【課題】廃棄が容易で環境を汚染しない研磨パッドを提供する。
【解決手段】被研磨物４を研磨する研磨パッド２を、ポリ乳酸などの生分解性樹脂を用いて、圧縮成形や射出成形によって成形する。生分解性樹脂で構成されているので、寿命が終わって廃棄された研磨パッドは、水や土壌等の環境下で、自然分解し、環境を汚染することがない。また、ポリ乳酸からなる研磨パッドは、水、特にアルカリ性の水溶液によって、分解され易く、研磨中に表面の分解が進んで新しい表面が露出するので、ドレッシング工程を簡略化できる。 （もっと読む）

【課題】研磨時のスクラッチを低減できる導電性研磨パッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド用の基材（Ａ）に、スルホン酸基および／またはカルボキシ基を有する導電性ポリマー（Ｂ）が付着してなる導電性部材（Ｃ）を有する導電性研磨パッド。研磨パッド用の基材（Ａ）にアミノ基を２以上有する化合物（Ｄ）が付着してなる基材（Ａ’）に、スルホン酸基および／またはカルボキシ基を有する導電性ポリマー（Ｂ）が付着してなる導電性部材（Ｃ）を有する導電性研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】スラリ保持性を確保しつつ開孔の目詰まりを抑制し寿命性能を向上させることができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドは、主成分のプレポリマと、予めポリオール化合物に水を分散希釈させた分散液と、ポリアミン化合物とをそれぞれ準備する準備工程、プレポリマ、分散液、ポリアミン化合物、および、非反応性の気体を混合した混合液を調製する混合工程、混合液を型枠に注型する注型工程、型枠内で発泡、硬化させて発泡体を形成する硬化成型工程、発泡体をシート状にスライスして研磨パッドを形成するスライス工程を経て製造される。準備するプレポリマの温度５０℃における粘度を３０００〜３００００ｍＰａ・ｓに設定する。非反応性気体を０．２〜０．８ＭＰａの圧力で供給する。混合液中に大気泡が生じやすくなり、発泡体形成時に発泡の移動が抑制される。 （もっと読む）

【課題】開孔が略均一かつ略均等に形成され被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１は、研磨加工時に被研磨物の加工面に研磨液を介して当接する研磨面Ｐを有している。研磨パッド１は、イソシアネート基含有化合物と、鎖伸長剤と、水を２００〜３０００ｇ／ｍ^３含む水蒸気混合気体と、を混合した混合液を型枠に注型し硬化させた発泡体をスライスすることで形成されている。研磨パッド１の内部には、水蒸気混合気体中の水とイソシアネート基含有化合物との反応により、略均一な大きさの発泡３が略均等に分散して形成されている。研磨面Ｐでは発泡３の一部が開孔しており、開孔４が形成されている。水蒸気混合気体が混合されるときに生じた微細な気泡が混合液中に略均等に分散され、水蒸気混合気体中の水が混合液中で略均等に分散される。 （もっと読む）

【課題】研磨液が安定して供給され被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１は、イソシアネート基含有化合物と、予めポリオール化合物に化学発泡剤Ａおよび化学発泡剤Ｂを分散希釈させた分散液と、ポリアミン化合物と、これら各成分に対して非反応性の気体と、を混合した混合液を型枠に注型し硬化させた発泡体をスライスすることで形成されている。化学発泡剤Ａと化学発泡剤Ｂとでは、熱分解する温度が異なっている。研磨パッド１の内部には、混合液中の２種類の化学発泡剤Ａ、Ｂにより、大きさが二極化した発泡３ａと発泡３ｂとが略均等に分散して形成されている。研磨パッドの表面に孔径分布が二極化した開孔４ａ、４ｂが略均等に分散して形成される。 （もっと読む）

