【課題】閉弁時に開閉弁の膜状部が揺動部材から付与される押圧力によって疲弊することを抑制することが可能な液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェット式プリンタは、インクを噴射する記録ヘッドにインクを供給するための液体供給路と、該液体供給路を開閉する際に可撓性を有する第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂがそれぞれ変位する第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８と、第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８の閉弁時に第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂをそれぞれ閉弁方向へ変位させるための押圧力を付与するために揺動する作動板７３及び作動板７２と、第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８の閉弁時に作動板７３及び作動板７２からの押圧力をそれぞれ受けて第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂと直交する方向に移動して該第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂを閉弁方向に変位させる第１中継部材４９及び第２中継部材５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルから吐出される処理液の状態を正確に測定する。
【解決手段】スリットノズル４１の二次側に設けられたエア抜き用の配管４２を設ける。配管４２とスリットノズル４１の一次側に設けられた配管６３とを直接連通させず独立させるとともに、配管４２を直接スリットノズル４１内の流路４１０と連通させる。配管４２に圧力センサ４３を設置し、測定値を制御部８に伝達する。ポンプ６１からスリットノズル４１にレジスト液を供給し、そのときの配管４２内の圧力を圧力センサ４３によって測定する。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の向上による高性能化を容易に図ることのできるアキュムレータおよび塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置は、塗料タンクと、塗料を移送するためのポンプと、塗料を循環させるための液体供給路および液体戻し路と、液体供給路を流動する塗料の脈動を吸収するためのアキュムレータ２０と、アキュムレータ２０にガスを供給するためのガス供給路とを設ける。アキュムレータ２０は、カバー体２２にガス吸気弁３３とガス排気弁３４とを設けるとともに、液体の圧力が周期的な変動範囲を超えて変化した場合、この液体の圧力の変化をダイアフラム２３により検知して、液体の圧力の変化によるダイアフラム２３の変位に連動させてガス吸気弁３３あるいはガス排気弁３４を開閉させることでガス室２５の圧力を液体の圧力に合わせて自動調節するように形成する。ガス排気弁３４の下流側に、ガス排気孔９３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】樹脂フィルムの製造工程中において、比較的高粘度の塗液を、装置構成が単純で操作および保守が簡易なロッドコート法によって塗布することが可能な、塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】樹脂フィルムの上面側に配置した塗工ロッドを、該塗工ロッドの長手方向に間欠的に配置した複数対のローラを有する支持体で外接支持しながら前記樹脂フィルムに押し付けて前記樹脂フィルムと略同速かつ順方向に回転させると共に、前記塗工ロッドの下流側かつテンターの上流側に配置したガイドロールまたは第２塗工ロッドで前記樹脂フィルムの下面を支持し、前記樹脂フィルムの上面に連続的に計量供給される前記塗液を前記塗工ロッドで平滑化する。 （もっと読む）

【課題】 塗料供給設備におけるポンプ消費動力を効果的に低減する。
【解決手段】 塗料供給ポンプＰと、塗料供給ポンプＰの吐出側に接続した塗料往路４と、塗料供給ポンプＰの吸入側に接続した塗料還路５との夫々を複数種の塗料Ｔごとに設けて、これら塗料種ごとの塗料往路４及び塗料還路５を複数の塗装ガン装備部２にわたらせて延設し、塗装ガン装備部２の夫々において、塗料種ごとに、塗料往路４と塗料還路５とを短絡的に接続する塗料バイパス路１２を設けて、その塗料バイパス路１２から塗料取出路１３を分岐し、この塗料取出路１３を開閉する塗料取出弁１５を設ける塗料供給設備において、塗料種ごとに設けた塗料供給ポンプＰ夫々の出力を調整する運転操作部２５を設け、この運転操作部２５を検出情報又は設定スケジュールに基づいて塗装ガン装備部２の運転条件の変化に応じ塗料供給ポンプＰ夫々の出力を自動調整するものにする。 （もっと読む）

