現象を防止できる真空チャンバシステム及びコーティング方法を提供する。
【解決手段】本発明は、間欠コーティング時のコーティング液の引きずり現象を防止することによって、コーティングの不良発生率が低減されて製品の品質を向上させることができるコーティング装置の真空チャンバシステム及びこれを用いたコーティング方法に関する。本発明に係るコーティング装置の真空チャンバシステムは、コーティング装置のコーティング液噴出口と連結された真空チャンバと、前記真空チャンバの一領域に連結され、負圧を発生させる負圧発生部と、前記真空チャンバと前記負圧発生部との間に設置されるバッファタンクとを含み、前記真空チャンバと前記バッファタンクとの間には制御部が更に設置され、前記制御部は前記真空チャンバ及び前記バッファタンクのそれぞれに選択的に外気を吸入又は遮断するように作動する。 （もっと読む）

【課題】レンズを変形することなくかつ脱落することもないような適正な保持力で保持できるレンズ保持用治具を提供する。
【解決手段】レンズ基材２の外周部を挟持することによってレンズ基材２を略垂直に保持する第１〜第３のアーム３〜５を備える。これらのアームの上端部を支持する保持具本体６を備える。保持具本体６は、前記複数のアームのうち少なくとも一つのアーム（第１のアーム３）をレンズ基材２に対して接離する方向に揺動自在に支持する支持部材７を備える。保持具本体６は、前記揺動可能なアーム（第１のアーム３）をレンズ基材２に接近する方向に付勢するばね部材（捩りコイルばね２１）と、このばね部材のばね力を調整する調整機構２７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】吸着力によるレンズの変形を起こすことなく、レンズを吸着固定することができるレンズ保持治具及びレンズの保持方法を提供することを目的とする。
【解決手段】レンズの下方にレンズの下面との間に空隙を有して配設され、その下面が外部装置に吸着固定される移載台と、レンズのコバ面と移載台を把持する把持部材と、を備えたレンズ保持治具とする。 （もっと読む）

【課題】微量の液体を高精度に塗布するための液体材料塗布装置に関し、特に１ｐＬ以下の塗布量をディスペンサー方式によって塗布するのに好適な液体塗布技術を提供する。
【解決手段】ディスペンサーノズル先端の内径を細くし、ノズル内の液体が形成する２つの界面に接する気体の圧力を等しくすることにより、ノズル先端の液面位置が安定するようにし、該ノズル先端の液面位置が安定した状態で、ノズル内部の液体に、ノズル後端から高精度に制御されたパルス状の圧力を加えることにより、ノズル内の液体を被塗布物上に塗布し、さらに塗布後において適切なタイミングでノズルを上昇させるよう、液体塗布装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】シート状部材の表面上への材料の塗布及び乾燥を効率よく行い、光学フィルム用基材及びフレキシブル基板の表面に高い生産効率で薄膜を形成できる薄膜塗布乾燥装置及び薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜塗布乾燥装置１は、筐体１０の内部に、貯留部１３内に貯留された液状又はペースト状の材料３の一部に進入して筐体１０の内部を第１の空間１６と第２の空間１７とに区画する隔壁１５を有する。搬送部（搬送ローラ１４）は、シート状部材２を第１の空間１６から貯留部１３内の材料３中に浸漬させた後、第２の空間１７にてシート状部材２を材料３から取り出すように、シート状部材２を搬送する。第１の空間１６内及び第２の空間１７内は、夫々第１及び第２の排気部材４により排気され、第２の空間１７に取り出されたシート状部材２は、表面に付着した材料３が第２の空間１７で乾燥される。 （もっと読む）

【課題】処理雰囲気を適切に制御しつつ、金属混合液を用いて基板上に金属膜を適切に形成する。
【解決手段】金属膜形成装置１の処理容器１０の内部は、不活性ガスの大気圧雰囲気又は減圧雰囲気に切り換え可能になっている。処理容器１０の内部には、ウェハＷを保持するスピンチャック２０と、ウェハＷの側方を囲むように設けられたカップ体３１と、ウェハＷ上に金属混合液を吐出する塗布ノズル６０と、ノズル駆動部６５の動力を塗布ノズル６０に伝達するノズル伝達部６４と、塗布ノズル６０を待機させるノズルバス６６とが設けられている。処理容器１０の外部には、水平方向より所定の角度で傾斜した方向に沿って、スピンチャック２０とノズルバス６６との間で塗布ノズル６０を移動させるためのノズル駆動部６５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧力チャンバ内に残留する残留圧力波を短時間で減殺させてインク吐出特性を向上させるインク流路構造及びこれを含むインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インク流路構造は、流入されたインクのノズルへの吐出のためにインクを格納する圧力チャンバ２１０及び圧力チャンバ２１０から発生する圧力によってインクを吐出した後、圧力チャンバ２１０にインクを供給し、圧力チャンバ２１０内に残留する残留圧力波を減殺させるために、圧力チャンバ２１０に向かう方向に拡張と縮小を繰り返す流路２３０を含む。 （もっと読む）

