ポリシリコンをチューブ又は他の中空体上に堆積させる。該中空体は、従来のジーメンス型反応器のスリムロッドに取って代わり、簡単な抵抗素子で内部加熱することができる。該中空体の直径は、シリコンのスリムロッドの表面積よりも非常に大きな表面積をもたらすように選択される。該中空体の材料は、冷却すると直ぐに、収縮差に起因して、堆積したポリシリコンが中空体から容易に剥がれて、回収容器中に落下するように選択することができる。 （もっと読む）

低次シランからの高次シランの製造方法は、第１反応温度範囲の最高温度よりも２０℃を超える温度より高い温度に暴露することなく低次シラン含有流体を加熱することを含む。加熱低次シラン含有流体を第１反応ゾーンに導入し、反応させる。未反応の低次シランを初期の加熱段階に再循環させる。望ましくないシラン副生成物の分解および生成を防ぐために平均滞留時間は短いのが好ましい。低次シランからのより高次の高次シランの製造方法は、第１反応ゾーンからの第１ガス混合物を高次シラン含有流体と混合すること、および第２反応温度範囲内で作動している第２反応ゾーンに混合した流体を導入することを含む。第２反応ゾーンから出る第２ガス混合物を種々の流体に分離する。未反応の低次シランを含有する１つの流体を初期の加熱段階および第１反応ゾーンに再循環させる。もう１つの流体である高次シラン含有流体を第１ガス混合物と混合する。
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【解決手段】金属の塩素化処理からの残留物を処置する方法を記載し、これは、貴重な揮発性金属塩化物及びメタルオルガノ(有機金属)塩化物を回収する一方で、低揮発性の金属塩化物及び塩化物複合体を中和性湿潤剤と反応させる。得られる中性の乾燥固体は、生産冶金の技術によって、埋立て処分にか又は貴重な金属成分の回収に適切である。 （もっと読む）

【課題】 シリコンウエハ製造会社や半導体製造会社から排出されるシリコンスラッジの回収とその有効利用を図るために、シリコンスラッジと水とを水和反応させて、ろ過性のよいシリコン結晶を高選択率に分離処理すると共に水素を回収する方法を提供する。
【解決手段】 アルカリ金属又はアルカリ土金属の水酸化物あるいは炭酸塩などの塩基触媒存在下にシリコンスラッジと水との水和反応をさせて生成した（１）式で示されるシリコン化合物を分離処理すると共に発生する水素を回収する方法である。 （もっと読む）

【課題】中間膜廃材に含まれる無機粒子を再利用できるほどの品質で回収する方法を提供すること。
【解決手段】中間膜に特定の機能を与える無機粒子を、高圧の流体中にて中間膜樹脂を溶解もしくは分解させることにより、中間膜樹脂から分離することを特徴とする合わせガラス用中間膜から無機粒子を回収する。 （もっと読む）

【課題】液体媒体中に迅速に混和する二酸化ケイ素粉末の提供。
【解決手段】ＢＥＴ表面積９０±１５ｍ^２／ｇを有する一次粒子の凝集体の形の、熱分解法により製造された二酸化ケイ素粉末であって、凝集体が、平均表面積１００００〜２００００ｎｍ^２、平均相当円周直径９０〜１３０ｎｍおよび平均円周１０００〜１４００ｎｍを有する熱分解法により製造された二酸化ケイ素粉末。
ＳｉＣｌ_４およびＨ_３ＳｉＣｌ、Ｈ_２ＳｉＣｌ_２、ＨＳｉＣｌ_３、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３、（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ_２、（ＣＨ_３）_３ＳｉＣｌ、（ｎ−Ｃ_３Ｈ_７）ＳｉＣｌ_３からなる群から選択された第２の成分を一次空気および燃焼ガスと混合し、反応室の中に燃焼させ、この際燃焼室中に更に二次空気を供給し、かつ供給物質を断熱火炎温度Ｔ_ａｄが１８１０〜１８９０℃になるように選択する。
該熱分解法により製造された二酸化ケイ素粉末を含有する分散液。 （もっと読む）