【課題】流体の垂れ落ちを防止でき、洗浄が効率的に行え、装置の小型化及び簡素化が図れる塗料供給装置を提供する。
【解決手段】塗装ガン１６に塗料カートリッジ１３内の塗料１２を供給する塗料供給装置１０は、塗料カートリッジ１３を着脱位置へ着脱自在に固定するためのカートリッジ固定部１４と、塗料カートリッジ１３内の塗料１２を押出して塗料カートリッジ１３に設けられた塗料吐出口から塗装ガン１６側へ排出する流体排出部２８と、塗料吐出口と、塗装ガン１６側の塗料供給通路１７に通じる塗料供給口とを接続する接続装置と、塗料カートリッジ１３側と塗料供給通路１７側とを別々に分離しない状態で塗料吐出口と塗料供給口とを洗浄可能な接続部洗浄部３４と、塗料供給通路１７を洗浄可能な塗料供給通路洗浄部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】適応が困難であったゴミを嫌う液、粒子成分を含む液、時間経過で硬化促進する液、嫌気性接着剤等を適応出来る補給方式を提供する。
【解決手段】ブロック１に大シリンジ１２と、小シリンジ１４と、ノズル１５を夫々連結するポート６を設け、夫々のポート６に繋がるブロック１内の管路５を内部で連結し、大シリンジ１２の管路５にシリンジ１２からの流入のみを許し、逆方向の流れは止めるチェツクバルブ１６を設置している。 （もっと読む）

【課題】複数のインク吐出ヘッド、インクを貯留するインクマニホールド、を備えたインク分配部と、インク加温する加温部と、インクマニホールドを密閉する蓋とからなるインク分配器を搭載したインク吐出装置において、インクマニホールドの容積を極力小さくする、インクマニホールド内部の曲面精密仕上げによりインク凝集異物の発生を抑制させ、インク分配器自体を小型化するインク分配器を搭載したインク吐出装置を提供すること。
【解決手段】前記インクマニホールドの開口部が、インクマニホールド内のヘッド分配供給口の開口部と同一方向で相対しており、且つ前記加温部がインクマニホールドの開口部上面に配置し、加温部が蓋として兼用され、尚且つ前記ヘッド分配供給口が２列千鳥に配置されており、前記インクマニホールドが２列千鳥の配置に合わせて２列に分岐され形成されたインク分配器を搭載したインク吐出装置。 （もっと読む）

【課題】短時間で残留液体の回収が可能な液体回収機構および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置１は、材料液（液体）４０を貯留する材料液タンク４１と、材料液４０を液滴として吐出するヘッド部２０と、材料液タンク４１とヘッド部２０との間に設けられヘッド部２０との水頭差を維持するためのサブタンク４２と、材料液タンク４１からヘッド部２０へ材料液４０を供給するための供給管４６とを備え、さらに、供給管４６と連通するタンク回収管４７と、材料液４０をタンク回収管４７を通して回収するためにサブタンク４２へ圧力を付与する圧力付与部６０と、圧力付与部６０とサブタンクとを接続するサブタンク圧力管６５と、回収した材料液４０を貯留する回収タンク４３とを有する材料液回収機構（液体回収機構）と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】廃棄する薬液をなくすことができ、清浄な薬液を塗布することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】この薬液供給装置は被処理物Ｗにノズル１１から薬液を塗布するために使用される。ノズル１１は移動ヘッド１２に設けられており、塗布位置と待機位置との間を往復動する。薬液供給ユニット１４の薬液タンク１８とこの中の薬液を吐出するポンプ１６とを有し、吐出された薬液はフィルタ２２により濾過されて供給チューブ２１によりノズル１１に向けて供給される。移動ヘッド１２にはノズル１１から薬液を塗布する塗布状態と塗布を停止する停止状態とに作動する塗布バルブ２３が設けられており、塗布バルブ２３の弁室は循環チューブ２７によりバッファタンク１９に接続されている。循環チューブ２７にはこの流路を開閉する循環バルブ２８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】エアフィルタに対して網目を塞ぐことなく塗布できる塗布装置の提供。
【解決手段】網状の薄膜部材に直接的に接触する表層部に可撓性がある多孔質材料を採用することで、薄膜部材の網目が閉塞されることが防止できることを発見し、その知見に基づき発明を完成した。すなわち、厚み方向に貫通する多数の孔が形成されている薄膜部材Ｗの表面に塗膜を形成する塗布装置であり、薄膜部材Ｗを挟持し且つ薄膜部材Ｗに接する側の表面に付着させたインクを転写する第１転写部材１１及び第２転写部材１１を有し、第１転写部材１１及び第２転写部材１２の少なくとも一方の表層部は、可撓性がある多孔質材料から構成される多孔質層をもつ。インクの膜が網目に付着する際に薄膜部材の網目が閉塞される場合があるが、可撓性がある多孔質材料からなる表層部である多孔質層は薄膜部材の網目に接するときに形成されたインクの膜を破ることができる。 （もっと読む）