硬化剤の存在下、ウレタンプレポリマーを重合させることによって形成された固体生成物は、約３８％未満であるベイショア反発力を有する。好ましくは、該ウレタンプレポリマーは脂肪族イソシアネートポリエーテルプレポリマーであり、該硬化剤は芳香族ジアミン及びトリオールを含有する。微孔質ポリウレタン材料を形成するために、該ウレタンプレポリマーは、界面活性剤の存在下、不活性ガスで泡立てられ、次いで、硬化される。該ポリウレタンを用いて、高制動性化学機械平坦化用パッドであって、低反発力を有し、不規則エネルギーを分散させることができ、且つ、研磨加工を安定させて、改善された均一性及びより小さいわん状変形を生じるパッドを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】スラリー漏れを防止することができ、かつ光学的検知精度に優れる長尺状の研磨パッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】長尺研磨層８の研磨裏面側に光透過領域形成材料を注入するための溝１０を形成する工程、溝内に光透過領域形成材料を注入して硬化させることにより光透過領域１１を形成する工程、及び長尺研磨層の研磨表面側をバフ掛けすることにより光透過領域を研磨表面１２に露出させる工程を含む研磨パッド１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】研磨領域と光透過領域との間からのスラリー漏れを防止することができ、光学的検知精度に優れる研磨パッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】片面側の幅が他面側の幅より大きい光透過領域を作製する工程、機械発泡法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、面材を送り出しつつ又はベルトコンベア９を移動させつつ、該面材上又はベルトコンベア上の所定位置に、幅が大きい面を下側にして前記光透過領域１０を配置する工程、前記光透過領域を配置していない前記面材上又はベルトコンベア上に前記気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、吐出した前記気泡分散ウレタン組成物上に別の面材又はベルトコンベアを積層する工程、厚さを均一に調整しつつ前記気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる研磨領域を形成して研磨シートを作製する工程、前記研磨シートを裁断する工程を含む研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】スライス工程や多くの金型を必要とせず、簡便な方法で連続シート状、円板状のいずれの研磨パッドの研磨層をも製造可能な研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】連続状シート２２と発泡体形成組成物を巻回積層した巻回積層体を製造する巻回積層体製造工程、及び前記巻回積層体中の前記発泡体形成組成物を硬化させて研磨層を形成する硬化工程を有する研磨パッドの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】研磨領域と光透過領域との間からのスラリー漏れを防止することができる研磨パッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】透明樹脂部材を一次加熱処理した後に、切断して光透過領域１０を作製する工程、前記光透過領域１０を二次加熱処理する工程、気泡分散ウレタン組成物１１を調製する工程、面材８を送り出しつつ又はベルトコンベア９を移動させつつ、該面材８上又はベルトコンベア９上の所定位置に光透過領域１０を温度調整して配置する工程、光透過領域１０を配置していない前記面材８上又はベルトコンベア９上に気泡分散ウレタン組成物１１を連続的に吐出する工程、吐出したウレタン組成物１１上に別の面材又はベルトコンベアを積層する工程、厚さを均一に調整しつつウレタン組成物１１を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる研磨領域を形成して研磨シートを作製する工程、及びシートを裁断する工程を含む研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 均一な発泡構造を有し、被研磨面の平坦性および平坦化効率の向上が達成でき、研磨の作業中の温度変動に対して硬度変化が少なく、スクラッチ傷の発生が少ない研磨パッドを与える樹脂発泡体およびそれからなる研磨パッドを提供すること。
【解決手段】 熱可塑性ポリウレタンからなる樹脂発泡体であって、該熱可塑性ポリウレタンが以下の［Ａ］〜［Ｄ］を満足する樹脂発泡体およびそれからなる研磨パッド。
［Ａ］高分子ポリオール（ａ）、１，４−シクロヘキサンジメタノールを５０〜１００モル％含有する鎖伸長剤（ｂ）および有機ジイソシアネート（ｃ）から形成され、［高分子ポリオール（ａ）の質量］／［鎖伸長剤（ｂ）の質量＋有機ジイソシアネート（ｃ）の質量］＝１０／９０〜４０／６０である。
［Ｂ］窒素原子の含有率が５．０質量％以上である。
［Ｃ］水に対する接触角が５５〜７５度である。
［Ｄ］ガラス転移温度が５０〜１００℃である。 （もっと読む）

