【課題】各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量調節機構によって当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する。供給源から本管へ供給された塗布液を、複数の支管から選ばれた１つの支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止している状態において、本管を流動する塗布液の流量を計測し、当該計測結果に基づいて、塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量調節機構の所定の流量に対応した調節目標となる目標流量値を設定する。そして、上記設定動作を、他の支管に対して順次行う。 （もっと読む）

【課題】基板上に液状体を安定して塗布することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板の浮上高さを制御するためのエア噴出機構及び吸引機構と、エア噴出孔から噴出されるエアの噴出圧が一定になるように、当該噴出圧を制御するＡＰＣとが設けられているので、基板の浮上量を一定に制御することができる。これにより、気体供給設備の気体供給量が不安定な場合であっても、基板の浮上量が変化することはなく、安定してレジストを基板上に塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】処理タクトの短縮化が可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る塗布装置は、基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、当該基板搬送部によって搬送させつつ前記基板に液状体を塗布するノズルを有する塗布部とを備えた塗布装置であって、前記塗布部に、前記ノズルに対して前記液状体をそれぞれ圧送する複数のポンプが設けられていることを特徴とする。本発明によれば、塗布部のノズルに対して液状体をそれぞれ圧送する複数のポンプが設けられていることとしたので、複数のポンプのうち１つのポンプによって液状体を充填している間であっても、時間を空けることなく、他のポンプによって液状体を供給することができる。 （もっと読む）

【課題】発泡性溶融体がスロットノズル組立体の内部で発泡することを防止する。
【解決手段】幅広の帯状に発泡性溶融体を押し出すスロットノズル組立体（２）において、複数の発泡性溶融体通路（２０）と、複数の発泡性溶融体通路と連通する横分配流路（２１、２２）と、横分配流路内に配置された絞り部材（８）と、発泡性溶融体を吐出するためのスロット（２３）と、横分配流路とスロットとを連通し、スロットへ向けて断面積が徐々に小さくなる収束部分（２２ａ）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】吐出開始時におけるノズルからの高粘度液体の吐出量を抑え、高品質な塗布作業を行う。
【解決手段】 ホットメルト接着剤Ｂを、ポンプユニット３からヒーティングホース４を通して圧送し、塗布ガン２の吐出ノズル８から吐出する。ポンプユニット３の還流路１４に、ホットメルト接着剤Ｂの圧送圧力を調整するためのエア作動式の圧力調整バルブ１５を設ける。圧力調整バルブ１５とエア源６との間にエア供給路２４，２５を並列に設け、作動エア圧力を高圧側に調整するための第１のエアレギュレータ２６、低圧側に調整するための第２のエアレギュレータ２９、第１，第２の切替弁２８，３１及びそれらを制御するシーケンサ７を設ける。シーケンサ７は、塗布ガン２におけるホットメルト接着剤Ｂの非吐出時に、作動エア圧力を低圧側とし、ホットメルト接着剤Ｂの吐出開始時に、作動エア圧力を高圧側に切替える。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンを形成する製造装置において、レジスト膜中のパーティクル発生の防止と、均一なレジスト膜を形成することが可能なレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】レジストを塗布する装置において、複数の塗布ノズル５１，５２に対し、それぞれレジストを圧送する吐出ポンプ２１，２２と、これらの吐出ポンプ２１，２２の内圧を測定するための圧力計３１，３２とを備え、その圧力波形を演算部９で取得してパーティクル数を演算により予測する。もしくは遮光センサー６の電圧波形を演算部９で取得してパーティクル数を演算により予測して、モニタリングシステム１０により予め設定した基準を満たしたノズルのみ使用する。 （もっと読む）

【課題】一定温度の塗布液を一気に且つ大量に塗布できる塗布液供給システムを提供する。
【解決手段】第２の循環経路３のポンプ８は常時駆動し、タンク１内の現像液の温度を一定に維持している。この状態で、第１の循環経路２のポンプ４を駆動し、ポンプ４で汲み出した現像液をスリットノズル６まで送り込む。このとき開閉弁７を閉じておくと、スリットノズル６内に供給された現像液はスリット状吐出口６ｄからカーテン状になって下方に流下し、被処理基板Ｗの表面に供給される。 （もっと読む）

