【課題】ヘッドにおけるインクの不吐または漏れを抑制し、安定な状態とすることができるインクジェット描画装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェット描画装置３０は、吐出対象へインクを吐出するためのヘッド１およびヘッド１を吐出対象に対し平行な方向に回転させるステージ回転部４を有しており、ヘッド１へ供給されるインクの経路となるインク供給管１１がヘッド１に連結されており、インク供給管１１にインクの供給量を制御するヘッド弁６が備えられており、ヘッド１とヘッド弁６とが一体として回転する構造である。 （もっと読む）

【課題】大容量の容器を使用する場合においても容器の破損を防止することができる粘性液体の吐出装置を提供する。
【解決手段】上端部に開口部を有する略円筒状の容器３０の内部に貯留された粘性液体を空圧により吐出する粘性液体の吐出装置において、容器３０の開口部３０ａに嵌脱自在に挿入された蓋１８によってこの容器３０を下方に押し下げ、容器保持部１５を構成する筒部１６ｃの内円筒状の凹部１６ｅの底面に設けられた当接面１６ｆに、容器３０の下面３０ｅを当接させることによって容器３０を下方から保持して、開口部３０ａに設けられた鍔部３０ｂを筒部１６ｃと当接させない構造とする。これにより、容器３０を安定して保持することができ、大容量の容器３０を使用する場合においても容器３０の破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、且つフィルタ自体から異物が発生することがないフィルタを提供することを課題としている。
【解決手段】円形シート状のフィルタエレメント２１１と、フィルタエレメント２１１を保持するリング状のエレメントホルダ２１２と、から成るフィルタ１８１であって、エレメントホルダ２１２は、内周面に、フィルタエレメント２１１がセットされるセット面を有するエレメント装着段部２１６を周設した環状の受けホルダ２１３と、セット面に対しフィルタエレメント２１１を押圧固定する押圧面を有し、エレメント装着段部２１６に圧入される環状の圧入部２１７を有する環状の押えホルダ２１４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】短時間で、且つ処理溶液に混入している異物を確実に濾過することができる浸漬処理装置および浸漬処理装置の運転方法を提供する。
【解決手段】貯留した処理溶液により、浸漬した処理対象物の表面処理を行う処理タンク２と、処理タンク２以上の容量を有するバッファタンク３と、処理タンク２とバッファタンク３とを相互に接続する循環流路４と、処理タンク２とバッファタンク３との間に処理溶液を送液する送液手段と、循環流路４に介設したフィルタ６と、送液手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、処理タンク２に貯留された処理溶液の濾過時に、処理タンク２に貯留している全ての処理溶液をバッファタンク３に送液した後、バッファタンク３から処理タンク２に送液する。 （もっと読む）

【課題】複数の液体種に対応した供給流路間における気泡の成長バランスに配慮された液
体吐出装置および液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、ブラック、マゼンタ、シアン、イエローの各色インクに
対応した供給流路（フィルタ室）を形成する針部材３１ａ〜３１ｄを備えており、針部材
３１ａ〜３１ｄは、対応するインク種に応じてガス透過性が異なるように素材を違えて形
成されている。フィルタ室４４ａ〜４４ｄに滞留する気泡５１ａ〜５１ｄは、インクの自
己分解に伴うガス発生、および外郭４５ａ〜４５ｄを介したガス透過によって、好適なバ
ランスを保って一様に成長する。 （もっと読む）

【課題】 塗布部の始端及び終端の膜厚形状精度の向上、さらには該始端から終端に至る膜厚の均一化を可能にする。
【解決手段】 ポンプ１４から塗工ヘッド１２へ塗布液を供給する塗布液供給路１５に塗布液吸引吐出手段１７を構成するシリンダ１８を接続すると共に、このシリンダ１８の前に供給弁１６及び戻し弁２２を設け、この供給弁１６及び戻し弁２２の開閉とシリンダ１８に嵌入したピストン１９の上下動により、ポンプ１４から送り出される塗布液及び塗工ヘッド１２側の塗布液をシリンダ室１８Ａ内に一時的に吸引した後に塗工ヘッド１２へ送り出すように吐出する。この吸引・吐出時に、ピストン１９の昇降速度を制御部２４及びサーボモータ２１を用いて予め設定したプログラムにより適宜なカーブを描くように制御して塗工ヘッド１２へ供給する塗布液の流量及び塗工ヘッド１２側から吸引する塗布液の量を適正な値となるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】 空気だまりと塗布液の滞留部分を生じることなく塗布液に混じっている空気を排除するとともに、塗布液を複数のインクジェットヘッドに均等に分配可能な分配器を備えたインクジェットヘッドの塗布液供給装置及び塗布液供給方法を提供する。
【解決手段】 塗布液を吐出する複数のインクジェットヘッドと、塗布液が充填された塗布液タンクと、塗布液タンクの塗布液を一時的に定容量保存可能なサブタンクと、サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに分配する分配器を備えたインクジェットの塗布液供給装置であって、前記分配器は、一つの入口とインクジェットヘッドと同数の出口のみを備え、かつ出口は重力方向の上向きに配されるとともに、入口と各出口を接続する流路は略同一断面形状を有するものであるインクジェットヘッドの塗布液供給装置。 （もっと読む）

