【課題】基板上に、有機ＥＬ素子の機能層をはじめとして、塗付膜をウェット法で形成する際に、基板上全体に配される塗膜形状のバラツキを抑えて、塗膜形状を均一化する。
【解決手段】乾燥装置２０は、減圧容器２１の内部に設けられた支持台２２上に、インクが充填された基板１が支持台２２に載置される。基板１の上方には、整流部材５０が配置されている。整流部材５０には、溶剤蒸気を流通させるスリット５３が複数並設されている。整流部材５０の下面には、各スリット５３の入口を覆うように、板上の網目部材４０が配設されている。網目部材４０には、各スリット５３に対して貫通孔４１が複数個づつ開設されている。 （もっと読む）

【課題】インクカートリッジ内の機能液を攪拌する機能を有し、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の体積が変動し難い液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズルから基板に機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドと、磁性体を含有し移動する転子３１と液滴吐出ヘッドに供給する機能液とを収容する収容タンク１５と、基板に対して液滴吐出ヘッドと収容タンク１５とを移動させるキャリッジ１１と、収容タンク１５の重力方向から転子３１に引力を及ぼす磁気ユニット１４と、を有し、キャリッジ１１は、液滴吐出ヘッドが液滴を吐出するときに収容タンク１５に対して転子３１が移動しない加速度で収容タンク１５を移動させ、液滴を吐出しないときには収容タンク１５に対して転子３１が移動する加速度にて収容タンク１５を移動させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドの個体差に拘わらず安定して液滴の微小化を図ることが可能な液体吐出装置、及び、液体吐出装置の制御方法を提供する。
【解決手段】吐出駆動パルスＤＰは、圧力室膨張要素ｐ１と、第１収縮要素ｐ３（圧力室収縮要素）と、再膨張要素ｐ５と、を含むパルス波形であり、圧力室膨張要素ｐ１は、第１の電位変化率で電位が変化することで圧力室を膨張させる前側膨張要素ｐ１ａと、前側膨張要素ｐ１ａの後に発生し、第１の電位変化率よりも大きい第２の電位変化率で電位が変化することで圧力室をさらに膨張させる後側膨張要素ｐ１ｂと、前側膨張要素ｐ１ａと後側膨張要素ｐ１ｂとの間に発生し、前側膨張要素ｐ１ａの終了時の電位を維持する膨張維持要素ｐ１ｃとを含み、前側膨張要素ｐ１ａの開始時から後側膨張要素ｐ１ｂの開始時までの時間Ｔが、圧力室内の液体に生じる固有振動周期Ｔｃに応じて定められる。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に乾燥ムラが形成されるのを抑えることができる減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】基板１上に塗布された塗布膜を減圧環境下で乾燥させる乾燥装置であって、基板が収容される基板収容部を有するチャンバ部１０と、基板収容部に配置され、基板を載置する基板載置面２０ａを有するプレート部２０と、基板をプレート部に載置する位置と、プレート部から所定間隔離れた位置に位置させる基板浮上装置３０と、を備えており、基板浮上装置は、基板を浮上させる気体を噴出する噴出部３１を有しており、この噴出部がプレート部に埋設され、プレート部の基板載置面と、気体が噴出する噴出部の噴出面とが同一高さ位置に設定されていることにより、プレート部の基板載置面が略一様な平坦面に形成される構成とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成でありながら、インクジェットヘッド内に気泡が存在することによる吐出不良の発生を有効に防止することが可能なインクジェットヘッドへの塗布液充填方法および塗布液充填装置を提供する。
【解決手段】 塗布液の吐出部と、塗布液の貯留部と、塗布液の貯留部に貯留された塗布液に圧力を付与する圧電素子とからなる吐出機構を複数個列設したインクジェットヘッド１０と、このインクジェットヘッド１０に対して圧力が付与された導入液を圧送する導入液圧送機構２０と、第１脱気機構３０と、インクジェットヘッド１０に対して塗布液を送液する塗布液送液機構４０と、第２脱気機構６０と、導入液圧送機構２０による導入液の圧送を停止させるとともに塗布液送液機構４０による塗布液の送液を開始させる三方切替弁５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ペースト塗布量のばらつきの発生を抑え、さらに、ペースト塗布時間を短縮する。
【解決手段】制御部９は、パターンの描画中、調整部８及び移動機構３，５に対し、ステージ２上の塗布対象物Ｋに対するノズル４ｂの対向位置が第１の直線部からコーナー部に進入する場合、ステージ２とノズル４ｂとの面方向の相対速度を低下させ、吐出圧力を下げるとともに、ステージ２上の塗布対象物Ｋとノズル４ｂとの離間距離を狭くする制御を行い、ステージ２上の塗布対象物Ｋに対するノズル４ｂの対向位置がコーナー部から第２の直線部へ出る場合、ステージ２とノズル４ｂとの面方向の相対速度を上昇させ、吐出圧力を上げるとともに、ステージ２上の塗布対象物Ｋとノズル４ｂとの離間距離を広げる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体を微小な液滴として吐出する場合に尾曳を抑えることが可能な液体吐出装置、及び、液体吐出装置の制御方法を提供する。
【解決手段】インクの吐出時における静的表面張力が２４ｍＮ／ｍ以上３０ｍＮ／ｍ以内であり、圧力発生室におけるインク粘度が１０ｍＰａｓ以上１７ｍＰａｓ以内であり、ノズルから吐出される液滴の飛翔速度が７ｍ／ｓ以上１１ｍ／ｓ以下となるように、圧力発生手段を制御することで、５ｎｇ以下の重量の液滴をノズルから吐出させることを特徴とする液体吐出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】高圧下で液送される高粘性材料であっても精度良く吐出する吐出装置および方法の提供。
【解決手段】高粘性材料を吐出する吐出口を有する吐出ユニットと、高粘性材料を貯留する貯留エリア、該貯留エリアに高粘性材料を供給するための受入口、および前記吐出ユニットに高粘性材料を送出するための送出口を有する貯留ユニットと、容器に充填された高粘性材料を前記貯留ユニットに第１の圧力で供給する高圧供給ポンプと、を提供し、高粘性材料を定量吐出する方法において、前記高圧供給ポンプおよび前記貯留ユニットを連通する流路にポンプ機構およびバルブ機構を有する液送ユニットを設け、該液送ユニットにより前記第１の圧力よりも低く調整された第２の圧力により前記貯留ユニットに高粘性材料を供給することを特徴とする高粘性材料の定量吐出方法および装置。 （もっと読む）

