【課題】本発明は、塗布材料の流動圧力による容積変化をなくして、均一な塗膜を確実に得て、歩留まりを向上させることのできる塗布ヘッド及びそれを用いた塗布方法及び塗布装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、材料供給口から塗布材料を供給してスリット状の開口部から塗布材料を吐出する塗布ヘッドにおいて、材料タンクから塗布材料を吸入して材料吐出口から前記材料供給口に直接塗布材料を吐出する材料供給部を設けることにより、塗布材料の吐出を精密に制御することを特徴とする塗布ヘッドの構成とした。 （もっと読む）

【課題】排出口から粉体材料が垂れ落ちることを防止し、均一且つスムーズに供給可能なスクリュー型材料供給装置を提供する。
【解決手段】粉体材料Ｐを収容するホッパーＨの下方に、先端を開放したトラフケーシングＴ及びスクリュー羽根Ｗを周設した回転軸Ｓを設けたスクリュー型材料供給装置において、前記排出口Ｔ１に配置され、且つ、前記回転軸Ｓが貫通される軸孔を開設すると共に、前記トラフケーシングＴの排出口Ｔ１を封止可能な回転押え蓋１と、前記回転押え蓋１の軸孔を貫通して前記回転軸Ｓが前方に延設され、且つ、この延設された回転軸Ｓの延設部Ｓ１に固定して、該回転軸１と共回転されるバネ受部２と、前記バネ受部２と回転押え蓋１との間に介在して連結され、前記回転押え蓋１を排出口Ｔ１に向けて弾性付勢してなる弾性バネ３と、を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 塗装環境に応じて希釈率を容易かつ正確に調整することができる塗料供給装置、塗料供給方法、及び、塗装方法を提供する。
【解決手段】 原料塗料を輸送する塗料ライン３と、塗料ライン３に分岐接続され、原料塗料に希釈液を混合する希釈液ライン４と、塗料ライン３に原料塗料を送出する原料ポンプ３０と、希釈液ライン４に希釈液を送出する希釈液タンク６とを備える塗料供給装置１であって、入力信号に基づいて希釈液ライン４を開閉する開閉バルブ４０と、開閉バルブ４０の作動を制御する制御装置４１とを備え、制御装置４１は、開閉バルブ４０を開閉制御することにより、原料塗料に混合される希釈液の流量を調整可能に構成されている塗料供給装置１である。 （もっと読む）

【課題】 装置を大型化させることなく、一度に２種類の常温架橋硬化型塗料Ａ，Ｂを複数の各塗装ガン２ａ〜２ｄに供給可能な塗料供給装置１を提供する。
【解決手段】 混合器６に備えられた各ミキサー６４ａ，６４ｂから各塗装ガン２ａ〜２ｄに到る塗料通路７２，７４の途中にシリンダタンク８２，８４を設け、ここに供給過剰分の塗料Ａ，Ｂを、各塗料Ａ，Ｂでの塗装中に貯蔵する。そして、ミキサー６４ａから塗料Ａを供給して一部の塗装ガンから吐出させている間に、シリンダタンク８４から一時貯蔵分の塗料Ｂを供給して残りの塗装ガンから吐出させる。
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基礎をなす基材との関係における実質的に複数の異なる場所において、例えば、複数の異なるタイプのパターン、複数の異なるタイプの塗布技術又はプロセス、又は複数の異なるタイプの周期的動作を有する複数の異なるホットメルト接着剤その他の熱可塑性材料の堆積物を実質的に同時に実現可能である、新しく、且つ、改善されたハイブリッドホットメルト接着剤その他の熱可塑性材料供給システムである。本ハイブリッドシステムは、複数の計量ヘッド供給モジュールを有する計量ヘッドがその上部に取付けられた計量ステーションと、一対のアプリケータヘッド供給モジュールを有する一対のリモートアプリケータヘッドとを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、粘性を有するペーストを供給量に係りなく高速で供給できるとともに、ペースト成分の分離等を確実に防止でき、信頼性を向上させたペースト供給装置と、このペースト供給装置を用いて製造性の向上を得る実装基板の製造方法を提供する。
【解決手段】粘性を有するペーストＰを実装基板Ｚに供給するペースト供給装置Ｓは、インジェクタ４が低粘度のペーストを貯留しかつ給出指示に応じて給出し、給出案内路３がインジェクタから給出されたペーストを案内し、冷却素子５が給出案内路での案内途中でペーストを所定温度に冷却して高粘度化して硬化させ、先端が実装基板と対向して設けられるノズル１が給出案内路から導かれた高粘度化した略硬化状態のペーストを受け入れ、回転刃７がノズルに導かれる高粘度ペーストを回転しながら切断し、切断したペースト片部Ｐｐを加速付勢してノズル先端から実装基板へ放出する。 （もっと読む）