【課題】インク吐出ヘッド間での吐出バラツキが発生することにより、いわゆる不吐出が発生しせず、インク凝集異物が発生しないインク吐出装置を提供する。
【解決手段】複数のインク吐出ヘッドへインクを分配供給するためのインク分配器と、インクを貯留しておくための加圧タンクと、インクを強制的に送液するためのポンプユニットと、インク吐出ヘッド内の圧力を微小調整するための圧力制御装置と、インク分配器とインク吐出ヘッドの間に送液を制御するためのバルブを配置したインク供給系統を備えたインク吐出装置において、送液を制御するためのバルブの開閉のタイミングをその位置毎に調整できる事を特徴としたインク供給系統を備えたインク吐出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】装置コストの大幅なアップなしに、柔軟な素材からなる場合であっても、円筒形部材の内外面を同時に、精度、及び、効率良く塗布を行う円筒状部材の内外面同時塗装方法を提供する。
【解決手段】円筒状部材をその軸が鉛直になるよう保ちながら内外面を同時に塗装する円筒状部材の内外面同時塗装方法において、円筒状部材の内部となるように設けられた、円筒状部材の内面の全周に対し、放射状に第１の塗料を吐出するスリット状の第１のノズルと、第１のノズルに対向するように円筒状部材の外部となるように、円筒状部材の外面の全周に対し、円筒状部材の軸方向に第２の塗料を環状に吐出するスリット状の第２のノズルと、により、かつ、第１のノズルから吐出される第１の塗料が円筒状部材の内面に接触する高さと、第２のノズルから吐出される第２の塗料が円筒状部材の外面に接触する高さと、が同じになる位置で、内外面を同時に塗装する。 （もっと読む）

【課題】 装置を大型化させることなく、一度に２種類の常温架橋硬化型塗料Ａ，Ｂを複数の各塗装ガン２ａ〜２ｄに供給可能な塗料供給装置１を提供する。
【解決手段】 混合器６に備えられた各ミキサー６４ａ，６４ｂから各塗装ガン２ａ〜２ｄに到る塗料通路７２，７４の途中にシリンダタンク８２，８４を設け、ここに供給過剰分の塗料Ａ，Ｂを、各塗料Ａ，Ｂでの塗装中に貯蔵する。そして、ミキサー６４ａから塗料Ａを供給して一部の塗装ガンから吐出させている間に、シリンダタンク８４から一時貯蔵分の塗料Ｂを供給して残りの塗装ガンから吐出させる。
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【課題】薬液から微細なパーティクルを除去する。
【解決手段】第１のベローズポンプ２Ａと第２のベローズポンプ２Ｂから塗布ユニット９に薬液を交互に連続して供給する。一方のベローズポンプ２Ａ（２Ｂ）から薬液を供給している間、他方のベローズポンプ２Ｂ（２Ａ）では、薬液室Ｂ１への薬液の補給を行い、次いで当該薬液室Ｂ１の薬液を循環路８１に循環させて、薬液をフィルタ８３に繰り返し通過させる。フィルタ８３では薬液を繰り返し通過させるうちに、微細なパーティクルがフィルタ８３に分子間力で付着していき、徐々に微細なパーティクルが除去される。 （もっと読む）

【課題】 塗装環境に応じて希釈率を容易かつ正確に調整することができる塗料供給装置、塗料供給方法、及び、塗装方法を提供する。
【解決手段】 原料塗料を輸送する塗料ライン３と、塗料ライン３に分岐接続され、原料塗料に希釈液を混合する希釈液ライン４と、塗料ライン３に原料塗料を送出する原料ポンプ３０と、希釈液ライン４に希釈液を送出する希釈液タンク６とを備える塗料供給装置１であって、入力信号に基づいて希釈液ライン４を開閉する開閉バルブ４０と、開閉バルブ４０の作動を制御する制御装置４１とを備え、制御装置４１は、開閉バルブ４０を開閉制御することにより、原料塗料に混合される希釈液の流量を調整可能に構成されている塗料供給装置１である。 （もっと読む）

基礎をなす基材との関係における実質的に複数の異なる場所において、例えば、複数の異なるタイプのパターン、複数の異なるタイプの塗布技術又はプロセス、又は複数の異なるタイプの周期的動作を有する複数の異なるホットメルト接着剤その他の熱可塑性材料の堆積物を実質的に同時に実現可能である、新しく、且つ、改善されたハイブリッドホットメルト接着剤その他の熱可塑性材料供給システムである。本ハイブリッドシステムは、複数の計量ヘッド供給モジュールを有する計量ヘッドがその上部に取付けられた計量ステーションと、一対のアプリケータヘッド供給モジュールを有する一対のリモートアプリケータヘッドとを有する。 （もっと読む）

【課題】薬液に濃度差が生じた場合においても、適正な薬液供給を行い、高品質な塗工作業を行う。
【解決手段】薬液缶１と薬液供給配管４と液面センサー６を有するカラーフィルター作製装置において、専用の循環装置となる循環配管２と循環ポンプ３を設ける。循環ポンプ３の駆動によって、薬液缶１の底部から上部に掛けて配置した循環配管２による循環経路を通して薬液を循環させることにより、薬液缶１内の薬液の濃度を均一化する。また、循環配管２に切り替えバルブを設け、薬液の循環経路を切り替えて塗工装置側に供給するような構成を設ける。さらに、第１の薬液缶１に加えて交換可能なバッファータンクとしての第２の薬液缶１１を設ける。 （もっと読む）

