【課題】 本発明は、超微小サイズのパターン及び異物の検査について、高感度、高速及び高スループットを実現できるインプリント用ガラス基板、レジストパターン形成方法、インプリント用ガラス基板の検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 インプリント用の微細パターン１５が形成されたパターン面１１を有するガラス基板１０を備えたインプリント用ガラス基板３０であって、
該パターン面に、透明導電膜２０が被覆されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸パターンが形成された基板から、容易に他の基板等に正確なパターン転写を行うことができる微細パターン形成方法を提供する。
【解決手段】少なくとも片側に凹凸パターンが形成された第一の基板１１上に、誘電体膜１５を形成する。第一の基板１１とパターン転写先の第二の基板１４とを、第一の基板１１側から順にフッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２及びフッ素未含有の第二の紫外線硬化性樹脂１３を介して結合させる。第一の基板１１と第二の基板１４とを、誘電体膜１５とフッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２との境界で分離し、フッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２に凹凸パターンを転写する。 （もっと読む）

【課題】被転写基板の局所的な突起に追従し、パターン転写不良領域を低減することが可能で、耐久性のあるスタンパおよび転写方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸形状が形成されたインプリント用スタンパ１０１において、前記凹凸形状が形成された樹脂製のパターン層１０２と、前記パターン層１０２の裏面に配置された樹脂製の緩衝層１０３と、前記緩衝層１０３の裏面に配置された基材層１０４とを有し、前記緩衝層１０３のヤング率が前記パターン層１０２のヤング率よりも小さく、前記基材層１０４のヤング率が前記緩衝層１０３のヤング率よりも大きいことを特徴とするインプリント用スタンパ１０１。 （もっと読む）

【課題】離型剤をモールド本体の表面に十分に定着させることができるモールドの製造方法を提供する。
【解決手段】（Ｉ）表面に微細凹凸構造が形成されたモールド本体１６を作製する工程と、（II）モールド本体１６の微細凹凸構造が形成された側の表面に、官能基（Ａ）を導入する工程と、（III）工程（II）の後、モールド本体１６の微細凹凸構造が形成された側の表面を、官能基（Ａ）と反応し得る官能基（Ｂ）を有する離型剤で処理する工程とを有するモールドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】パターン転写用金型の微細なパターン形状にダメージを与えることなくフッ素化処理し、これを用いた複製パターン転写用金型の製造方法を提供する。
【解決手段】微細パターンを有するパターン転写用金型４をフッ化アンモニウム水溶液中に浸漬し表面にフッ化ニッケル層５を形成し、フッ化ニッケル層５の表面に電鋳により第１ニッケルめっき膜６を形成した後、これを剥離し、剥離した電鋳物の表面に電鋳により第２ニッケルめっき膜９を形成した後、これを剥離し微細パターンを有する複製パターン転写用金型１０を複製することを特徴とする複製パターン転写用金型の製造方法。 （もっと読む）

【課題】成形型と転写層の剥離工程における成形型の破損を抑制し、かつ成形時における反りが小さい成形型を提供する。
【解決手段】成形型１は、一方の面側に凹凸パターンを有する第１の基板１１と、前記第１の基板１１の前記凹凸パターン形成面の反対側に接合された第２の基板１２と、前記第２の基板１２を前記第１の基板１１とで挟持して配置され、前記第２の基板１２と接合された第３の基板１３と、を具備し、前記第１の基板１１と前記第３の基板１３は熱膨張係数が同一あるいは略同一の材料からなる。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント材料層に転写されたパターンの位置精度を高めることが可能なテンプレート及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】テンプレート１１０は、基板１１１と、基板に形成された素子パターンと、基板上又は基板内部に形成された光吸収部１１５とを備える。ナノインプリント材料層に素子パターンを転写する工程の前又は最中に、前記光吸収部に照射光を照射して前記テンプレートを熱膨張させることで前記素子パターンの位置を変位させることを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】離型性に優れた離型剤が不要なフィルム又はシート表面成形用の表面が極低表面エネルギーな転写ロール、及びその製造方法、それを用いて製造した表面に微細な凸凹を有するフィルム又はシートを提供する。
【解決手段】少なくとも表面をブラスト加工、あるいはディンプル加工、化学エッチング加工、電解エッチングする工程と、撥水撥油防汚性離型膜５を形成する工程とによるか、もしくは少なくとも表面をブラスト加工あるいはディンプル加工する工程と、化学エッチングあるいは電解エッチングする工程と、撥水撥油防汚性離型膜５を形成する工程とにより、微細な凸凹もしくは複合的に大きな凸凹と小さな凸凹が施された表面を撥水撥油防汚性離型膜５で被覆することにより、離型剤が不要な転写ロール６を提供する。 （もっと読む）