【課題】シーラ塗布始めのシーラ塗布量や、塗布始めの位置の安定化を実現する。
【解決手段】制御手段１６Ｃによって、圧力センサ３０により検出されたシーラ塗布圧力を記憶し、かかるシーラ塗布圧力が次塗布サイクルの準備圧力となるよう、サーボモータ付き容積形ポンプ１８を制御する。そして、次塗布サイクルの塗布開始時点での、シーラ塗布圧力を最適化し、シーラ塗布量や、塗布始めの位置を安定させる。又、タイマ１６Ｔによって、シーラ塗布開始から圧力センサによる圧力検知を開始するまでの時間を設定することで、シーラ経路内のシーラ塗布圧力が安定した時点で、信頼性の高い圧力検知を行い、次塗布サイクルの準備圧力に反映させる。サーボモータ付き容積形ポンプ１８と、塗布ガン２０とが一体化されることで、両者を連結するシーラ経路からホースを排除し、シーラの圧力に起因する変形により、シーラ経路圧力損失が発生することを回避する。 （もっと読む）

【課題】キャビテーションが発生するのを良好に防止することが可能な液体噴射装置および液体噴射方法を提供すること。
【解決手段】液体噴射装置１０は、液体貯留手段２７から供給される液体を、駆動信号情報に基づく駆動信号の印加に基づいて噴射させる液体噴射ヘッド３０と、液体噴射装置１０の設置される場所の気圧を計測する気圧計測手段５０と、気圧に応じて変動する液体中における溶存気体量に関連付けられている駆動信号情報と、気圧との関係を示す気圧相関情報を記憶している情報格納部７３と、気圧計測手段５０で計測された気圧および気圧相関情報に基づいて、液体噴射ヘッド３０で印加される駆動信号の基となる駆動信号情報を選択し、その駆動信号情報に基づいて液体噴射ヘッド３０の駆動を制御する制御手段７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】複数のノズル内から効率よく気泡を排出させることができるメンテナンス装置、流体噴射装置及びメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】プリンターは、ノズル２５が複数設けられた流体噴射ヘッド２４と、インク供給チューブ２７と、メンテナンス装置１０３とを備える。メンテナンス装置１０３は、圧力付与位置Ｍ２で加圧を行うことでノズル２５からインクを膨出させるとともに、該加圧に伴いノズル２５からインクが膨出した状態において減圧を行う圧力付与機構２９と、圧力付与機構２９が加圧及び減圧を行う場合に、圧力付与位置Ｍ２から各ノズル２５に至る流路毎の圧力損失の大きさに応じて、該圧力損失が相対的に小さい流路を通じてインクが供給されるノズル２５のノズル開口２５ａを閉塞するように流体噴射ヘッド２４に当接する密着キャップ１０２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】塗布剤塗布方法において、時間経過によって粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するとともに作業効率を向上することができるようにする。
【解決手段】塗布剤塗布方法であって、圧力を塗布剤の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データを決定する圧力決定工程（ステップＳ５、Ｓ９）と、圧力制御データに基づいて予め設定された試し塗布速度で塗布剤を試し塗布する試し塗布工程（ステップＳ６）と、試し塗布量を測定する試し塗布量測定工程（ステップＳ７）と、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する塗布速度算出工程（ステップＳ８）と、算出された塗布速度によって被塗布体と吐出口とを相対移動させて、被塗布体に塗布剤を塗布する本塗布工程（ステップＳ１０）とを、備える方法とする。 （もっと読む）

【課題】 支持部材に対する被噴射材の浮き上がりが生じている状態においても高精度な液体噴射を実行可能な液体噴射装置を実現する。
【解決手段】 記録紙支持部材１３に支持される記録紙Ｐの裏面の反射光を受ける反射鏡２２と、反射鏡２２を介して、記録紙支持部材１３に支持される記録紙Ｐの裏面の反射光を結像させるテレセントリック光学系２４と、テレセントリック光学系２４による結像を電気信号に変換して出力するイメージセンサー２５と、テレセントリック光学系２４の光軸方向へ反射鏡２２を変位させる焦点調整装置２６とを含む記録紙検出装置２０を備え、制御装置１００は、テレセントリック光学系２４による結像が合焦状態となるように反射鏡２２の位置を調整し、合焦状態における反射鏡２２の位置に基づいて記録ヘッド１７から記録紙Ｐへインクを噴射するタイミングを調整する。 （もっと読む）

【課題】 供給される塗料の中に気泡が含まれることを防止し得る塗料供給装置を提供する。
【解決手段】 塗料を貯蔵するタンク（１０）と、前記塗料を濾過するフィルタ（１２）を有する濾過室（１４）と、前記濾過室または前記タンクと接続され、前記塗料を供給する供給口（１６）と、前記タンクと前記濾過室を繋いでおり、前記タンクと前記フィルタの間を前記塗料が循環するように流れる循環経路（２０）と、前記循環経路に接続されており、前記塗料を流動させるポンプ（１８）と、前記循環経路に取り付けられており、前記濾過室が加圧されるように前記濾過室の圧力を変化させる圧力調整装置（５０）と、を有する塗料供給装置。 （もっと読む）