【課題】面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げることのできる液体制御装置を提供する。
【解決手段】液体制御装置３０は液体の広がり方を制御する。液体制御装置３０は、液体の供給される上面３１ｃを有する本体３１と、網目状に編まれ、上面３１ｃに接するように設けられたメッシュ４７と、メッシュ４７に対して本体３１側と反対側で接するように設けられたメッシュバンド５２と、を備える。メッシュバンド５２は、網目状に編まれて形成されている。本体３１には、その内部から上面３１ｃへ液体を供給する供給口が設けられ、メッシュ４７及びメッシュバンド５２は、供給口を覆うように設けられている。 （もっと読む）

【課題】異なる沸点を有する複数の材料から成る液体材料を気化する場合でも残渣の発生を防止して好適に気化可能な液体材料気化装置を提供する。
【解決手段】液体材料ＬＭとキャリアガスＣＧとを混合して気液混合体ＧＬを生成する気液混合部１と、前記気液混合部１からの気液混合体ＧＬを気化しこの気化によって生じたガスを前記キャリアガスＣＧによって外部へ導出する加熱型の気化部２と、前記気液混合部１と前記気化部２とを接続し、内部に前記気液混合体ＧＬの流路を有する接続部３と、前記接続部３を冷却する接続部冷却部４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】液体試料の温度制御の応答性及び精度を向上させる。
【解決手段】液体試料を貯留する気化タンク２１と、気化タンク２１内に設けられ、液体試料に接触して加熱する加熱部２２ｈを有する１又は複数のヒータ２２と、ヒータ２２の加熱部２２ｈを含む外表面に接触して設けられ、当該外表面の温度を検出する温度検出部と、温度検出部からの温度検出信号を受け付けて、前記ヒータ２２に供給する電力を制御する制御部２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】化学蒸着（ＣＶＤ）用金属含有前駆体を一定濃度で蒸発させる装置及び方法を提供する。
【解決手段】本装置は外部ケーシング１０２と内部ケーシング１１０からなりその間を流体で恒温とした蒸発器１００と熱交換器３０４からなり、内部ケーシングはキャリア流体を導入する第１の導管２１０と前駆体を同伴したキャリア流体を取り出す第２の導管２１４、熱交換器から蒸発器へ前駆体を導入する第１の前駆体導管３０６からなっている。熱交換器を蒸発器の近傍に配置することによって、蒸発器内の前駆体の温度と同じ温度で蒸発器に新たな前駆体を供給できるので、蒸発器内の前駆体を実質的に一定の温度に維持できる。 （もっと読む）

【課題】化学薬品前駆体の高流速または高真空下もしくは高差圧条件下での流動を可能にする一方で、高水準なスプラッシュガードの機能を与える。
【解決手段】本発明は、浸漬管入口；該浸漬管の出口および該容器の排出口の間に配置され、該邪魔円盤および該容器の該側壁の間に狭い環状の間隙を与え、液滴が該容器の該排出口および該容器の側壁の内側表面に入ることを防止する少なくとも１つの邪魔円盤、ならびに該邪魔円盤の近傍の該側壁上に半径方向の内側に張り出した環状の偏向突起を有する容器である。また、本発明は上記の構造を有する容器から化学薬品前駆体を供給する方法である。液体および蒸気供給の両方が想定されている。 （もっと読む）

【課題】安全性の高いフッ素発生装置を提供する。
【解決手段】セル１０内の第１電極１１と第２電極１２との間に金属フッ化物３１を含むフッ素原料３０を挟む。電流供給手段２０により第１電極１１から第２電極１２へ直流電流を通電する。第１電極１１とフッ素原料３０との接触面から発生するガスを第１ガスポート１３から導出する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】微粒子材料を気化するための装置は計量装置を備え、計量装置は、貯留室１３０ａと；内部容積空間１５０と、微粒子材料を収容する第１の開口部、吐出する第２の開口部１６０とを有するハウジング１４０と；内部容積空間内に配置される回転式シャフト１７０であり、滑らかな表面と、貯留室からの微粒子材料を収容し、微粒子材料を吐出するための外周溝とを有する、シャフトと、微粒子材料が外周溝によって輸送され、回転式シャフトの残りの部分に沿って輸送されないように協動する、回転式シャフト及び内部容積空間と；第２の開口部１６０との関連で配置され、端部おいて、回転式シャフト内の溝と実質的に同じ断面を有するスクレーパであり、溝と協動して該溝の中に保持される微粒子材料を取り除き、シャフトが回転するのに応じて、計量された量の微粒子材料を第２の開口部１６０を通じてフラッシュ蒸発器１２０ａに送達する、スクレーパとを備える。
（もっと読む）