【課題】 カートリッジの交換が容易で、使い勝手が良好な、さらに、ヘッドへの塗布液供給流路部に気泡が入らない、安定した液滴の吐出が可能となる液滴塗布装置を提供することである。
【解決手段】タンク6，7とタンク6又は7に塗布液を補給する補給タンク１２１にを有するカートリッジ収納部3と、塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部4と、タンク6の塗布液をヘッド部4に供給して、ヘッド部4を通過した塗布液をタンク7に戻す塗布液供給循環部2と、塗布液供給循環部2を介して洗浄液をヘッド部4に供給する洗浄液供給部29と、塗布液供給循環部2の一部から廃液を排出する廃液排出部33と、洗浄液供給部2から供給する洗浄液で塗布液供給循環部2とヘッド部4を洗浄する際に洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、塗布液供給循環部2により塗布液を循環する際にタンク6，7内を減圧する圧力切替部を備え、タンク6,7及び補給タンク121が塗布液供給循環部2に交換可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】塗布直後において、塗布面に縦スジ等のムラが生じることなく、均質な塗布を行う。
【解決手段】
走行するウエブ１８に塗布液を塗布するバー２０と、バー２０の下側に設けられ、該バー２０を回転自在に支持するバー受け部材２２と、バー２０よりも帯状体走行方向の上流側に設けられ、ウエブ１８に塗布する塗布液を供給するスロット３４と、バー２０よりも帯状体走行方向の下流側に設けられ、バー表面を流下する余剰塗布液を排出するスロット４０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液状体の交換の際、交換後の液状体に他の液状体が混ざることを防止する。
【解決手段】液状体を流通させる複数の流入路１１２（第１流通路）を有する弁座部材１
１０（第１部材）と、弁座部材１１０に対して回転可能かつ回転軸方向に移動可能に設置
され、複数の流入路１１２のいずれかと連通し、液状体を流通させる流出路１２１（第２
流通路）を有する回転弁１２０（第２部材）と、回転弁１２０を移動させる駆動部１３０
とを備え、回転弁１２０は、弁座部材１１０に対する回転軸方向の移動で、その回転位置
に応じて流出路１２１が複数の流入路１１２のいずれかと選択的に連通する連通位置と、
複数の流入路１１２を塞ぐ閉鎖位置とに配置されるようにした流路切換器１００である。 （もっと読む）

【課題】 ノズルアセンブリー、これを有する処理液供給装置、及びこれを用いる処理液供給方法が開示される。
【解決手段】 ノズルアセンブリーはハウジング、前記ハウジング内部に収納され、異種の処理液が流れる複数の流路を形成する処理液供給ライン、及び処理液供給ラインと各々接続され、いずれかの１つの端部が基板に向かう際、他の端部は基板から離れるように前記ハウジングの一端部から延長される噴射ノズル含む。従って、ノズルアセンブリーは単純化された構造を有する一方、基板から離れた方向に配置された噴射ノズルの汚染が抑制される。 （もっと読む）

【課題】各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量調節機構によって当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する。供給源から本管へ供給された塗布液を、複数の支管から選ばれた１つの支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止している状態において、本管を流動する塗布液の流量を計測し、当該計測結果に基づいて、塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量調節機構の所定の流量に対応した調節目標となる目標流量値を設定する。そして、上記設定動作を、他の支管に対して順次行う。 （もっと読む）

【課題】機能液タンクの交換により生ずる新旧機能液の交換に際し、描画品質の低下を抑制することができる。
【解決手段】複数のヘッドユニット１３に機能液を供給するタンクユニット１２２と、上流側をタンクユニット１２２に接続した主流路１３１、および分岐部１３２を介して主流路１３１から分岐し下流側を複数のヘッドユニット１３に接続した同一容積の複数の個別流路から成る機能液供給流路と、新機能液が分岐部１３２に到達したことを検出する到達検出手段１４０と、を備え、新機能液が分岐部１３２に到達したことを検出した後、描画休止時に各ヘッドユニット１３を制御し、機能液消費量が最大の１のヘッドユニット１３と機能液消費量が同一になるように他のヘッドユニット１３に捨て吐出を行わせる。 （もっと読む）

【課題】機能液タンクの交換により生ずる新旧機能液の交換に際し、描画品質の低下を抑制することができる。
【解決手段】新旧のメインタンク１８１の交換により、複数のヘッドユニットに機能液を連続的に供給するタンクユニット１２２と、上流側をタンクユニット１２２に接続した主流路１３１、および主流路１３１から分岐して下流側を複数のヘッドユニットに接続した複数の個別流路１４３から成る機能液供給流路１４５と、を備え、複数の個別流路１４３は、複数の個別流路１４３の総容量を各ヘッドユニットの個別機能液消費量で比例配分した容量を有している。 （もっと読む）

