【課題】ワークに切削加工を施す際に生じるスラッジに含まれるワークの微粒子状切粉を高純度で回収することが可能である微粒子状切粉の回収方法及び回収装置を提供する。
【解決手段】シリコンインゴットを切断加工して生じるシリコン微粒子状切粉を含むスラッジに、水，エタノール及び塩酸を加えてｐＨ３〜７の懸濁液Ｌを生成して収容する洗浄槽２と、洗浄槽２内の懸濁液Ｌを送給する循環ポンプ３と、循環ポンプ３により送給された懸濁液Ｌを収容する水槽４と、水槽４内の懸濁液Ｌに超音波を照射してその表面から微細な液滴Ｄを生じさせる超音波振動子５と、水槽４内に不活性ガスを導入して浮遊する微細な液滴Ｄを不活性ガスに載せて水槽４外に送り出すコンプレッサ６と、不活性ガスとともに送給された微細な液滴Ｄからシリコン微粒子状切粉を回収する微粒子回収部７を備えている。 （もっと読む）

【課題】比較的低い温度で粉末状シリコン材料から高純度のシリコン塊を製造することができるシリコン塊の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン塊の製造方法は、粉末状シリコン材料を溶融補助剤の存在下で溶融させて溶湯を形成する工程と、前記溶湯を固化させてシリコン塊を形成する工程と、前記溶湯を固化させる前に不純物を除去する工程とを備える （もっと読む）

【課題】ミストの分離能力が高く、かつメンテナンスが容易なミスト分離装置を有する多結晶シリコン製造装置を提供する。
【解決手段】多結晶シリコンが析出される反応炉と、反応炉に接続された配管内を流れる排ガス中のミストを分離するミスト分離装置とを有する多結晶シリコン製造装置であって、ミスト分離装置は、配管２の途中に設けられるハウジング５に、その管路６を直交する方向に開放する開口１０ａが蓋体１２により開閉可能に設けられるとともに、該蓋体１２に、開口１０ａから管路６内に挿入されるデミスター積層体７が設けられ、該デミスター積層体７は、表面に凹凸を有するワイヤメッシュ板２１が複数枚積層されてなり、その積層方向を管路６と直交する方向に向けて配置されている。 （もっと読む）

【課題】フィルターに固着したポリマー化合物を安全に除去して、その再利用を容易にする。
【解決手段】クロロシランを含む原料ガスを高温下で反応させて多結晶シリコンを析出させるとともに、その排ガス中のポリマー化合物を含むミスト分をフィルター１３によって捕集した後、これらミスト分が捕集された後の排ガスを気液分離工程により気液分離し、そのガス分及び液分を精製・蒸留することにより原料ガスの一部とする多結晶シリコン製造方法において、フィルター１３の整備工程を有し、該整備工程は、フィルター１３を収容するハウジング１２の前後の流路を閉鎖しておき、該ハウジング１２内にクロロシランを注入するとともに、該ハウジング１２の内部を加熱することにより気化したガスをハウジング１２から排出し、排出したガスを気液分離工程に案内する。 （もっと読む）

固体マルチ結晶シリコンインゴット又はウェハの製造方法であって、（ｉ）反応スペースに面する内側表面及び（ｉｉ）反対側の外側表面を有する反応炉チャンバ壁と製品出口とを具える反応炉チャンバへ、シリコン含有ガスを導入するステップと、前記反応スペース内でプラズマを発生させるステップと、前記シリコン含有ガスに十分な温度を与えることによって液体シリコンを製造するために、当該シリコン含有ガスを熱分解するステップと、前記シリコン含有ガスを熱分解しながら、前記反応炉チャンバ壁の内側表面を、シリコンの融点未満の平衡温度に維持するステップと、前記製品出口からの液体シリコンを固体マルチ結晶シリコンインゴット又は固体マルチ結晶シリコンウェハに鋳造するために、当該液体シリコンをモジュールへ直接導入するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】珪酸は、しばしば極性化合物、例えば塩化コリン、プロピオン酸または蟻酸のための担持材料として使用されるので、極性化合物に関連して特に良好な吸収挙動を有する珪酸を提供する。
【解決手段】少なくとも１５〜６０の一定のアルカリ数の維持下に珪酸塩水溶液を酸により沈殿させることによって得ることができる沈降珪酸または珪酸塩。 （もっと読む）