【課題】 従来より生産性が高いヘキサクロロジシランの製造方法を提供する。
【解決手段】 シーメンス法による多結晶シリコンの製造工程で生じる排ガスを原料とし、蒸留操作の繰り返しプロセスによりヘキサクロロジシラン（Ｓｉ₂ Ｃｌ₆ ）を分離抽出する。テトラクロロジシラン（Ｓｉ₂ Ｈ₂ Ｃｌ₄ ）の含有濃度がある程度以上に上昇したプロセス後半で、内部が加熱・加圧された活性炭充填塔４に中間蒸留物を通す。ヘキサクロロジシラン以外のクロロシラン類がヘキサクロロジシランに変成し、ヘキサクロロジシランの含有濃度が上昇する。 （もっと読む）

【課題】 フッ化珪素（Ｓｉ₂ Ｆ₆ ）を製造する場合の歩留りを高めることが可能なヘキサクロロジシラン（Ｓｉ₂ Ｃｌ₆ ）を製造する。
【解決手段】 シーメンス法により高純度の多結晶シリコンを製造する際の排ガスから蒸留によりヘキサクロロジシラン（Ｓｉ₂ Ｃｌ₆ ）を製造する。蒸留に多段式蒸留塔を用い、最終蒸留での塔頂比を大きくすることにより、 製造されるヘキサクロロジシラン（Ｓｉ₂ Ｃｌ₆ ）中のテトラクロロジシラン（Ｓｉ₂ Ｈ₂ Ｃｌ₄ ）の含有濃度を２０００重量ｐｐｍ以下、好ましくは１０００重量ｐｐｍ以下に低下させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、半導体や太陽電池等に用いられる高純度なシリコンの製造におけるボロンの除去や汚染の防止をする安価な溶融シリコン流通部材と簡便なシリコンの移送方法とを提供する。
【解決手段】 塩基性酸化物もしくは両性酸化物の一方又は双方の粉、粒又は粉と粒との混合物と、水ガラスもしくは樹脂の一方又は双方との混合物を形成し、乾燥固化又は焼成してなることを特徴とする溶融シリコン流通部材、及び、これを用いた溶融シリコンの移送方法である。 （もっと読む）

【解決課題】Ｃｕ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｒ等の金属性不純物がコロイダルシリカ粒子表面及び分散媒中にほとんど存在せず、シリコンウエハ等の研磨に最適な研磨用組成物を低コストで得ること、及び金属性不純物のきわめて少ない研磨用組成物を用いてシリコンウエハの研磨を行う方法を提供すること。
【解決手段】コロイダルシリカ粒子表面及び分散媒中に存在する金属性不純物として、Ｃｕが１０ｐｐｂ以下、Ｎｉが２０ｐｐｂ以下、Ｚｎが２０ｐｐｂ以下である研磨用組成物。この研磨用組成物は、活性珪酸水溶液またはコロイダルシリカに窒素原子又は燐原子を有するキレート化剤を接触させ、その後該活性珪酸水溶液またはコロイダルシリカを陰イオン交換体に接触させる工程を有する方法によって製造される。 （もっと読む）

珪素含有ガス（７）を分離するための反応装置（１２）を製造する方法にして、次のステージ、すなわち：内壁（３）及び外壁（４）を有する基本的に管状の反応装置ブランク（２）、及び、少なくとも反応装置ブランク（２）の内壁（３）上へのパウダー状分離中間体を含有する分離層（１１）の設置、を備えて構成する。分離層（１１）がその上に装着された反応装置（１２）は、析出した珪素パウダーから内壁（３）の単純で、かつ、効果的な保護をする。分離層（１１）、及び、その上に析出した珪素パウダーは、内壁（３）を損傷することなく機械によって容易に除去され得る。
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【解決課題】 珪酸アルカリに含まれている金属性不純物の除去効果が高く、金属性不純物の含有量が極めて少ない高純度活性珪酸水溶液の製造方法を提供すること。
【解決手段】 活性珪酸水溶液に、窒素原子又は燐原子を有するキレート化剤を混合することにより、又は珪酸アルカリ水溶液に、キレート化剤を混合し、次いで、キレート化剤を含有する珪酸アルカリ水溶液を、Ｈ形陽イオン交換体に接触させることにより、キレート化剤を含有する活性珪酸水溶液を得、次いで、キレート化剤を含有する活性珪酸水溶液を陰イオン交換体に接触させることを特徴とする高純度活性珪酸水溶液の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 自由空間リアクタ内において、超高純度のシリコン含有ガスを粒子シリコン及びその他の分解生成物に分解することにより半導体級シリコンを連続生産するための方法及びリアクタを提供する。
【解決手段】 リアクタ内において、分解ガスの気体ストリームは旋回運動に設定される。当該方法およびリアクタはさらに、形成された粒子シリコンを溶融して、単体シリコンの連続相を得、液体シリコンを成型して半導体級シリコンの固体を形成する手段を有してもよい。 （もっと読む）

