【課題】塗料供給を均一にして、厚さが十分に均一な塗膜を形成することができる塗布装置およびこの塗布装置をもちいる機能性支持体の製造方法を提供する。
【解決手段】塗料タンクとダイコータとが配管で接続され、該配管途中に設けられたポンプにより前記塗料タンクに収容した塗料をダイコータへ供給することによりダイコータから塗料を支持体に吐出し、支持体表面に塗膜を形成する塗布装置において、前記ポンプと前記ダイコータとの間の配管に分岐を設け、該分岐端に所定の体積以上の空気室が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易であり、組付性及びメンテナンス性が良好な噴射設備を提供すること。
【解決手段】液体用配管兼支持用配管と、該液体用配管兼支持用配管を介して供給される液体の噴射流を発生させ、かつ、液体用配管兼支持用配管に設けられつつ該液体用配管兼支持用配管に固定された噴射ノズル本体部を備えた少なくとも１つの噴射ノズルと、回転可能及び／又は揺動可能に駆動される噴射軸と、該噴射軸を覆いつつ噴射ノズル本体部に支持されたヘッド部とを備えて成る噴射設備において、ヘッド部を、噴射ノズル本体部上で、スライド及び／又は係止して、好ましくは着脱可能に支持した。
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【課題】液体の良好な供給および回収を可能にするとともに、液体塗布の品質劣化を抑制した液体塗布装置、液体貯蔵方法及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ポンプの正転／逆転が周期的に繰り返されると、流路内の塗布液が揺動する。ここで、ポンプの正転／逆転の繰り返しの周期はできるだけ短くすることは好ましい。特に、処理液が正の方向に移動している間にポンプを逆転し、処理液が逆の方向に移動している間にポンプ正転するように、ポンプを制御することが好ましい。上記のように、ポンプを制御することにより、ポンプの回転速度がゼロになる時刻Ｔ１と処理液の速度がゼロになる時刻Ｔ２の間に位相差φが生じ、流路内で乱流が発生し、流路の壁面に対して垂直な方向の流れが生じる。これにより、増粘物及び固着物をより効果的に処理液中に取り込むことができる。 （もっと読む）

【課題】複数の液剤を共通流路中で混合して得られた混合塗料を塗装ガンに供給するようになっていて、液剤の個別流路の下流端が共通流路の内壁に凹んだ形態で臨んでいる塗料供給装置において、液剤の個別流路に洗浄液を流さずに洗浄を行う場合でも、個別流路の下流端によって共通流路の内壁に形成されている凹部に残留する液剤を確実に除去する。
【解決手段】合流器１１には、共通流路１２内に臨むように配置され、硬化剤用連通孔３８に向けて洗浄用流体を吐出するノズル４０を設けた。 （もっと読む）

【課題】処理液を均一な厚みで安定して塗布できるようにするとともに、塗布する泡の品質を保てるようにすることができる画像形成装置の提供。
【解決手段】泡２１０を生成する泡生成部２０５と、泡生成部２０５で生成された泡２１０を塗布ローラ２１２に供給する貯留部２１１と、貯留部２１１から余剰泡を回収する排出経路４０１と、排出経路４０１に排出された余剰泡を加熱して余剰泡を液状に戻す加熱手段５０１とを備え、排出経路４０１を通じて排出される泡が液状化された排出液は処理液２０１を収容する容器２０２内に戻している。 （もっと読む）

【課題】装置内に蓄積された金属汚染物質や有機汚染物質を除去することができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板を薬液により洗浄する処理室と、前記処理室内で基板を支持する支持具と、前記処理室内の前記基板に対して薬液を供給する第１の配管と、前記処理室内の前記基板に対してリンス液を供給する第２の配管と、前記第１の配管内及び第２の配管内の少なくとも一方に配管洗浄液を供給する配管洗浄液供給系とを有する。 （もっと読む）

【課題】 各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルや各圧電素子の個体差に起因する各ノズルからの溶液吐出量を正しく検出すること。
【解決手段】 液滴塗布装置１において、塗布ヘッド５の各ノズルＮから吐出される溶液として、実際の製品になる基板Ｋに塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、検査部７が求めた検査溶液の各液滴Ｅの着弾面積Ａに基づいて、各ノズルＮからの検査溶液の各液滴Ｅの着弾面積Ａが互いに同一になるように各ノズルＮからの検査溶液の吐出量を調整するもの。 （もっと読む）