【課題】描画に伴って変動する供給流路の圧力損失を吸収して、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を精度良く一定にすることができるインクジェット装置の制御方法およびインクジェット装置を提供することである。
【解決手段】 本発明の液滴吐出装置１の制御方法は、インクジェット方式で描画を行なう機能液滴吐出ヘッド１４の液滴吐出に伴い、下流側機能液流路４８を介してサブタンク４６から機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を供給する液滴吐出装置１の制御方法であって、機能液滴吐出ヘッド１４の液滴吐出流量の増減に伴って変動する下流側機能液流路４８の圧力損失の影響を排除するように、サブタンク４６に導入する機能液供給圧力を可変することである。 （もっと読む）

【課題】基材の走行にほとんど影響することなくダイスと基材とのクリアランスを狭め、長尺基材に対して膜厚精度の高い薄膜を連続的かつ高速に形成することができる薄膜形成方法および薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】長尺基材（Ｂ）を連続的に移送しながら、その一方の表面に所定の間隔をおいて対向配置されたキャビティを有する塗布ダイス（３１）を用いて１種類以上の材料溶液を塗布し前記基材の表面に薄膜を形成する薄膜形成方法において、前記塗布ダイスのキャビティ内へ所定の圧力で材料溶液を供給しながら、該材料溶液より生じる前記塗布ダイスへの反発力が所定の値に保たれるように前記塗布ダイスに付与する基材へ向かう方向への荷重を制御して、前記長尺基材の表面に薄膜を形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は接着方法及び接着装置に係り、効率よく気泡の残留のない接着処理を行うことを課題とする。
【解決手段】第１パネル１１と第２パネル１２を接着剤３０を用いて接着する接着方法において、接着剤３０を第１及び第２のパネル１１，１２間に配設する配設工程と、上側装着台１６Ａを下側装着台１５Ａに移動させることにより第１及び第２のパネル１１，１２を加圧し、接着剤３０をこの加圧力により基板外側に向け押し広げる加圧工程と、この加圧の開始後に各装着台１５Ａ，１６Ａを回転させることにより、接着剤３０を遠心力により基板外側に向け広げる回転工程とを有する。また、加圧により接着剤３０が既定膜厚となったとき、各装着台１５Ａ，１６Ａの回転を第１の回転よりも速い第２の回転に変化させる。 （もっと読む）

【課題】塗布により発生する汚染物質の拡散を防止しつつ、塗布スペースのクリーン度を確保し、基板へのパーティクルの付着を抑制する塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１およびノズルヘッド１３のノズル噴出口を囲むように第１のブース１２を設け、かつ第１のブース１２を囲むように第２のブース１４を設置し、第１のブース１２内の圧力を第２のブース１４内の圧力より高くすると共に、第２のブース１４内の圧力を第２のブース１４外の圧力より低くする。 （もっと読む）

【課題】ペーストの空打ちを防止して確実な定量吐出を行うことができるペースト塗布装置、電子部品接合装置、ペースト塗布方法及び電子部品接合方法を提供する。
【解決手段】ペースト貯留部内に正圧を供給してペースト吐出口からペーストを吐出させた後ＳＴ２、ペースト貯留部内に負圧を供給しＳＴ４、ペースト貯留部内の圧力を、ペースト貯留部内のペーストがペースト吐出口から垂れを生じることなくペースト貯留部内に保持される圧力（保持圧力）よりも低い圧力（吸引圧力）に調整することによってペーストを吸い上げＳＴ５、ペーストの垂れが生じなくなったときにＳＴ６、ペースト貯留部内への負圧の供給を遮断してペースト貯留部を密閉状態にした後ＳＴ７、ペースト貯留部を一旦大気に開放してから閉止するＳＴ８。 （もっと読む）