【課題】 小型ながら複数本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる塗布ノズルおよび該ノズルの製造方法を提供する。
【解決手段】 シート部材８２に設けられた複数の吐出孔８２２とノズル本体８１に設けられた複数の貫通孔８１１とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されるとともに、各貫通孔８１１に塗布液を選択的に送給可能となっている。このため、１つの塗布ノズル８から複数本の塗布液が連続的に吐出可能となっている。また、貫通孔８１１および吐出孔８２２のペアが複数、しかも互いに独立して設けられているため、塗布液を複数の吐出孔８２２から選択的に吐出させることができる。したがって、塗布ノズルの大型化を抑えつつ３本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる。 （もっと読む）

【課題】塗装ガンへの塗料の供給が停止している間も、複数の液剤を十分に混合する。
【解決手段】撹拌室１６内のロータ４１は、回転軸５０から径方向外向きに突出するとともに回転方向に対して傾いた複数の撹拌片５１を有し、撹拌室１６内には、回転時にロータ４１が占める円柱状空間５２を包囲する筒状空間５３が形成されている。複数の流入口２０Ａ，２０Ｂから撹拌室１６に流入した主剤と硬化剤は、円柱状空間５２内を流出口３０側へ向かう経路と、反転して筒状空間５３内を流入口２０Ａ，２０Ｂ側へ向かう経路とを交互に通ることによって撹拌室１６内で対流するので、塗装ガン３４への二液混合塗料の供給が停止している間も、撹拌室１６内において二液混合塗料の流れが滞ることがない。 （もっと読む）

【課題】 装置構成を大幅に複雑化させることなく、塗布膜形成装置で溶剤を使用する全ての用途において、最適な特性を有する溶剤を供給できる溶剤供給機構を提供する。
【解決手段】 レジスト塗布処理装置１００は、レジストに対して高い溶解性を示す高溶解性の溶剤Ａ、高揮発性の溶剤Ｂ、低揮発性の溶剤Ｃ、低表面張力性の溶剤Ｄを貯留する溶剤タンク５５ａ〜５５ｄを備えている。２つ以上の溶剤タンク５５ａ〜５５ｄから所定の比率で供給された溶剤は、スタティックミキサー５４で十分に混合された状態となって、プリウエットノズル５０等の目的の溶剤使用部へ向けて送液される。 （もっと読む）

