【課題】モールドを用いて繰り返しパターン転写を行っても、離型性に優れ、かつ、モールドの劣化が抑制できる離型剤を提供する。
【解決手段】モールドの材料と化学的に反応する官能基を１つまたは２つ有する化合物をインプリント用モールド離型剤として用いる。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭ観察が可能であり高スループットで検査を行うことができ、かつ、高精細なパターン形成が可能な光インプリント用のモールドと、これを用いた光インプリント方法を提供する。
【解決手段】光インプリント用のモールド１を、透明基材２と、この透明基材２の一方の面２ａに位置し所望の凹凸構造を有する透明導電パターン層４と、透明基材２の他方の面２ｂに位置する透明導電裏面層７と、透明導電パターン層と前記透明導電裏面層とを電気的に接続する表裏接続部材８と、を備えたものとする。 （もっと読む）

【課題】成形型の型面に離型剤を塗布することなく、離型性を向上させ、また、感光性樹脂自体の樹脂組成を変えることなく、同じ照度・照射時間でありながら感光性樹脂の硬化性を向上させて結果として離型性を向上させ、欠陥のない光学部品を得ることができる光学部品の製造方法を提供する。
【解決手段】光透過性基板２上に供給された感光性樹脂１Ａに成形型３を型押しした状態で、上記光透過性基板２を透して光照射し光学部品１を製造するに際し、上記成形型３として、型面３ａでの、波長３６５ｎｍの光の反射率が、４６％以上に設定されているものを用いる。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの表面に離型剤を適切に成膜しつつ、テンプレート処理のスループットを向上させる。
【解決手段】テンプレートの表面に離型剤を成膜するテンプレート処理では、先ず、洗浄液槽に貯留された洗浄液中に複数のテンプレートを浸漬させ、当該テンプレートの表面を洗浄する（工程Ａ２）。その後、離型剤槽内に貯留された離型剤中に複数のテンプレートを浸漬させ、当該テンプレートの表面に離型剤を付着させる（工程Ａ３）。その後、テンプレート上の離型剤を乾燥させる（工程Ａ４）。その後、アルコール槽内に貯留されたアルコール中に複数のテンプレートを浸漬させ、当該テンプレートの表面に離型剤を密着させ、さらに離型剤の未反応部分を除去する（工程Ａ５）。その後、テンプレート上のアルコールを乾燥除去する（工程Ａ６）。こうしてテンプレートの表面に離型剤が所定の膜厚で成膜される。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの表面に離型剤を適切に成膜しつつ、テンプレート処理のスループットを向上させる。
【解決手段】テンプレートの表面に離型剤を成膜するテンプレート処理では、先ず、テンプレートの表面を洗浄する（工程Ａ２）。その後、塗布ユニットにおいて、テンプレートの表面に離型剤を塗布する（工程Ａ３）。その後、テンプレート上の離型剤を乾燥させる（工程Ａ４）。その後、テンプレート上の離型剤にアルコールを塗布して、テンプレートの表面に離型剤を密着させ、さらに離型剤の未反応部分を除去する（工程Ａ５）。その後、テンプレート上のアルコールを乾燥除去する（工程Ａ６）。こうしてテンプレートの表面に離型剤が所定の膜厚で成膜される。 （もっと読む）

【課題】インプリントテンプレートアライメントマークを改善する。
【解決手段】アライメントマークを備えたインプリントリソグラフィテンプレートが提供される。アライメントマークは、インプリントリソグラフィテンプレートの屈折率とは異なる屈折率を有する誘電体材料から形成され、誘電体材料は、誘電体材料を通過したアライメント放射と誘電体材料を通過しなかったアライメント放射との間に位相差を生じるような厚さを有する。 （もっと読む）