部分凝集疎水性コロイドシリカを調製する方法であって、該方法が：
（ａ）少なくとも１つの部分凝集親水性コロイドシリカを含むシリカゾルを
（ｂ）（ｉ）式Ｒ^１_ａＨ_ｂＳｉＸ_{４−ａ−ｂ}を持つ少なくとも１つの有機シラン；
（ｉｉ）式（Ｒ^１_２ＳｉＯ）_ｍを持つ少なくとも１つの有機シクロシロキサン；
（ｉｉｉ）式Ｒ^１_３ＳｉＯ（Ｒ^１ＳｉＯ）_ｎＳｉＲ^１_３を持つ少なくとも１つの有機シロキサン；および
（ｉｖ）（ｉ）〜（ｉｉｉ）の内の少なくとも２つを含む混合物
から選択される有機シリコン化合物と
（ｃ）水；
（ｄ）有効量の水混和性有機溶媒；および
（ｅ）酸触媒
の存在下に反応させ、該部分凝集疎水性コロイドシリカおよび水相を生成させることを含み、式中、
Ｒ^１が、ヒドロカルビルもしくは置換ヒドロカルビル；
Ｘが、加水分解可能な基；
ａが、０、１、２、もしくは３；
ｂが、０もしくは１；
ａ＋ｂ＝１、２、もしくは３、但し、ｂ＝１の場合ａ＋ｂ＝２もしくは３；
ｍが、３〜１０の平均値を持ち；
ｎが、０〜１０の平均値を持つ
方法、ならびに該方法により生成された部分凝集疎水性コロイドシリカ。本発明はまた、
（Ａ）硬化可能なシリコーン組成物；および
（Ｂ）部分凝集疎水性コロイドシリカ５〜６０重量／重量％
を含む充填シリコーン組成物、ならびに該充填シリコーン組成物の反応生成物を含む硬化シリコーン生成物をも提供する。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム濃度が従来より高い金属シリコンを原料として使用するシリコン塩化物の製造方法、およびそれを用いる多結晶シリコンの製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム濃度が５００〜３５００ｐｐｍである金属シリコンに、塩化水素、または四塩化珪素および水素を反応させた後、冷却し、得られるシリコン塩化物凝縮液を蒸留する。蒸留工程で、シリコン塩化物凝縮液からシリコン塩化物を蒸発させて回収し、塩化アルミニウム濃縮液を蒸留塔から抜き出して残存するシリコン塩化物を回収すると共に、残留する再濃縮物を系外へ排出することとすれば、リボイラーや周辺の配管等における塩化アルミニウムの析出、配管の閉塞を確実に抑制することができる。この方法で得られるシリコン塩化物は、アルミニウム濃度レベルに問題はなく、多結晶シリコン製造時の原料として十分使用できる。 （もっと読む）

本発明は、珪素塊や珪素結晶製造用の溶融珪素製造のための開始材料として最適な珪素を製造する方法に関連し、次の工程からなっている。モノシランと水素から成る混合ガスを反応器へ誘導する、珪素パウダーを生成するのに伴い混合ガスを熱分解する、混合ガスから得られた珪素パウダーを分別し、分別された珪素パウダーを機械的に圧縮する。
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水と沈降シリカとを含むスラリーを脱水する方法 が提供される。本方法は、実験室規模で、かつ、適度な長さの時間で行うことができる品質管理試験のための材料を得るために、スラリーから水不溶性研磨剤を分離することを可能にする。 （もっと読む）

中空ナノ粒子を作るための方法であって、ステップa)電荷を有する高分子電解質を所定量与えること；ステップb)少なくとも２の原子価を有する対イオンを所定量与えること；ステップc)、高分子電解質が自己組織化して球状凝集体を形成するように溶液中で高分子電解質と対イオンとを結合させること；ステップd)ナノ粒子が球状凝集体のまわりに自己配列するようにナノ粒子を溶液に添加すること、を有する。高分子電解質は正又は負の電荷を有する。高分子電解質の全電荷に対する対イオンの全電荷の電荷比Ｒは1.0よりも大きい。
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