【課題】ハンプの低減が図られる半導体装置の製造方法と、ハンプが低減された半導体装置と、レジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１を回転させながら、ハンプ処理用流体吐出ノズル５５から、純水等の不活性な液体６４ａを所定の圧力をもって吐出させ、ハンプ３ａが発生している領域へ噴き付ける。高圧の不活性な液体６４ａをハンプ３ａに噴き付けることによって、ハンプ３ａが押し潰されて、下層レジスト材料膜３の膜厚が半導体基板１の全面においてほぼ均一になる。 （もっと読む）

【課題】ノズル支持アームをその長手方向軸を中心として回転させることができる場合でも、ノズルに接続される配管における配管抵抗を小さくすることができ、またこの配管の占めるスペースを小さくすることにより省スペース化を図ることができる液処理装置を提供する。
【解決手段】液処理装置１０において、ノズル支持アーム８２は、当該ノズル支持アーム８２の移動方向に沿った長手方向軸を中心として回転可能となっており、ノズル支持アーム８２は、ノズル８２ａに流体を送るための配管８３ｐ〜８３ｕを有し、配管８３ｐ〜８３ｕは可撓性材料から形成されている。配管８３ｐ〜８３ｕは、ノズル支持アーム８２が退避位置にあるときにノズル支持アーム８２の後端部で当該ノズル支持アーム８２の延びる方向に直交する平面上で渦巻き形状となるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】ワーク厚みのバラつきや樹脂の量の増減にかかわらず、樹脂を適切に押し広げること。
【解決手段】本実施の形態に係る樹脂塗布装置１は、ステージ６０２の上面に供給された液状樹脂Ｌを押圧部６０４における押圧面６３４に保持したワークＷで上から押圧し液状樹脂ＬをワークＷ下面に広げる樹脂塗布装置１であって、押圧部６０４には、移動部６０６によるワークＷのステージ６０２への接近によってワークＷ下面に液状樹脂Ｌが押し広げられる際に押圧面６３４が受ける圧力を検出する圧力センサ６３３が備えられ、制御部は圧力センサ６３３が検出した圧力に基づいて移動部６０６の動作を制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 流動樹脂粉を使い、鉄系材料の配管部品の内面に樹脂皮膜を形成する実用的な方法を得ること。
【解決手段】 配管部品の内面に流動樹脂粉を流して樹脂皮膜を形成するのは次のようにする。加熱した配管部品の、一方の接続部を流動槽の流動樹脂粉の中に続く入口管に接続し、他方の接続部を集塵機の続く出口管に接続して、必要に応じて配管部品を回転させたり傾けたりしながら、流動槽の圧力を高めて、流動樹脂粉を入口管に押込み配管部品へ流して、樹脂皮膜を形成する。配管部品を通り抜けた流動樹脂粉は、集塵機で樹脂粉と空気に分離して回収する。 （もっと読む）

【課題】 シャワーヘッドから塗料を吐出するための液圧の調整を作業中に任意に行うことができるシャワー式塗装装置を得る。
【解決手段】 塗料をシャワー状に吐出して基材の表面に塗装を行うシャワー式塗装装置であって、シャワー板１に設けられた多数のシャワー孔２から塗料を吐出するシャワーヘッド３と、シャワーヘッド３の塗料供給口４に接続されてシャワーヘッド３に塗料を供給する塗料供給容器部５と、塗料供給容器部５の塗料供給口６に接続された塗料供給配管７と、塗料供給配管７を通して塗料供給容器部５に塗料を供給する塗料供給ポンプ８と、塗料供給配管７に分岐接続されて塗料供給配管７及び塗料供給容器部５内の空気及び塗料の排出を行う空気・塗料排出配管９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】熱処理プレートに基板を受け渡すときの基板の横滑りによる位置ずれが起きないようにして加熱処理の適正な処理が行われる熱処理装置（方法）を提供すること。
【解決手段】熱処理プレート６０の基板載置面と基板の裏面との間に第１の隙間距離をとるための伸縮自在な弾性部材からなる複数の第１の載置支持部材６４と、基板載置面と基板の裏面との間に前記第１の隙間距離よりも小さい隙間距離となる第２の隙間距離を設けるための複数の第２の載置支持部材６２と、熱処理プレート６０の基板載置面に設けられ前記基板の裏面との隙間の空間を吸引するための複数の吸引孔６３と、を備えて、前記吸引孔により第１の載置支持部材６４上に支持された基板を吸引することで第１の載置支持部材６４を収縮させて第２の載置支持部材６２に基板を支持させる。 （もっと読む）