【課題】大面積かつ表面に微細な櫛型の形状を有する構造体の製造方法、その構造体によって作製される樹脂成形用金型の製造方法を提供する。
【解決手段】熱可塑性樹脂より選ばれる少なくとも２種類以上の異なる樹脂１，２からなる積層構造体３を形成する工程と、前記積層構造体を切断し、前記２種類以上の異なる熱可塑性樹脂１，２が配列して露出した切断面を形成する工程と、前記切断面から前記積層構造体３を構成する熱可塑性樹脂の内の少なくとも１種類の樹脂を優先的に除去することで前記切断面上に櫛型の凹凸構造を形成する工程とを、含むことを特徴とする櫛型構造を有する樹脂構造体５の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】微細な格子状突起パターンあるいはそれに類似の突起パターンを表面に有する微細構造体を簡便かつ安価に、しかも高い寸法精度で歩留まりよく製造できるとともに、高い寸法精度及び良好な寸法安定性、特に湿度変化に対する良好な寸法安定性を同時に満足させ得るような可とう性成形型を提供すること。
【解決手段】可とう性成形型が、ポリマー材料及び強化材の複合材料からなる支持体と、前記支持体によって支持された、微細構造表面をその表面に備えた賦形層とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのレーザーを使用して、金属製プレスシート、エンドレスベルト又はエンボスロールの表面構造を製造するための方法、及びその方法を適用した装置を提供する。
【解決手段】表面構造を低費用で製造できると同時に環境を保護する処置を可能にするために、金属製プレスシート１、エンドレスベルト又はエンボスロールの加工するべき表面２の表面構造４全体を部分的に除去するレーザーの使用が提案される。ここでは用意された３Ｄトポグラフィによってレーザーの制御が実行され、その際深さ構造を生成するために、得られたＸ、Ｙ、Ｚ座標を使用してレーザーの制御が行われ、その結果盛り上がった範囲５及び深さのある範囲６が形成される。 （もっと読む）

【課題】インプリントテンプレートを比較的低いコストで作成する。
【解決手段】無機剥離層とインプリント可能な媒体の層とを有する基板を用いてインプリントテンプレートを形成する方法が開示される。この方法は、マスタインプリントテンプレートを用いてインプリント可能な媒体にパターンをインプリントするステップと、インプリント可能な媒体を固化させるステップと、インプリント可能な媒体と無機剥離層とをエッチングして無機剥離層内にパターンを形成するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】モールドをレジスト層から引き剥がす際にかかる応力を抑制することでレジスト層やモールドの損傷を抑制する剥離板、モールド構造体及びインプリント方法を提供。
【解決手段】本発明のインプリント方法は、加熱すると屈曲する剥離板を備えるモールド構造体を、加工対象物の基板上に形成されたインプリントレジスト組成物からなるレジスト層に押圧して前記モールド構造体に形成された凹凸パターンを転写する転写工程と、剥離板を加熱して第１の金属層を熱膨張させ、前記モールド構造体の端部を押圧方向と反対方向に屈曲させて前記レジスト層と前記モールド構造体とを剥離する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの表面に離型剤を適切に成膜しつつ、テンプレート処理のスループットを向上させる。
【解決手段】テンプレートの表面に離型剤を成膜するテンプレート処理では、先ず、洗浄ユニットにおいて、テンプレートの表面を洗浄する（工程Ａ２）。その後、塗布ユニットにおいて、テンプレートの表面に離型剤を塗布する（工程Ａ３）。その後、光照射ユニットにおいて、テンプレート上の離型剤に３５０ｎｍ〜２５００ｎｍの波長の光を照射して、テンプレートの表面に離型剤を密着させる（工程Ａ４）。その後、リンスユニットにおいて、離型剤をリンスして、当該離型剤の未反応部を除去する（工程Ａ５）。こうしてテンプレートの表面に離型剤が所定の膜厚で成膜される。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等の製造に用いられるインプリントリソグラフィ方法において、パターン欠陥を低減することができるパターン形成方法を提供する。
【解決課題】パターンを有するテンプレートのパターンに選択的に硬化剤を供給し、硬化剤が供給されたテンプレートと被処理基板を接触させ、テンプレートと被処理基板を接触させた状態で光を硬化剤に照射することにより硬化剤を硬化し、硬化剤を硬化後、テンプレートを被処理基板から離して硬化剤パターンを被処理基板上に形成し、硬化剤パターンに基づき、被処理基板を加工することを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】離型性に優れ、成形不良を改善できる光学部品の製造方法を提供する。
【解決手段】サブマスター２０のガラス基板３の一方の面に対向する対向面の外形面積が、ガラス基板３の一方の面の外形面積よりも小さい。ガラス基板３とサブマスター２０との間に光硬化性樹脂５Ａを滴下又は吐出し、その後、樹脂５Ａをサブマスター２０又はガラス基板３に対して押圧する。その後、樹脂５Ａに光を照射させて樹脂５Ａを硬化させ、硬化により形成された凸レンズ部５をサブマスター２０から離型する。硬化工程では、サブマスター２０の周囲の樹脂５Ａを硬化させないように照射光を遮蔽しつつ、ガラス基板３とサブマスター２０の間の樹脂５Ａに光照射させた後、未硬化の樹脂５Ａを除去し、離型工程ではガラス基板３とサブマスター２０との外形面積の差により生ずる隙間部Ｓを介してガラス基板３を保持した状態でサブマスター２０を、硬化した樹脂５Ａから離型する。 （もっと読む）