【課題】複数のユースポイントへ液体を分配供給する場合において、各ユースポイントへ供給する液体の流量変動を抑制することができる液体供給システムを提供する。
【解決手段】本液体供給システムには、液体タンク内の液体を下流に供給するための供給ライン１２が設けられており、供給ライン１２には液体を複数の装置等に分配供給するための３本の分岐ラインＬＮ１〜ＬＮ３が接続されている。供給ライン１２において各分岐ラインＬＮ１〜ＬＮ３との接続部位はそれぞれ分岐点Ｃ１〜Ｃ３となっている。本システムには供給ライン１２の液体圧力を検出する圧力センサ３３が設けられており、分岐点Ｃ２と分岐点Ｃ３との中間に当該圧力が検出される圧力検出位置Ｋが設定されている。そして、供給ライン１２の圧力はその検出された圧力に基づいてフィードバック制御される。 （もっと読む）

【課題】新旧機能液の置換を短時間で行うことができると共に、新機能液をエアーに接触させることなく充填することができる機能液供給装置の機能液置換方法および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】メインタンク１８１からサブタンク１２１を経てインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７に至る機能液供給装置の機能液流路に機能液を充填したまま、機能液流路の機能液を新旧置換する機能液供給装置の機能液置換方法であって、メインタンク１８１を旧機能液のものから新機能液のものにシフトすると共に、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズルから機能液を吸引してサブタンク１２１から所定量の機能液を抜き取る抜取り工程、およびメインタンク１８１からサブタンク１２１に所定量の機能液を送液する送液工程から成る部分置換工程を、所定の繰返し回数繰り返して機能液を新旧置換すること。 （もっと読む）

【課題】塗布位置精度及び塗布量精度の低下を抑えることができる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴塗布装置１において、塗布対象物Ｋの塗布面Ｋａ上の塗布区画に向けて液滴を吐出する塗布ヘッド５と、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを塗布面Ｋａに沿う方向に相対移動させる移動機構３，４と、液滴が着弾した塗布区画を撮像する撮像部７と、塗布位置情報及び塗布量情報を記憶する記憶部８ａと、その塗布位置情報及び塗布量情報に基づいて、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させて液滴を順次吐出する塗布動作を行うように塗布ヘッド５及び移動機構３，４を制御する手段と、塗布動作の実行中に、液滴が着弾した塗布区画を順次撮像するように撮像部７を制御する手段と、順次撮像した塗布区画の画像を用いて塗布位置のズレ及び塗布量のズレを求め、前述の塗布位置情報及び塗布量情報を補正する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】断続的な気泡をエアー抜きする場合であっても、液体を無駄に廃液することなく、確実にエアー抜きすることができる液体配管のエアー抜き方法、液体配管のエアー抜き装置および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】Ｔ字継手１０１の流入側に接続された流入側液体主管１０２と、Ｔ字継手１０１の流出側に接続された流出側液体主管１０３と、Ｔ字継手１０１の分岐側に接続された上向きのエアー抜き配管１０４と、エアー抜き配管１０４に介設したエアー抜きバルブ１０５と、流入側液体主管１０２に臨む気泡検出センサ１０７と、を備え、気泡検出センサ１０７により検出した気泡Ｂが、流出側液体主管１０３に達する前にエアー抜きバルブ１０５を開放動作させて、流入側液体主管１０２から流出側液体主管１０３に流れてゆく気泡Ｂ混じりの機能液を、エアー抜き配管１０４に流すようにしたこと。 （もっと読む）

【課題】液柱パイプの内面に付着した液滴による液位センサの誤検出を、有効に防止可能な機能液タンクの管理方法および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】機能液供給手段から供給された機能液を貯留し、機能液滴吐出ヘッド１３に送液するタンク本体と、タンク本体の上部・下部に連通した液柱パイプ７３の液位を介してタンク本体内の機能液の液位を検出する液位センサ７４ｃと、を備えている。そして、液位センサ７４ｃの検出結果に基づいて、所定の液位範囲を維持するように機能液供給手段を制御し、機能液滴吐出ヘッド１３の非吐出動作時において、機能液供給手段を駆動し、液位範囲を越えて機能液を過剰供給する液位上昇工程Ｓ１を実施し、その後、タンク本体から機能液を流出させ、タンク本体の液位を液位範囲に戻す液位下降工程Ｓ２を実施する。 （もっと読む）

【課題】各液体噴射ヘッドから噴射させる液体の種類を容易に変更することができると共に、コストを低減することができる液体噴射ヘッドユニット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル開口１１が並設されたノズル列１４と、内部の流路が開口して外部の流路が接続される液体流路口１５とを有する液体噴射ヘッド１０が複数並設され、複数の液体噴射ヘッド１０の前記液体流路口１５に液体を供給する第１流路４０が形成された第１流路部材と、液体を前記第１流路４０に供給する第２流路３０が形成された第２流路部材と、前記第１流路４０と前記第２流路３０との間に設けられて複数の前記第１流路４０と複数の前記第２流路３０とを所定の連通関係で連通させるための切替部材と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】大きな泡から小さな泡を安定して生成することが難しい。
【解決手段】泡にすることが可能な液体又はゲル若しくは液体及びゲルの両者である処理液２０１から大泡２０９を生成する大泡生成部２０５と、大泡生成部２０５で生成された大泡２０９から塗布に適した小泡２１０を生成する小泡生成部２１１と、被記録媒体１００に小泡２１０を塗布する塗布ローラ２１２とを備え、小泡生成部２１１は大泡２０５が通過することで小泡２１０を生成する複数の管路３１１を有する管路部材３０３を有し、管路部材３０３の複数の管路３１１の出口側は隣り合う管路３１１の径よりも広い隔壁３１２で隔てられている。 （もっと読む）