【課題】気流を抑制することで基板面に形成される膜パターンの形状のばらつきを低減させ、各膜パターンにおける膜厚を均一にすること。
【解決手段】液体塗布装置１００は、液体吐出ヘッド１０を備えており、液体吐出ヘッド１０を基板１に対して相対的に移動させて基板１の片面１ａに液体を塗布する。この液体塗布装置１００は、液体吐出ヘッド１０の基板１の片面１ａにおける液体２が塗布されている部位に配置されたプレート４を備えている。プレート４には、基板１の片面１ａとプレート４の一方の面４ａとで挟まれた空間Ｒに揮発した液体揮発成分を、プレート４の基板と対向しない面４ｂ側に通過させる複数の細孔が設けられている。 （もっと読む）

【課題】種々のインクを、高精度かつ安定的に吐出可能な循環式インクジェット装置を提供すること。
【解決手段】循環式インクジェット装置は、インクの入口と、前記インクの出口と、前記インクを微少量ずつ吐出し可能なノズル部と、を有するインクジェットヘッド（７）と、前記入口に前記インクを送り込む圧力を発生する第１ポンプ（２）と、前記出口から前記インクを引き出す圧力を発生する第２ポンプ（３）と、前記第１ポンプ、前記インクジェットヘッド、および、前記第２ポンプをこの順に通って前記インクが循環する経路を形成する流路部（１２）と、前記入口に送り込まれる前記インクの圧力を測定する第１圧力センサ（４）と、前記出口から引き出される前記インクの圧力を測定する第２圧力センサ（５）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】、本発明は、基板の搬送に関して、非接触型の搬送が可能となる新たな技術的手段を備えた塗布システムを提供する。
【解決手段】基板Ｗを浮上させる浮上ユニット１０及び浮上させた基板Ｗを搬送する搬送ユニット２０を有する搬送装置１と、搬送される前記基板Ｗの上面に対して塗布液を吐出するノズル３１を有している塗布装置３とを備えている。浮上ユニット１０は、振動子６と、この振動子６の動作に起因して振動し当該振動による放射圧によって基板Ｗを浮上させる振動板７とを有しており、この振動板７は、ノズル３１の直下位置に設けられていること。 （もっと読む）

【課題】塗布液の蒸発に起因するダイコータの変形防止と、塗布開始時に発生する面状故障を防止できる塗膜付きフィルムの製造方法、及び塗布装置の提供。
【解決手段】塗布液２４が供給されるマニホールド１４と、マニホールドと連通するスロット１６と、スロットの先端に形成されたリップ面１８とを有するダイコータ１２と、ダイコータ１２から吐出された塗布液２４がリップ面１８から下方の領域に付着しないようにダイコータ１２に取り付けられた、テーパー形状の上端部を有する断熱性の板材４０と減圧チャンバー５０とを備える塗布装置１０を準備する。ダイコータ１２から塗布液２４を吐出させながら、塗布時における塗布装置１０とウエブＷとの所定クリアランスより大となる位置で塗布装置１０を待機させる。塗布装置１０を所定クリアランスとなる位置に移動し、ウエブＷとダイコータ１２との間にビード２４ａを形成し、塗膜２４ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】塗布装置の初期塗布流量を安定させる。
【解決手段】塗布部へ供給する粘性流体の供給量を制御する制御部３４を備える塗布装置３０であって、制御部３４は、第１貯留室３４０内に摺動可能に配置され、摺動動作によって導入ポート３４５ａを開閉することで第１貯留室３４０に導入される粘性流体の導入量を制御するとともに、その摺動動作によって粘性流体を加圧室３４１に導入してその加圧室３４１内を加圧する導入量制御部材３４６と、第２貯留室３４２内に摺動可能に配置され、加圧室３４１内で加圧された粘性流体を摺動動作によって第２貯留室３４２に導入するとともに、その摺動動作によって排出ポート３４５ｂを開閉することで第２貯留室３４２から外部に排出される粘性流体の排出量を制御する排出量制御部材３４７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗工開始運転時における塗工部分が波打ちやかすれなどが生じない安定した状態で形成できる塗工装置を提供する。
【解決手段】制御部３４は、塗工開始運転を行う場合、ウエブＷを走行させ、給液バルブ３２を閉状態にし、ポンプ２８の運転を開始し、圧力計３７が検出した検出圧力が、設定圧力より高くなると給液バルブ３２を開状態にする。 （もっと読む）