【課題】スタンパの生産性に優れ、光硬化性樹脂層に対する離型性が良好であり、離型時の強度に優れ、紫外光（ＵＶ光）の透過性に優れ、かつ使用後のリサイクル性にも優れた、ＵＶナノインプリント技術に好適な、硬化樹脂組成物用樹脂スタンパ、中でも光多層記録媒体用の樹脂スタンパを提供する。
【解決手段】ポリカーボネート（Ａ成分）１００重量部及び屈折率（ｎＤ）が１．４２〜１．６０であるシリコーン化合物（Ｂ成分）０．１〜１０重量部よりなるポリカーボネート樹脂組成物（Ｃ成分）から形成されてなる、硬化性樹脂組成物用樹脂スタンパ、並びにかかる硬化性樹脂組成物用樹脂スタンパを形成するためのポリカーボネート樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの表面に離型剤を適切に形成する。
【解決手段】テンプレート処理装置１は、テンプレート搬入出ステーション２と処理ステーション３とを一体に接続した構成を有している。テンプレート搬入出ステーション２は、複数のテンプレートＴを保有可能で、且つ処理ステーション３に対してテンプレートＴを搬入出する。処理ステーション３は、搬送ラインＡに沿ってテンプレートＴを搬送する複数の搬送ローラを備えている。搬送ラインＡには、搬送中のテンプレートＴに対して所定の処理を行う、前洗浄ユニット２１、塗布ユニット２２、加熱ユニット２３、温度調節ユニット２４、リンスユニット２５、離型剤改質ユニット２６、後洗浄ユニット２７がテンプレートＴの搬送方向に順に配置されている。離型剤改質ユニット２６では、テンプレートＴの外側領域の離型剤に紫外線を照射して、当該紫外線の離型効果が弱められる。 （もっと読む）

【課題】精度良く微細なパターンを検査することが可能なナノインプリント用テンプレートの検査方法を提供する。
【解決手段】表面にパターンが形成されたナノインプリント用のテンプレート１００の裏面側からテンプレート１００に光を照射する工程と、光の照射によってテンプレート１００の表面近傍に発生する近接場光を検出する工程と、検出された近接場光に基づいてテンプレート１００の検査を行う工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】微細パターンを高い精度で形成することが可能なナノインプリントモールドと、このナノインプリントモールドを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】ナノインプリントモールド（１）を、厚みが４ｍｍ以下である透明な基材（２）と、この基材の表面（２ａ）側に形成された凹凸パターン（３）と、反射防止部（４）とを有するものとし、反射防止部（４）を、基材（２）の裏面（２ｂ）側の少なくとも一部の領域、あるいは基材（２）の内部の少なくとも一部の領域に位置させたものとする。 （もっと読む）

【課題】離型に有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】
本発明のインプリント装置は、パターンが形成されたモールド１０をレジストＭｐが塗布されたウエハ１００に押し付け、モールド１０をウエハ１００から離型することによってパターンをウエハ１００に転写する押印装置であって、ウエハ１００をその端部において吸着保持するウエハチャック２１と、ウエハチャック２１とは分離して形成され、ウエハ１００を吸着保持するウエハチャック２２と、ウエハチャック２１及びウエハチャック２２をモールド１０に対して相対的に移動させる駆動部とを有し、ウエハチャック２２は、ウエハチャック２１より可撓性の高い材質で形成されている。 （もっと読む）

【課題】スタンパから分離された後の被形状転写層表面に形成された凹凸パターンに残存された残渣を容易に除去することができるスタンパ及びこのスタンパを用いた光インプリントリソグラフィ方法を提供する。
【解決手段】基板上に設けられた被形状転写層に転写するための凹凸パターン１２を有する光インプリントリソグラフィ法に用いられるスタンパ１０ａであって、凹凸パターン１２は、遮光性を有する凸部１２１ｓと透光性を有する凹部１２２ｔとを有する。本光インプリントリソグラフィ法は、ネガ型光硬化性を有する被形状転写層にスタンパ１０ａを圧接する工程と、スタンパ１０ａを被形状転写層に圧接した状態で被形状転写層を露光する工程と、スタンパ１０ａと露光後の被形状転写層とを分離する工程と、分離後の被形状転写層に形成された凹凸パターンを洗浄する工程と、を備える。 （もっと読む）