【課題】検査環境に関わらず、正確に吐出検査を行うことがでる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置を提供する。
【解決手段】機能液の透明な溶媒を導入したインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド３により、透明なガラス板Ｇ上に溶媒を吐出着弾させて、機能液滴吐出ヘッド３における複数の吐出ノズル１９の吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッド３の吐出検査方法であって、ガラス板Ｇ上の着弾予定位置に沿うように、溶媒を捨て吐出する捨て吐出工程と、ガラス板Ｇ上の着弾予定位置に、溶媒を検査吐出する検査吐出工程と、検査吐出より着弾した溶媒の着弾ドットＤを画像認識して、複数の吐出ノズル１９の吐出性能を検査する検査工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】液体保持部が保持している液体を液体噴射部に供給する液体導通材の形状を途中で変更する。
【解決手段】長手方向に沿って複数の突条１１１を互いに間隔を開けて併設し、かつ可撓性材料で形成される長尺状の基材１１０と、突条の上面を覆いつつ基材の巾方向に亘って当該基材に接合される可撓性を有した第１の平板状長尺材１２０と、複数の突条１１１の間隙及び第１の平板状長尺材１２０により構成される液体の流路部とを備え、突条１１１は、流路部の断面積が長手方向の一部において他の部分より小さくなるように成形されている。 （もっと読む）

【課題】塗布直後において、塗布面に縦スジ等のムラが生じることなく、均質な塗布を行う。
【解決手段】バー塗布装置１０は、走行するウエブ１２に塗布液を塗布するバー１６と、バー１６を回転自在に支持する支持部材２０と、支持部材２０に対しウエブ１２の走行方向の上流側と下流側に設けられた第１ブロック２２と第２ブロック３２とを備え、第２ブロック３２のウエブ１２と対向する傾斜面３２Ａの水平距離が１ｍｍ〜２０ｍｍの範囲内である。 （もっと読む）

【課題】基板上に供給されるレジスト液中の異物を低減し、レジスト液塗布後の基板の欠陥を低減する。
【解決手段】レジスト液供給装置２００は、レジスト液を貯留するレジスト液供給源２０１を有している。レジスト液供給源２０１は、供給管２０２を介して塗布ノズル１４２に接続されている。供給管２０２のレジスト液供給源２０１側には、供給管２０２内のレジスト液を加熱するヒータ２１０が設けられている。ヒータ２１０は、レジスト液を２３℃〜５０℃に加熱することができる。供給管２０２の塗布ノズル１４２側には、供給管２０２内のレジスト液を冷却する温調配管２１４が設けられている。温調配管２１４は、レジスト液を２３℃に冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】液体保持部が保持している液体を液体噴射部に供給する液体導通材の形状を途中で変更する。
【解決手段】長手方向に沿って複数の突条１１１を互いに間隔を開けて併設し、かつ可撓性材料で形成される長尺状の基材１１０と、突条の上面を覆いつつ基材の巾方向に亘って当該基材に接合される可撓性を有した第１の平板状長尺材１２０と、複数の突条１１１の間隙及び第１の平板状長尺材１２０により構成される液体の流路部とを備え、突条１１１は、流路部の断面積が長手方向の一部において他の部分より小さくなるように成形されている。 （もっと読む）

【課題】混合されることで発熱反応を呈する複数種の処理液を十分に混合し、その結果得られた高温の混合処理液を基板に供給すること。
【解決手段】処理液供給ノズル１０４は、横断面が円状の円筒状内壁面２９を有する混合室２１と、混合室２１に硫酸を導入する硫酸導入経路１２２と、混合室２１に過酸化水素水を導入する過酸化水素水導入経路１２３と、混合室２１で生成されたＳＰＭを吐出する吐出口２４とを備えている。硫酸導入経路１２２および過酸化水素水導入経路１２３は、それぞれ、円筒状内壁面２９の周方向に沿って当該円筒状内壁面２９に接続されている。混合室２１の内部に導入された硫酸および過酸化水素水は、円筒状内壁面２９に沿って流れ、円筒状内壁面２９の周方向に回転する渦流となって流下していく。 （もっと読む）