【課題】剥離性が高いインプリント用モールド構造体、転写工程後にレジストからモールドを剥離する際、レジストに転写されたパターンの破損を低減するインプリント方法、並びに信号品位を向上させた磁気記録媒体及びその製造方法の提供。
【解決手段】転写工程と、硬化工程とを少なくとも含むインプリント方法に用いられるインプリント用モールド構造体１であって、前記インプリント用モールド構造体１の前記転写面の硬度をＨＭＳとし、前記転写工程における前記インプリントレジスト層の硬度をＨＢＲとし、前記硬化工程後における前記インプリントレジスト層の硬度をＨＡＲとしたとき、ＨＢＲ＜ＨＭＳ＜ＨＡＲ（ただし、ＨＭＳ≦１ＧＰａ）を満たすインプリント用モールド構造体等である。 （もっと読む）

【課題】新規な樹脂管の製造方法を提供する。
【解決手段】棒材を加熱工程に耐える水溶性の材料（例えば塩）で軸線が曲線である曲線部を有する形状に形成し、液晶ポリマーのシート材３１を棒材３０に所望の複数回巻き付けて保持して加熱する加熱工程を備える。曲線部３０ａに対してはシート材を巻き方向に長尺な形状にして螺旋状に巻き付け、螺旋状のシート材の巻き始め端部及び巻き終わり端部を溶着させて棒材への巻回状態を保持する。さらにシート材の外周面に耐熱フィルムを（曲線部に対しては螺旋状に）巻き付けた上で、オートクレーブで加熱工程を実行する。本加熱工程により、シート材を溶融させて樹脂管に成形する。耐熱フィルムを巻き替えて再度加熱工程を実行し、ＣＦＲＰの外管を成形したら、棒材を水に溶かして樹脂管から取り除く。 （もっと読む）

【課題】スタンパと被転写体の剥離による静電気を確実かつ簡単に除去することができる微細構造転写装置を提供する。
【解決手段】微細な凹凸パターンが形成されたスタンパを被転写体に接触させて、被転写体の表面にスタンパの微細な凹凸パターンを転写する微細構造転写装置が提供される。そして、スタンパが少なくともパターン形成面に導電膜を有し、スタンパは導電性の保持具に固定され、導電膜は保持具と導体で接続され、保持具は装置内でアースに接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スループットが高く、安定的なインプリントが出来、精細なパターンを得ることの出来るインプリント法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のインプリント法は、赤外線光硬化性樹脂を用いて露光光に赤外線を用いることを特徴とする。本発明の構成によれば、赤外線にて露光することにより、転写基材とインプリントモールドに加熱・冷却のサイクルを行うことがなく、パターンを転写することが出来る。また、加熱・冷却のサイクルを行わないため、転写基材とインプリントモールドと熱膨張を抑制できパターン転写の位置精度を向上させることが出来る。また、加熱・冷却のサイクルを行わないため、転写工程に要する時間を削減することが出来、スループットの向上を行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】ナノプリント法において、基板からスタンパを剥離する工程を高精度かつ容易に行うことを目的とする。
【解決手段】プレス装置を用い、基板上に微細構造を形成するためのスタンパにおいて、前記スタンパが剥離機構を有することを特徴とするナノプリント用スタンパ、及び該スタンパを用いるパターン転写方法。 （もっと読む）