【課題】液剤の滴下量の精度向上を図ることができる液剤滴下装置を提供すること。
【解決手段】シリンジ２４を、プランジャ３１が水平方向に沿って往復動するように配置するとともに、プランジャ３１を水平方向に沿って往復動させることでシリンジ２４内への液晶の供給及びノズル７０からの液晶の吐出を行うようにした。そして、プランジャ３１を、リニアモータ８０によって往復動するようにした。 （もっと読む）

【課題】複数の塗布液容器の切換えをして、塗布生産を継続して長時間行うにあたって、塗布液の粘度が塗布液容器ごとに大きく異なっても、塗布膜厚分布が均一になるように、切換前後の塗布液の混合比率を徐々に変えつつ、高精度に塗布液を塗布器に供給することと、空気の混入なく、塗布液容器塗布液の切換えを可能とする、簡便な構成でかつ、低コストな塗布液供給装置及び供給方法、ならびにこれらを用いた塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液４０Ａ，４０Ｂを貯える複数の塗布液容器２Ａ，２Ｂから送出される塗布液の量を、それぞれ調整する複数の静的流量調整手段９Ａ，９Ｂと、それに連通し、該複数の塗布液容器から送出された塗布液を合流させる合流手段１０、および該合流手段の下流に配置され、合流後の塗布液を送出する送液手段を有する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの分割部分をガントリが塗布動作中に走行するガイドレールに設けた場合であっても、不良基板が生産されるのを抑えて効率よく大型基板を生産することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージと、このステージに沿って延びるとともに複数に分割されたガイドレールと、ガイドレール上を走行し、塗布液を基板に塗布する塗布ユニットと、を備え、前記ガイドレールは、塗布ユニットと対向するガイド面を有するレール部が複数連結されることによって形成されており、隣接するレール部の端部同士によって分割溝部が形成され、この分割溝部に埋込部材が埋め込まれることにより、隣接するレール部のガイド面及び埋込部材が連続する平坦面となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】気泡除去手段内を流れる機能液の気泡の除去を確実に行うことができる機能液供給装置の制御方法等を提供する。
【解決手段】加圧送液により機能液を供給する機能液タンク１８１から機能液滴を吐出するインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路１３１に、気体透過膜により隔てられた内部機能液流路２２６および減圧室２２７を有し、気体透過膜を介して機能液から減圧室に溶存気体を透過させてマイクロバブルを除去する気泡除去手段１３５を介設した機能液供給装置の制御方法であって、内部機能液流路を流れる機能液の流量を測定する流量測定工程と、流量測定工程の測定結果に基づいて、減圧室の真空度を制御する真空度制御工程と、を備えた。 （もっと読む）

ホットメルト接着剤供給システムとの関連において使用される複式型板組立体（１０２、１０４、１０８）によれば、ホットメルト接着剤コンタクトダイアプリケーターまたはヘッドに対して基材が一回通過するときに、異なる長さ寸法、異なる幅寸法、異なるコーティング厚さおよび相互の関係における異なる長手方向の場所の位置または配置を具備した様々な異なる重畳または重なり合う堆積パターンまたは塗布パターンを実現可能である。この結果、様々な異なる特定の製品の製作または製造に必要な全体的な組立ラインおよび生産時間を効果的に単純化および短縮するために、異なるまたは複数の接着剤の堆積手順または塗布手順を事実上同時に実施可能である。
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【課題】機能液の残量がゼロになったことを正確に検出することができる機能液タンクの残量管理方法等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給される機能液を貯留する機能液タンクの残量管理方法であって、機能液タンクの重量を計測し、空の機能液タンクとの重量差から機能液タンク内の機能液の残量を求める残量測定工程と、機能液タンクから供給される機能液に乗って流れる気泡の有無を検出する気泡検出工程と、残量測定工程により、機能液タンク内の機能液の残量が所定値以下となった後、気泡検出工程により気泡の「有」を検出した場合に、機能液タンク内の機能液を使い切ったものと判別する判別工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】塗料充填時における塗料の浪費や、塗装ラインの洗浄時における洗浄液の浪費を防止すると共に、塗装（コーティング）品質を高品質に保つことのできる塗装装置、及び塗装システムの提供。
【解決手段】供給系統（Ｌ７）は塗料切換用三方バルブ（２１）に連通し、塗料切換用三方バルブ（２１）で塗装用ノズル（２２）側に連通するノズル側系統（Ｌ８）と廃液回収切換バルブ（４）に連通する廃液回収側系統（Ｌ９、Ｌ１０）とに分岐し、廃液回収側系統（Ｌ９）には光センサ（３）が介装され、光センサ（３）は、塗料が廃液回収側系統（Ｌ９、Ｌ１０）に充填されると内部が遮光され、洗浄液が廃液回収側系統（Ｌ９）を流過すると内部が透光可能となる様に構成されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッド付帯装置の加減速移動に伴う、複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出精度の低下を防止することができる液滴吐出装置等を提供する。
【解決手段】ワークＷに対し描画を行なう液滴吐出装置１において、ワークＷがセットされるワークステージ１０と、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査方向に移動させるヘッド移動手段２６と、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に配管・配線接続されたヘッド付帯装置２７を搭載すると共に、配管・配線の接続状態を維持しつつ複数の機能液滴吐出ヘッド３０の移動に併せてヘッド付帯装置２７を主走査方向に移動させる付帯移動手段２８と、ヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８の駆動を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、複数の機能液滴吐出ヘッド３０による主走査の開始に際し、ヘッド移動手段２６に対し付帯移動手段２８を先行させてスタートさせる。 （もっと読む）