【課題】クロロシラン類の水素還元反応によって得られるシリコンの製造を安全に連続して行なえるような方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係るシリコンの製造方法は、反応容器内でクロロシラン類と水素とを加熱下で反応させて、シリコンを析出させるとともに、水素、シラン類オリゴマーおよびシリコン微紛を含む排ガスを排出させる工程［１］、前記工程［１］より排出された排ガスを１０５℃以上の温度に維持しながら搬送する工程［２］、前記工程［２］より搬送された排ガスを、１０５℃以上の温度でフィルタに供給し、かつ、１０５℃以上の温度でフィルタ装置から排出せしめ、当該排ガスからシリコン微紛を除去して、水素およびシラン類オリゴマーを含む混合ガスを得る工程［３］、前記工程［３］より得られた混合ガスを冷却し、該混合ガスから水素をガスとして分離する工程［４］などを含む。 （もっと読む）

【課題】塩化反応炉で生成したクロロシランを含むガスの中から塩化アルミニウムを効率的に除去する。
【解決手段】容器１の中に塩化ナトリウムを充填して加熱手段１７により加熱しておき、該塩化ナトリウムの層１６の中に、金属シリコンと塩化水素の反応により生成されたクロロシランを含むガスを通過させることにより、該ガス中に含まれる塩化アルミニウムと塩化ナトリウムとの複塩を生成し、該複塩を分離させた後のガスをガス回収管２６から回収する。 （もっと読む）

種の供給源を、純粋でない液体のクロロシランの供給源に導入する工程、第１の撹拌された容器中で、液体のクロロシランから種上に塩化アルミニウム及びその他の金属塩化物の結晶化を開始させる工程、結果として生ずる液体及び固体の混合物を冷却器を通過させて追加の結晶化のために第２の撹拌容器に通す工程、結果として生ずる液体及び固体の混合物を固体除去デバイスに移す工程、固体含有量の減少した液体を更なる方法又は容器に移し、固体含有量の高い液体を廃棄物濃縮デバイスに移す工程、結果として生ずる固体含有量の減少した液体を更なる方法又は容器に送り、結果としての固体含有量の非常に高い液体を撹拌されている廃棄物貯蔵容器に送る工程を有する、液体のクロロシランから塩化アルミニウム及びその他の金属塩化物を取り除くための方法。
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【課題】高純度シリコンを製造するための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】（１）トリクロロシランの生成、（２）区分（１）で生成されたトリクロロシランの不均化によるモノシランの生成、および（３）このようにして生成されたモノシランの熱的分解の区分を有し、その際、 区分（１）で、トリクロロシランの生成のためにシリコンは少なくとも１つの塩化水素処理工程において塩化水素と反応され且つ、それに同時に、区分（２）で副生成物として形成している四塩化ケイ素がシリコンおよび水素と反応される高純度シリコンの製造方法、およびトリクロロシランの生成のための生成装置（１）、モノシランを生成するためのさらなる装置（２）および生成されたモノシランの熱的分解のための装置（３）を有する高純度シリコンの製造設備であって、装置（１）が少なくとも１つの塩化水素処理反応器、少なくとも１つの変換反応器、トリクロロシラン含有反応混合物のための少なくとも１つの回収容器および少なくとも１つの分離装置を有し、装置（２）が少なくとも１つの不均化反応器および少なくとも１つの分離装置を有し、且つ装置（３）がモノシランのための少なくとも１つの分解反応器を有し、装置（２）が、装置（２）において形成している四塩化ケイ素が装置（１）における少なくとも１つの変換反応器に供給され得る方法により少なくとも１つの戻り配管によって装置（１）に接続されている、前記設備。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの支持要素と、アルカリケイ酸塩水溶液及びアルミン酸塩修飾又はホウ酸塩修飾二酸化ケイ素を含む反応生成物を含有する少なくとも１つの保護コーティングとを含む光透過性熱保護要素に関する。本発明は、前記要素を製造するための方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】リンを効率的に除去することができるシリコン再生方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン再生方法は、砥粒とクーラントを含むスラリーを用いたシリコン塊又はシリコンウエハの切断又は研磨によって前記スラリーにシリコン屑が混入された廃スラリー又はその濃縮分を固液分離してシリコン屑を含有するシリコン回収用固形分を取得し、前記シリコン回収用固形分を酸溶液からなる洗浄液で洗浄し、前記洗浄後に２００℃以上１０００℃以下の温度で前記シリコン回収用固形分を焼成する工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン製造プロセスから排出される四塩化珪素を水素と反応させて三塩化シランを生成する転換反応プロセスにおいて、この生成ガスから三塩化シランを分離回収した後に六塩化二珪素などを回収する転換反応ガスの分離回収方法を提供する。
【解決手段】四塩化珪素と水素ガスから三塩化シランを生成する転換反応プロセスにおいて、生成ガスを冷却して凝縮液とし、この凝縮液から三塩化シランおよび四塩化珪素を蒸留分離した後に六塩化二珪素を留出回収することを特徴とする転換反応ガスの分離回収方法であり、例えば、凝縮液から三塩化シランを留出させる第１蒸留工程と、第１蒸留工程の残液から四塩化珪素を留出させる第２蒸留工程と、第２蒸留工程の残液から六塩化二珪素を留出させる第３蒸留工程とを有する転換反応ガスの分離回収方法。 （もっと読む）