【課題】一酸化炭素ガスを貯蔵することなく、一酸化炭素ガスを供給することができる一酸化炭素ガス供給機構を提供すること。
【解決手段】チャンバー内に配置されたウエハＷに所定の処理を行うためのＣＯガスを供給するＣＯガス供給機構３１は、蟻酸を供給する蟻酸供給部４３と、蟻酸供給部４３から供給された蟻酸を分解してＣＯガスを生成するＣＯガス生成部４４と、ＣＯガス生成部４４で生成したＣＯガスをチャンバー１内のウエハＷに供給するＣＯガス供給部としてのＣＯガス配管４５を具備する。 （もっと読む）

【課題】薬液気化タンクにおいて、複数の被処理体に供給する処理ガスの濃度のばらつきを抑えること。
【解決手段】その内部空間が仕切り部材により横方向に気密に仕切られて複数の気化室が形成されるタンク本体と、各気化室の液面下に、各気化室間で薬液を流通させるために各仕切り部材に設けられた薬液流通路と、各気化室の液面よりも上方にて各気化室間を連通するように仕切り部材に設けられた、各気化室間で気圧を均一にするためのガス流通路と、を備えるように薬液気化タンクを構成し、例えば液面レベルを管理して各気化室間で薬液の量を制御する。 （もっと読む）

【課題】より簡易且つ高精度に液体材料の気化量を制御することのできる気化装置及び気化装置用ジェットノズルを提供する。
【解決手段】ジェットノズルを構成するノズル単体２２は、液体材料を充填する充填室２５と、ピエゾ素子２８を収容する作動室２７とを備え、これら充填室２５及び作動室２７はダイアフラム２６にて仕切られている。充填室２５は、開口部２４へ向けてテーパ状に延びている。ピエゾ素子２８が伸長すると、ダイアフラム２６により充填室２５の容積の一部が排除される。これにより、充填室２５内の液体材料が開口部２４を介して噴出気化される。 （もっと読む）

製造設備における分子フッ素生成と使用に対する統合した解決が、開示される。この統合した解決、およびシステムの一部分、および方法は、新規な局面を含む。本明細書に記載される方法およびシステムのいくつかの実施形態は、製造ツールにおいて、またはその近傍において、分子フッ素を生成する能力を提供し得る。本明細書に記載のシステムおよび方法のその他の実施形態は、複数のフッ素セルを有するフッ素発生器キャビネットを含み得る。この方法およびシステムは、ミクロ電気デバイス、集積ミクロ電子回路、セラミック基板を基礎にしたデバイス、フラットパネルディスプレイ、または他のデバイスのようなデバイスの製造に有用である。１つの特定の実施形態において、Ｆ_２が、製造設備における現場で発生し得、そしてプロセスツールの堆積チャンバーを清掃するのに使用される。 （もっと読む）

例示的配置において、蒸発器（１１０)から蒸発器（１１０)に結合された処理設備（１２０)に所望のガスを送出するシステム（１００)を含む、ガスと蒸発材料との接触を強化する装置及び方法。蒸発器（１１０)が、材料を蒸発させ、蒸発器（１１０)に結合されたガス源（１３０)からガスを受けとり、受けとられたガスと蒸発材料との接触から生じたガスを処理設備（１２０)に送出するのを助ける。蒸発器（１１０)が、受けとられたガスと蒸発材料との接触を促進するのを助けるために、蒸発すべき材料の露出表面積を増加させるのを助けるよう、蒸発すべき材料を支える。蒸発器（１１０)が、受けとられたガスと蒸発材料との接触を促進することにより、比較的より高い流量で、得られたガスを処理設備（１２０)に送出するのに使用されることがある。
（もっと読む）