【課題】粒子が凝固することや半導体リソグラフィーにおいて用いられるノズルの先端で蓄積することを実質的に緩和し、あるいはこれらを防止しさえする方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ上にリソグラフィー・レジストを吐出するレジスト吐出方法は、以下を具備する。第１ノズルから第１ダミー吐出容器へとレジストが吐出される。前記第１ノズルから前記第１ダミー吐出容器へのレジストの吐出が停止される。前記第１ノズルから半導体ウェハ上にレジストが吐出される。前記第１ダミー吐出容器から第１流体輸送経路に沿ってレジストが前記第１ノズルへと戻される。 （もっと読む）

【課題】半導体装置のＳＯＤ膜形成工程において、下層にダメージを生じることなくリワークを可能とする半導体製造方法および半導体製造装置を提供する。
【解決手段】ウェハを保持し、これを回転させながら、ウェハ上に絶縁膜を形成するための薬液を供給して、塗布膜を形成し、塗布膜が形成されたウェハについて、移動および加熱処理を行うことなく非接触で表面検査を行い、表面検査により不良と判断されたウェハ上に、溶媒を供給しながら回転させることにより、塗布膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハをコーティングするための改善されたポンプ汲み上げ及び分配システムを提供する。
【解決手段】マイクロ・バブルのようなバブルが少ない及び／又は溶解ガスが少ないレジスト溶液、反射防止コーティング（ＡＲＣ）溶液、又は別の溶液を効率的にポンプ汲み上げしそして分配することが可能なポンプ汲み上げ／分配システムが開示される。本システムは、システムの外に溶液を分配する前に溶液からバブルを分離するポンプを有する。溶液がポンプを通過する前にフィルタを通過する循環ループが提供される。フィルタを横切る圧力低下は、フィルタの後部のところでバブルを生成させるために十分であり、そしてこれらのバブルは、分配される前にポンプにより分離されそして取り除かれる。したがって、バブルは、溶液を分配するときに流出口の圧力低下で形成されることが殆どない又はさらに形成されることがない。 （もっと読む）

【課題】マイクロパッチコーティング装置および方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る装置（100）には、多相流体（11）を含む少なくとも1つのマイクロチャネル（12）が含まれる。駆動装置（13）は、互いに関連した動きで動くために、マイクロチャネル（12）及び基板（6）を駆動するように配置され、流体駆動装置（16）は、多相流体（11）が基板（６）上でコーティングされ、それによってマイクロパッチ（7a）が基板（6）上に形成されるように、マイクロチャネル（12）の排出口（122）から多相流体（11）を駆動するように配置される。多相流体（11）は、複数の予備流体区分（3）によって選択的に遮断されるコーティング流体（2a）から成る。また、マイクロチャネルは、少なくとも1つのコーティング流体注入口（21a）、少なくとも1つの予備流体注入口（22）及びマイクロチャネル構造（4）が備え付けられるコーティング金型（2）によって代替される。 （もっと読む）

【課題】薬液に溶解した気体を除去することができる薬液供給装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】薬液を貯蔵する薬液貯蔵容器２が、気体が透過可能、かつ液体が透過不能である、可撓性を有する材質からなる内側容器２２と、内側容器２２を収納する外側容器２１とを備える。外側容器２１と内側容器２２との間に、加圧配管３を通じて加圧気体等を導入することにより、内側容器２２は外側から加圧圧縮される。当該加圧により内側容器２２から送出された薬液は、供給配管４を通じて対象物に供給される。また、薬液供給待機期間中に、内側容器２２と外側容器２１との間の空間を減圧する、真空ポンプ１０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】閉弁時に開閉弁の膜状部が揺動部材から付与される押圧力によって疲弊することを抑制することが可能な液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェット式プリンタは、インクを噴射する記録ヘッドにインクを供給するための液体供給路と、該液体供給路を開閉する際に可撓性を有する第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂがそれぞれ変位する第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８と、第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８の閉弁時に第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂをそれぞれ閉弁方向へ変位させるための押圧力を付与するために揺動する作動板７３及び作動板７２と、第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８の閉弁時に作動板７３及び作動板７２からの押圧力をそれぞれ受けて第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂと直交する方向に移動して該第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂを閉弁方向に変位させる第１中継部材４９及び第２中継部材５０とを備える。 （もっと読む）