【課題】プリントヘッドが印刷システムにおける可動部あるいは回転部に設けられていても、高い品質の印刷を実現することが可能な印刷システムを提供すること。
【解決手段】印刷位置に配置された容器へ印刷を施すための、インクジェット方式で動作し、かつ、容器の搬送路に沿って回転可能な少なくとも１つの電気式のプリントヘッド３と、該プリントヘッド３へインクを供給するための供給システムとを備えて成る印刷システムにおいて、プリントヘッド３と共に移動しない固定部８と、プリントヘッド３と共に移動する回転部１０とで構成し、プリントヘッド３と共に移動しない、供給システムにおける固定部を前記固定部８に設け、少なくとも１つのインク用のサブタンク２３，２４を可動部１０に更に設け、サブタンク２３，２４をプリントヘッド３に接続した。
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【課題】
潤滑油，洗浄液等の液体を使用する機械工作機，食品加工機等の機器類で液体を自由に使用できるようにするコンパクトな液体移送装置を提供する。
【解決手段】
液体Ｗを貯溜する液体貯溜槽Ｔと加圧された空気を供給する加圧空気供給系Ｇとを備えた機器類で使用されるものである。液体貯溜槽Ｔに貯溜された液体Ｗに沈漬される加圧用タンク１と、加圧用タンク１に取付けられ液体Ｗが加圧用タンク１の内部に導入される導入口２と、加圧用タンク１に取付けられ加圧用タンク１の内部に収容されている液体Ｗを外部に吐出させる吐出口３と、導入口２に接続され加圧用タンク１に対する液体Ｗの導入時に開放され液体Ｗの吐出時に閉鎖される逆止弁４と、吐出口３に接続され加圧用タンク１からの液体Ｗの吐出を断続する操作弁５と、導入口２から液体Ｗが導入される際に加圧用タンク１の内部の空気が排出されるのを許容し吐出口３から液体Ｗを吐出させる際に加圧された空気が送込まれるのを許容する切換弁機構６とを備えている。 （もっと読む）

本発明は流体バルブ（８）、具体的には、塗装システム（１）において色変換する際に、塗料ライン（５）から、残余塗料、リンス剤、および圧縮空気を戻す戻りバルブ（８）に関連し、具体的には、色変換のために、塗料ライン（５）をリンス剤で洗浄し、塗料ライン（５）に新しい塗料を押し込む、流体バルブ（８）が少なくとも部分的に開放される開放ポジションと、具体的には、色変換の後に新しい塗料を塗布するための、流体バルブ（８）が閉鎖される閉鎖ポジションと、を有し、流体バルブ（８）が、開放ポジションと閉鎖ポジションとの間で調節され得ることを特徴とする。本発明は、流体バルブ（８）が、入口側に存在する流体に従い、その媒体によって作動されて、閉鎖ポジションに切り替えられることを提案する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの損傷を抑制できる圧力調整弁を提供する。
【解決手段】圧力調整弁は、インクの滴を射出する液滴吐出ヘッドの第１内部流路に接続され、第１内部流路に供給されるインクを収容可能な第２内部流路と、第２内部流路の圧力を調整可能なダイヤフラムと、ダイヤフラムと間隙を介して対向するように配置され、ダイヤフラムとの間で形成される空間を大気開放する開口を有する透明な保護部材とを備えている。 （もっと読む）

【課題】電力の供給が停止した場合においても、性能の低下を抑制できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、第１圧力の第１空間に面する射出面に配置された射出口を有し、射出口より第１空間にインクを射出可能な射出ヘッドと、供給される電力により作動し、射出ヘッドの内部において射出口と結ばれるように形成された第１流路を第２圧力に調整して、射出口よりインクを射出させる圧力調整装置と、第１流路と結ばれ、圧力調整装置に対する電力の供給停止時に、第１流路の圧力が第１，第２圧力より高くなるように第１流路を加圧する加圧装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】クリーニング時に使用する機能液の節約を図った上で、ノズルの開口縁に付着した固化物を除去することができる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】ノズル面２１ａに当接可能なキャップ本体６７を、複数のノズルＮを覆った状態でノズル面２１ａに当接させるキャッピング工程と、吸引ポンプ５０によってノズル面２１ａとキャップ本体６７との間に形成される内側空間Ｓ内を負圧吸引する吸引工程と、ノズル面２１ａをワイピングするワイピング工程とを有し、吸引工程では、ノズルＮからノズル面２１ａに機能液Ｌを供給しうるように内側空間Ｓに負圧を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ヘッドモジュールにおけるインクの吐出状態を確認することのできる塗布装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するヘッド７をそれぞれ有する複数のヘッドモジュール４と、これらヘッドモジュール４に供給するインクを溜めるサブタンク８と、ヘッドモジュール４それぞれにおけるインクの圧力を計測する圧力センサ１５と、ヘッドモジュール４それぞれにおけるインクの圧力を制御するための電空レギュレータ１７と、圧力センサ１５の計測値を取得して当該計測値に基づいてヘッドモジュール４におけるインクの吐出状態を検出する管理手段３１とを備えている。 （もっと読む）