【課題】ダイとバックアップロールとの間の塗工間隙を適正に制御できる塗工装置を提供する。
【解決手段】制御部３４は、この検出した両端部の位置に関する座標と、走行速度とに基づいて、ウエブＷの塗工部分の幅寸法Ｍを測定する。制御部３４は、測定した幅寸法Ｍ＜基準幅寸法Ｍ０のときは、ダイ１２とバックアップロール１４との塗工間隙ａを大きくし、幅寸法Ｍ＜準幅寸法Ｍのときは、塗工間隙ａを小さくするフィードバック制御を行う。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドを清掃する吸入ヘッドの吸入力低下に起因し、塗布ヘッドの吐出異常が発生することを防止する。
【解決手段】塗布装置は、吐出面に形成された吐出孔から液を吐出する塗布ヘッドと、吐出面に付着した液を空気と共に吸入する吸入口Ｈ１及びその吸入口Ｈ１に連通する内部流路６ａ１を有する吸入ヘッド６ａと、その吸入ヘッド６ａの内部流路６ａ１に連通する気液流路管６ｂと、内部流路６ａ１及び気液流路管６ｂを介して吸入口Ｈ１に吸引力を作用させる吸引装置６ｅと、内部流路６ａ１及び気液流路管６ｂに洗浄液を流す洗浄装置６ｆとを備える。 （もっと読む）

【課題】歯科材料などの高粘度材料を適量送与する容器およびピストンにおいて、低い絞り出し圧力で適量送与することと、デッドボリュームが小さく、かつ、送与される材料の分離があまり生じないことが促進される容器およびピストンを提供する。
【解決手段】高粘度の歯科材料を収容して送り出す容器は、内部チャンバを画定するハウジングを有する。ハウジングおよび内部チャンバは、第１区画２、移行領域３、および出口ノズル４を有する。移行領域の内部チャンバは、その第２端部３２に向かって連続して先細るテーパである。移行領域の内部チャンバは、開口角度βが約５５°である斜円錐台の外側表面によって画定される。 （もっと読む）

【課題】不活性ガスの供給流量にばらつきが生じてもチャンバー内を圧力を安定して保つことができ、初期動作時、不活性ガスの供給流量を増やして不活性ガス化に必要な時間を短縮させることができる基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板に対し所定の処理を行う基板処理部と、前記基板処理部を密封状態に収容するチャンバーと、チャンバー内に不活性ガスを供給するガス供給部と、チャンバー内のガスを排気するガス排気部と、を備えており、前記チャンバー内の圧力がチャンバー外の圧力よりも高いチャンバー設定圧力になるように、前記ガス供給部の不活性ガスの供給流量と前記ガス排気部の排気流量とが調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】 塗布ヘッドのノズル面に付着した溶液を吸液性の拭取部材により拭き取る塗布装置において、取付ブラケットに対する拭取部材の着脱作業性を簡易化し、塗布装置の生産性を向上すること。
【解決手段】 塗布装置において、拭取部材２１は、その横断面形状が両側部を外方に向けて凸状に張り出すとともに、弾性変形できる膨らみ部２３Ｆ、２３Ｆを有してなり、取付ブラケット３０は、拭取部材２１を下側から支持する下支持部３２Ａと、拭取部材２１の膨らみ部２３Ｆのそれぞれを上側から押さえる両側の上支持部３６Ａ、３７Ａとを備えてなるもの。 （もっと読む）

【課題】鋼製ロープなど外周面にスパイラル状の凹凸のある長尺材の外周方向及び長手方向に、揮発性の高い接着剤を変質なく付着させて、周方向の凹凸にムラなく、かつ長手方向の膜厚変動を抑制する接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】鋼製ロープ１など外周面にスパイラル状の凹凸のある長尺の被塗布材への接着剤塗布装置であって、接着剤４１を貯蔵する温度調節可能な溶液タンク１１と、所要量の接着剤を送り出す吐出機構２６と、前記被塗布材１を移動させながら挿通させ、挿通の途中において、前記吐出機構２６から送り出された接着剤を供給穴から吐出して前記被塗布材１に付着させる筒状ノズル２と、前記被塗布材１上に付着した接着剤の膜厚を調整する絞り機構３を備えている。 （もっと読む）

【課題】 塗布作業と平行して塗布材の流速等を計測して塗布材の流量制御ができるようにする。
【解決手段】 塗布材が吐出されるスリット２０を備えたダイヘッド１６と、ダイヘッド１６に塗布材を圧送するポンプ１２と、ダイヘッド１６とポンプ１２とを接続する配管２５の途中に設けられて、スリット２０を流動する塗布材の流量に対応した寸法に形成された計測チャネル及び該計測チャネルを流動する塗布材の動的特性を計測するセンサを備えた計測部１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体材料貯留部と吐出装置を物理的に接続する必要がなく、パーティクルの発生および混入を効果的に防止することができる液体自動供給機構およびこれを備える塗布装置の提供。
【解決手段】液体材料を貯留する液体貯留部と、液体貯留部に貯留された液体材料を供給する供給口を有する供給部と、供給部から排出される液体材料を受ける受給口および気泡除去機構を有する受給部と、受給部を移動させる受給部駆動装置とを備え、受給部が受給口が供給口の直下に位置する受給位置に移動して供給口から液体材料の滴下供給を受け、気泡除去機構により気泡が除去された液体材料を吐出装置に供給することを特徴とする液体自動供給機構およびこれを備える塗布装置。 （もっと読む）