【課題】機能液タンクの交換により生ずる新旧機能液の交換に際し、描画品質の低下を抑制することができる。
【解決手段】第１メインタンク１８１ａに接続し、１０方に分岐した第１タンク側流路１３４ａと、第２メインタンク１８１ｂに接続し、１０方に分岐した第２タンク側流路１３４ｂと、上流側を、相関する、それぞれで１０方に分岐した流路の合流部１３５に接続され、下流側を、複数のヘッドユニットに接続した１０組の個別流路と、各個別流路に流入する機能液を旧機能液と新機能液との間で切り換える１０組の流路切換機構１４３と、１０組の流路切換機構１４３を個別に制御する制御部と、を備え、新機能液が複数のヘッドユニットに同時に到達するように複数の流路切換機構１４３を個別に制御する。 （もっと読む）

【課題】均一な粘度の液体を吐出することができる液体吐出装置及び液体吐出方法を提供する。
【解決手段】所定の液体（塗布溶液）を吐出する吐出口（ノズル開口３１）を有する液体吐出部（塗布ヘッド３０）と、液体吐出部（塗布ヘッド３０）に液体供給管（供給チューブ５０）を介して接続され、液体吐出部（塗布ヘッド３０）に供給される液体（塗布溶液）を貯留する液体貯留部４０と、液体貯留部４０を吐出口（ノズル開口３１）の下方に移動させて液体吐出部（塗布ヘッド３０）及び液体供給管（供給チューブ５０）に供給された液体（塗布溶液２）を液体貯留部４０内に戻した後、液体貯留部４０を上方に移動させて液体（塗布溶液２）を再度前記液体吐出部（塗布ヘッド３０）に供給することにより液体（塗布溶液）を攪拌する第１の攪拌手段（昇降手段６０，制御部７０）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】汚染及び／又はパターンの欠陥を軽減できる少量液体ディスペンサシステムを提供する。
【解決手段】少量レジストディスペンサは、スピンコータのノズルに、及びスピンコータへの液体供給を制御するために弁を開閉する制御装置出力部に接続可能な逆吸引可能圧力作動弁を含む。ディスペンサは、ガス圧を与えることによって瓶内の流体を加圧する瓶用のホルダを備える。ディスペンサは、例えば、１００ｍｌから３００ｍｌのレジストのレジストサンプルを含んだレジストサンプル事前充填瓶で使用するのに適切である。 （もっと読む）

【課題】作業性の向上を図る。
【解決手段】
第１流路を形成する第１流路形成部材には、第１流路を他の流路に接続するための第１継ぎ手と、ヘッド用の信号を伝達するための第１コネクタとを設ける。ヘッドと第１流路形成部材との間に配置され、第２流路を形成する第２流路形成部材には、第１継ぎ手に接続されることで第２流路を第１流路に連通させる第２継ぎ手と、第１コネクタに接続されることでヘッド用の信号を伝達する第２コネクタとを設ける。第１流路形成部材との間の所定方向への相対的な移動により、第１継ぎ手と第２継ぎ手との脱着と共に第１コネクタと第２コネクタとの脱着が行われる。 （もっと読む）

【課題】 圧力状態を均一にして液滴の吐出状態を安定させることが可能であり、また、液種の制限を受けずに容易に様々な液種を変更使用することのできる液滴吐出装置及び液滴吐出装置を用いた液滴の吐出方法並びに液体貯留ユニットを提供すること。
【解決手段】 液滴吐出ヘッド用液体貯留ユニット２０は、電気駆動素子１２の駆動により吐出口１３から液滴を吐出させるヘッド１０に接続され、貯留する液体Ｗをヘッド１０へ供給する。液体Ｗを貯留するタンク３０と、このタンク内部の貯留液内に外気を導入する管路ＦＬと、タンク内部を減圧する減圧具５４とを備える。管路ＦＬの貯留液内端３５ａが吐出口１３とほぼ同じ高さである。 （もっと読む）

【課題】機能液供給流路を機能液滴吐出ヘッドに簡単且つ迅速に離接させることができる供給流路接続装置および機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置を提供する。
【解決手段】キャリッジプレート３９上に下向きにセットされた機能液滴吐出ヘッド１に対し上方から臨んで、機能液供給手段３６に連通する機能液供給流路３７を接続する供給流路接続装置３８であって、機能液供給流路３７に連通し、機能液滴吐出ヘッド１の機能液導入口２に液密に接続される接続口７２と、接続口７２を保持する接続口ホルダ２００と、接続口ホルダ２００を、接続口７２が機能液導入口２に接続される接続位置と接続口７２が機能液導入口２から接続解除される接続解除位置との間で、上下方向に相対的に移動させる上下動手段７４と、を備えたものである。 （もっと読む）