【課題】低コストで提供可能な樹脂スタンパを安価に製造することができる技術を提供する。
【解決手段】表面にパターンが形成されたマザースタンパに対して樹脂製の基材を押し付けて成形し、該基材にパターンを転写するとともに、前記基材を打ち抜き加工して板状の樹脂スタンパを製造する方法であり、前記樹脂製の基材２５を少なくとも表層２５ｂと基層２５ａを具備する複層構造として前記表層２５ｂを２５℃における引張弾性率が１．５ＧＰａ以上、かつガラス転移温度が４０℃以上である熱可塑性樹脂から形成し、前記基層２５ａを２５℃における引張弾性率１．０ＧＰａ以下である低弾性樹脂から形成し、前記圧縮成形を行う際、前記表層２５ｂを構成する樹脂のガラス転移点Ｔｇ_Ａに対し、（Ｔｇ_Ａ−１０）℃以上の温度で前記表層２５ｂを前記マザースタンパに押し付けることを特徴とする樹脂スタンパの製造方法。 （もっと読む）

【課題】押し付け完了後に基材から両スタンパーを容易に剥離可能としつつ、基材の両面に所望の凹凸パターンを高精度で形成する。
【解決手段】Ａ凹凸パターンが形成されたＡスタンパーを中間体７０の一方の面に押し付けると共にＢ凹凸パターンが形成されたＢスタンパーを中間体７０の他方の面に押し付けてＡ凹凸パターンと凹凸位置関係が反転するＣ凹凸パターンおよびＢ凹凸パターンと凹凸位置関係が反転するＤ凹凸パターンを中間体７０の両面に形成する際に、ＡスタンパーおよびＢスタンパーとして、平面視形状が互いに相似形で、かつ平面積が中間体７０よりも大きいスタンパー５０Ａ１ａおよびスタンパー５０Ｂ１ａを使用すると共に、スタンパー５０Ｂ１ａにおける外縁部の少なくとも一部がスタンパー５０Ａ１ａに対して中間体７０の厚み方向において重ならないように両スタンパーを中間体７０の両面にそれぞれ押し付ける。 （もっと読む）

インプリント・リソグラフィ・テンプレートまたはインプリント用スタックが、少なくとも約０．４ｎｍの平均細孔サイズをもつ多数の細孔を画定する多孔質材料を含む。多孔質材料の多孔率は少なくとも約１０％である。多孔質テンプレート、多孔質インプリント用スタック、または両方をインプリント・リソグラフィ工程で使用して、テンプレートとインプリント用スタックとの間にトラップされたガスをテンプレート、インプリント用スタック、または両方に拡散しやすくし、その結果、インプリント用スタックとテンプレートとの間の重合可能材料がインプリント用スタックとテンプレートとの間に実質的に連続的な層を迅速に形成する。
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【課題】コート材や潤滑材を塗布することなく離型性を高めた微細成形型および微細成形型用基材並びに微細成形型の製造方法を提供する。
【解決手段】微細成形型１は、基材１３の表面１３ａに微細な凹部１１が形成されている。微細成形型１は、基材１３の表面１３ａから注入した注入イオンの濃度が他の部分よりも高い高濃度注入イオン層１４が基材１３の表面１３ａから凹部１１の底部１１ｂまでの間に形成されている。また、注入イオンは炭素イオン、フッ素イオンまたは塩素イオンのいずれかにより構成されている。 （もっと読む）

パターンを備える金型と、パターンと接触する金属含有層と、金属含有層に結合される官能化ペルフルオロポリエーテルを含んだ離型剤を有する物品が提供される。また、この金型を有する複製の方法が提供される。 （もっと読む）

本発明の積層ナノモールドは、所定の形状を有する空孔を画定するペルフルオロポリエーテル層、および、ペルフルオロポリエーテル層とカップリングされる支持層を含む。また本積層体は、ペルフルオロポリエーテル層と支持層とをカップリングするつなぎ層を含んでいてもよい。またつなぎ層は、光硬化性成分、および、熱硬化性成分を含んでいてもよい。空孔は、５００ナノメートル未満の最大寸法を有するものでもよい。 （もっと読む）

【課題】残存する余分な離型剤および溶媒が少ないインプリント用モールドを、低環境負荷で、かつ低コストで製造できる方法を提供する。
【解決手段】モールド本体１２の表面に離型剤を塗布し、化学結合によって定着させて被覆層１４を形成し、モールド１０を得る工程と、モールド１０を超臨界二酸化炭素で洗浄する工程とを有するインプリント用モールドの製造方法。 （もっと読む）