【課題】排出される液体材料中への気泡の混入を防止できる液体材料供給装置および液体材料供給方法を提供すること。
【解決手段】液体材料供給装置１は、液体材料が充填された液体材料供給用容器１１と、液体材料供給用容器１１から液体材料が供給されるとともに、液体材料を排出するための排出管が接続されたポンプ１２と、液体材料供給用容器１１とポンプ１２との間に設置され、液体材料供給用容器１１からの液体材料が充填されるバッファ容器１３と、バッファ容器１３およびポンプ１２間を流れる液体材料中の気泡を捕捉し、排出する気泡排出部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、加工機械で被印刷体のコーティング液を調量する方法及び装置において、コーティング液の加工温度又は粘度が保証されるように方法並びに装置を改良することである。
【解決手段】本発明は、加工機械の調量装置１において、アプリケータローラ３及び被印刷体を案内する圧胴５を備え、調量装置１はコーティング液を循環させるためにコーティング液の備蓄部７を含む供給配管１９及び戻り配管２０並びに送出ポンプ１１が接続された循環路システムと作用接続され、供給配管１９には温度調節ユニット８が付属し、温度調節ユニット８は少なくとも１つの温度調節装置９並びに温度調節剤１８を含み、備蓄部７に第１の温度センサ１２又は調量装置１の第２の温度センサ１３が配置され、送出ポンプ１１、温度センサ１２、１３及び温度調節装置９はコントロール装置１６と接続され、温度調節装置９又は送出ポンプ１１が選択的に作動する構成である。 （もっと読む）

【課題】複数の塗布液容器の切換えをして、塗布生産を継続して長時間行うにあたって、塗布液の粘度が塗布液容器ごとに大きく異なっても、塗布膜厚分布が均一になるように、切換前後の塗布液の混合比率を徐々に変えつつ、高精度に塗布液を塗布器に供給することと、空気の混入なく、塗布液容器塗布液の切換えを可能とする、簡便な構成でかつ、低コストな塗布液供給装置及び供給方法、ならびにこれらを用いた塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液４０Ａ，４０Ｂを貯える複数の塗布液容器２Ａ，２Ｂから送出される塗布液の量を、それぞれ調整する複数の静的流量調整手段９Ａ，９Ｂと、それに連通し、該複数の塗布液容器から送出された塗布液を合流させる合流手段１０、および該合流手段の下流に配置され、合流後の塗布液を送出する送液手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 糊桶の液位検知センサからの信号を伝える検知信号導線の取り回しが容易な糊液供給ポンプを得る。
【解決手段】 糊桶と該糊桶内に配置された糊上げローラとこれと接触する糊付けローラとを備えた壁紙糊付機に装着されて糊液供給ポンプから送給される糊液を糊桶内に供給する糊液供給ポンプであって、糊液供給ポンプの吐出口に結合された糊液供給ホース内に、糊桶内の糊液の液位を検知する液位検知センサからの検知信号を前記糊液供給ポンプ近傍に配置した該ポンプの駆動を制御するポンプコントローラに伝える検知信号導線が配されていることを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】ポンプの吐出圧力を必要以上に高くすることなく、定圧弁の二次側圧力若しくは二次側流量を一定に保って、定圧若しくは定流量の処理液の供給を実現できるようにすること。
【解決手段】処理液を貯留する処理液タンク３と、処理液を供給する処理液供給ノズル３６とを接続する配管２に、処理液タンク３から処理液を連続的に吐出するベローズポンプ４と、このベローズポンプ４の二次側に位置し、ベローズポンプ４による液流の脈動を抑制する定圧弁５と、を介設する処理液供給システムにおいて、配管２におけるベローズポンプ４の二次側に、ベローズポンプ４による液流の脈動の圧力低下を補完する気体を供給する気体供給源７を接続すると共に、この気体供給源７から配管２内に供給された気体を排出する気体抜き部８ａを有するフィルタ８を介設する。 （もっと読む）

【課題】発泡した材料を基体表面に吐出する方法
【解決手段】被覆される基体表面と材料吐出装置の出口開口との間に相対移動を生じさせるステップと、少なくとも２つの材料成分を混合装置の中で混合して、自由に流動する、発泡する吐出材料を供給するステップと、混合装置と、出口開口の放出断面から流れ方向の下流に置かれた吐出領域との間で差圧を生じさせるステップと、吐出材料を吐出材料の混合装置から出口開口へ搬送するステップと、及び吐出材料を出口開口から基体表面へ放出するステップとを有する方法で発泡した材料を広大な基体へ吐出するとき、発泡体吐出の均一性が、特に塗布の粘稠度と厚さとに関して、望ましくないむらにより損なわれる問題がある。そこで、吐出材料を、出口開口の放出断面から上流の隣接領域で、ある一定の圧力で保持し、この領域の吐出材料の発泡率を、発泡工程の終りに生じる発泡率の１０％未満とすることで解決する。 （もっと読む）