無機粒子（例えば、シリカ）表面上にフルオロシランを共有結合（すなわち、グラフト）することによる、かかる疎水化粒子の製造が教示されている、Ｏｌｅｓらによる出願の米国特許出願公開第２００６／０２２２８１５号明細書に例示されるように、疎水性ならびに疎油性を付与するために、フルオロシランでの無機粒子の疎水化が用いられている。Ｏｌｅｓらにより用いられているフルオロシランは、４つの結合を有するケイ素原子からなり、そのうちの３つは、加水分解性基への直接結合であり、その加水分解性基は、無機粒子の表面と反応し、それによってフルオロシランが粒子に共有結合される。残りの結合は、ケイ素原子からパーフルオロアルキル基への直接結合である。それと異なり、本発明の疎水化無機粒子は、そのケイ素原子が最初に二価有機結合性基に結合し、その基が次にパーフルオロアルキル基に結合する、フルオロシランからの残基を含む。前述の二価有機結合性基の組み込みによって、得られた疎水化無機粒子の、疎水性ならびに疎油性を付与する能力が向上することが発見されている。
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【課題】 簡便な化学エッチングによって、シリコンナノ粒子を高収率に生成し、表面修飾によって、生体分子への応用が可能な親水性を持たせる。
【解決手段】 シリコン基体１０への、ＨＦ水溶液５０における表面処理工程と、超音波を使用した回収処理工程とを特徴とした化学エッチング方法と、それを用いて生成されたシリコンナノ粒子表面への、官能基を持つアリル化修飾により親水性の付与。このようにして得られたシリコンナノ粒子を用い、生体分子を標識して観察する。 （もっと読む）

【課題】廃スラリーから簡易に多くのシリコンを回収することができるシリコン再生装置を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン再生装置は、砥粒とクーラントを含むスラリーを使用してシリコンを切断する切断装置又は研磨する研磨装置から排出された廃スラリー、又は前記廃スラリーが濃縮された廃スラリー濃縮分を固液分離してシリコン回収用固形分を取得する固液分離部と、第１洗浄部からの前記シリコン回収用固形分を溶融及び固化してシリコン含有塊を得る溶融部と、前記シリコン含有塊を破砕してシリコン含有破砕体を取得する破砕部と、前記シリコン含有破砕体を酸水溶液で洗浄しその後に水で洗浄する第２洗浄部を備える。 （もっと読む）

本発明は、無機材料に基づく酸官能化コアと少なくとも１つの導電性のポリチオフェンを含むシェルとを含むコアシェル構造を有する粒子、かかる粒子を含む分散液、ならびにその調製および使用に関する。 （もっと読む）

本発明は、２反応器容器構成中で四塩化ケイ素を液体金属還元剤と反応させることによる高純度元素シリコンの製造方法に関する。第１の反応器容器は、四塩化ケイ素を元素シリコンに還元して、元素シリコンと還元性金属塩化物塩との混合物を得るために使用され、一方、第２の反応器容器は、元素シリコンを還元性金属塩化物塩から分離するために使用される。この発明を使用して製造された元素シリコンは、シリコン光起電装置またはその他の半導体装置の製造に十分な純度を有する。 （もっと読む）

シリコンが溶媒金属から結晶化される、シリコンを精製するための方法が開示される。当該方法は、シリコン、溶媒金属、および不純物を含有する溶融液を提供するステップと、第１のシリコン結晶および第１の母液を形成するように溶融液を冷却するステップと、第１の母液から第１のシリコン結晶を分離するステップと、第１のシリコン結晶を、第１の母液を溶解させる化合物と接触させるステップと、洗浄液から洗浄された結晶を分離するステップとを含む。
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低品位シリコン原料を用いてシリコンインゴットを形成する技術は、坩堝装置内
で、低品位シリコンから溶融シリコンを生成し、前記溶融シリコンの方向性固化を行って
、前記坩堝装置内にシリコンインゴットを形成する。前記方向性固化により、概して固化
したシリコン分量と、概して溶融したシリコン分量とが生成される。本方法およびシステ
ムは、前記概して固化したシリコン分量を前記坩堝装置に内に保持しながら、前記概して
溶融したシリコン分量の少なくとも一部を前記坩堝装置から除去することを含む。前記概
して固化したシリコン分量の方向性固化を制御する一方で、より不純物が混入した溶融シ
リコンを除去することによって、前記低品位シリコン原料よりも概して品質の高いシリコ
ンを含むシリコンインゴットを得る。
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