【課題】インクの循環部分の観察が可能なインク塗布装置を長期間に亘って放置した場合であってもインクの良好な循環と吐出を維持することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明は、電子線硬化性樹脂を含むインクを循環させ塗布対象物５に向って吐出するためのインク循環手段６が、内部観察用の窓部１１を有する筐体３に収納されたインク塗布装置であって、筐体３に、入射する電子線のうち電子線硬化性樹脂を硬化させる波長の電子線を選択的に遮断するように構成された窓部１１が設けられている。窓部１１は、筐体３に取り付けられた板状の窓部材１２を有し、窓部材１２の外側の表面に、電子線硬化性樹脂を硬化させる波長の電子線を選択的に遮断する電子線遮断膜１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】処理液を液圧一定に供給して処理精度の向上を図り、単一の処理液貯留容器の交換を行うことができ、処理液貯留容器が空になっても処理を止めることなく継続して処理液による連続処理を行えるようにする。
【解決手段】処理液貯留容器１とリザーバタンク５と接続する第１の処理液供給管路に、液圧センサ１０と第１の開閉弁Ｖ１を介設し、処理液貯留容器と加圧手段であるＮ２ガス供給源３とを接続する主加圧管路２に、電空レギュレータ２０を介設し、リザーバタンクとＮ２ガス供給源とを接続する補助加圧管路９に、加圧用開閉弁Ｖ３を介設する。液圧センサによって検知された液圧の信号を受け、その検知信号に基づいて電空レギュレータの加圧側圧力を調整し液圧が一定になるように制御すると共に、調整する圧力値と液圧センサで検知される圧力値との差圧から処理液無しを判定し、加圧用開閉弁と第１の開閉弁Ｖ１とを切り換え制御する制御部３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】タクトタイムが短くて、生産性の高いかつ高品質な塗布膜形成が可能な塗布装置および塗布方法、並びにこれらを用いたディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】液体供給手段と、塗布液を吐出する吐出口および塗布液を排出する液体排出口を有する塗布器と、液体排出口と接続され液体排出口と略同一の高さまたはそれよりは低い位置にあって途中に開閉バルブを有してなる液体排出経路と、液体排出経路の出口から排出された廃液を溜める液体排出用タンクと、被塗布部材を保持する保持手段と、塗布器と保持手段とを相対的に移動させる移動手段と、を備えた塗布装置を用いて、塗布器と被塗布部材を相対移動させて被塗布部材の表面に塗膜を形成する塗布方法であって、被塗布部材の表面に塗膜を形成する前、および／または形成した後に、塗布液を供給しつつ液体排出経路の開閉バルブを開いて液体排出口から塗布液を排出する塗布方法。 （もっと読む）

【課題】 流体をタンクから吐出機に供給するための大掛かりな配管設備や、流体を移送するための高圧ポンプが不要であり、吐出機から吐出させる流体の種類を簡単に変更することができる塗布装置を提供すること。
【解決手段】 シール剤等の流体を供給するための第１〜第３供給部１４、１５、１６と、第１〜第３のそれぞれの供給部１４等に対して流体用継手１３を介して着脱自在に装着される第１〜第３吐出機１７、１８、１９とを備え、第１〜第３のそれぞれの吐出機１７、１８、１９は、装着された供給部１４、１５、１６から供給される流体を貯留するためのタンク３２を有し、このタンク３２内の流体を吐出できるものであって、第２継手３９を介してロボット２０のアーム２０ａに着脱自在に装着可能な構成。 （もっと読む）

【課題】塗布停止時におけるスリット内の塗布液の乾燥防止や目詰まり防止をメンテナンスフリーで実現するスリットコータの提供。
【解決手段】ノズルを構成する対となったリップ部１２，１３相互間にスリット１５を介在させてなるスリットコータ１１と、塗布液Ｌを貯留する貯液タンク２１と、該貯液タンク２１からスリット１５内へと塗布液Ｌを送る送液管３１との間に形成される液流路系Ｆに対し、スリットコータ１１が塗布停止中に振動を与える振動付与手段４１を配設して、液流路系Ｆ中の塗布液Ｌにおける大気との接触面Ｌ_１の乾燥を自動阻止自在とした。また、スリットコータ１１と、塗布停止時にスリット１５における液吐出口１６を閉止すべく真空吸引自在に配設される蓋体と、該蓋体の内側面と液吐出口１６との間に配設されて施蓋時に液吐出口１６に接触する吸湿清拭材とを少なくとも具備させてスリット１５の目詰まりを自動阻止自在とした。 （もっと読む）

【課題】液滴噴射塗布ヘッドモジュールへの液体の充填を手間をかけずに容易に行うことである。
【解決手段】液滴噴射塗布ヘッドモジュール３は、液体を収容する液室とこの液室に連通される複数のノズルとを有し、ノズルから液滴を噴射する液滴噴射塗布ヘッド１３と、液室に供給する液体を収容して液室に連通されるタンク１４と、を備え、液滴噴射塗布ヘッド１３とタンク１４とが連結部材１７により連結され、連結部材１７と液滴噴射塗布ヘッド１３との間に回転式継手１８が介装されている。 （もっと読む）