【課題】
溶質成分や浮遊物を付着・堆積させにくい表面を有する相互侵入高分子網目構造体を得る。また、研磨レートが高く、ディッシングが低減され、研磨時のパッド寿命が延長された研磨パッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
ニトリル基を有するエチレン性不飽和化合物重合体を含むことを特徴とする相互侵入高分子網目構造体。
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【課題】
溶質成分や浮遊物を付着・堆積させにくい表面を有する相互侵入高分子網目構造体を得る。また、研磨レートが高く、ディッシングが低減され、研磨時のパッド寿命が延長された研磨パッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
水酸基を有する炭素数６以上の脂環式化合物から得られたアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルの重合体を含むことを特徴とする相互侵入高分子網目構造体。
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【課題】 スラリー漏れを防止することができ、かつ光学的検知精度に優れる長尺研磨パッドを製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 機械発泡法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、長尺モールド内にスペーサーと光透過領域とを積層状態で配設する工程、前記スペーサー及び光透過領域を配設していない領域に前記気泡分散ウレタン組成物を吐出し、該気泡分散ウレタン組成物を硬化させてポリウレタン発泡体からなる長尺研磨領域を作製する工程、前記長尺研磨領域からスペーサーを剥離する工程、及び前記長尺研磨領域のスペーサーを剥離した面側に透明支持フィルムを積層して、光透過領域と透明支持フィルムとの間に空間部を有する長尺研磨層を作製する工程を含む長尺研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 製造工程が少なく、生産性に優れる長尺研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。また、製造工程が少なく、生産性に優れ、研磨層とクッション層との間で剥離することがない長尺積層研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 機械発泡法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、面材を送り出しつつその上に気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、該気泡分散ウレタン組成物上に別の面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる研磨層を形成する工程、該研磨層を面に対して平行に２つに切断することにより、研磨層と面材からなる長尺研磨層を２枚同時に作製する工程、及び長尺研磨層を裁断する工程を含む長尺研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 研磨領域と光透過領域との間からのスラリー漏れを防止することができる研磨パッドを生産性よく製造する方法を提供する。
【解決手段】 メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物８を調製する工程、面材１０，１６を送り出しつつ、該面材上の所定位置に光透過領域形成材料を連続的又は間欠的に吐出する工程、光透過領域形成材料が配設されていない前記面材上に前記気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、吐出した前記光透過領域形成材料及び気泡分散ウレタン組成物上に別の面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ光透過領域形成材料及び気泡分散ウレタン組成物を硬化させることにより、光透過領域と研磨領域とが一体成形された長尺研磨層を作製する工程、及び長尺研磨層を裁断する工程を含む研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 製造工程が少なく、生産性に優れる溝付き研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。また、製造工程が少なく、生産性に優れ、研磨層とクッション層との間で剥離することがない溝付き積層研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、凹構造を有するコンベアベルト上に気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、吐出した気泡分散ウレタン組成物上に面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる溝付き長尺研磨層を作製する工程、溝付き長尺研磨層をコンベアベルトから剥離する工程、及び溝付き長尺研磨層を裁断する工程を含む溝付き研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 生産性に優れ、厚み精度が高く、研磨層とクッション層との間で剥離することがない積層研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、面材１０，１３を送り出しつつ、該面材の両端部及び／又は内部にスペーサー１２を配設する工程、スペーサーを配設していない前記面材上に前記気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、吐出した前記気泡分散ウレタン組成物上に別の面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる長尺研磨層を作製する工程、及び長尺研磨層を裁断する工程を含む研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】レーザー焼結を利用したケミカルメカニカルプラナリゼーション（ＣＰＭ）用多孔性研摩パッドの製造方法の提供。
【解決手段】多孔性研摩パッドは、レーザ１２から焼結ノズル２８の中にレーザビーム３０を集束する工程、及び注入ポートを通じ、流動化された熱可塑性粒子１８を焼結ノズルの中に注入する工程を含む方法で製造され、さらに、レーザビームで熱可塑性粒子を焼結し、焼結した熱可塑粒子を盤上に選択的に堆積することにより、形成される。 （もっと読む）

【課題】 スラリー漏れを防止することができ、かつ光学的検知精度に優れる研磨パッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】 ポリウレタン発泡体からなる研磨領域９を作製する工程、貫通孔１２と棚部１３とからなる開口部１４を前記研磨領域に形成する工程、前記研磨領域より薄い凸状の光透過領域１０を作製する工程、前記光透過領域を前記研磨領域の開口部内に設置する工程、及び前記研磨領域の研磨裏面側に透明支持フィルム１１を貼り合わせる工程を含む研磨パッド８の製造方法。 （もっと読む）