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Fターム[4J100BC28]の内容

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【課題】多層レジストプロセス用、特には2層レジストプロセス用又は3層レジストプロセス用のレジスト下層膜材料であって、特に短波長の露光に対して、優れた反射防止膜として機能し、即ち透明性が高く、最適なn値、k値を有し、しかも基板加工におけるエッチング耐性に優れたレジスト下層膜材料を提供する。
【解決手段】リソグラフィーで用いられる多層レジスト膜のレジスト下層膜材料であって、少なくとも、ヒドロキシ基を有するビニルナフタレンとヒドロキシ基を有さない特定のオレフィン類の繰り返し単位とを共重合してなる重合体を含むものであることを特徴とするレジスト下層膜材料。 (もっと読む)


【課題】ポリビニルアルコールを使用しなくても、水溶性ポリマーのみでレジストパターンを微細化することができ、さらに水溶性、被膜強度、平滑性などに優れた被膜形成用樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】式(I):


(式中、Rは水素原子または炭素数1〜4のアルキル基、Xは酸素原子、NH基または硫黄原子、Rは水酸基を有していてもよい炭素数1〜8のアルキレン基、RおよびRはそれぞれ独立して炭素数1〜4のアルキル基を示す)
で表されるアミノ基含有モノマー20〜80重量%および式(II):


(式中、Rは前記と同じ。Rはカルボン酸エステル基、芳香族基、複素環含有基またはカプロラクタム基を示す)
で表されるビニル基含有化合物20〜80重量%を含有するモノマー組成物を重合させてなる被膜形成用樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】安全性に問題がなく、感度、解像度、溶液としての保存安定性等に優れ、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような良好な現像マージンを有する感放射線性樹脂組成物、ならびに該組成物から層間絶縁膜およびマイクロレンズを形成する方法を提供すること。
【解決手段】上記感放射線性組成物は、(a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも1種、(a2)特定のオキセタン基含有不飽和化合物、および(a3)特定のエーテル構造を有する不飽和化合物の共重合体、ならびに〔B〕1,2−キノンジアジド化合物を含有する。 (もっと読む)


【課題】 カラーフィルター製造において着色画像形成用の感光液に用いられ、加熱工程による色度の変化、透過率の低下の抑制された高耐熱性着色組成物を提供する。
【解決手段】 色素及び樹脂を含有する着色組成物において、樹脂がジシクロ環又はトリシクロ環を有するモノマ、水酸基を有するモノマ及びN−置換マレイミド基を有するモノマを含有するモノマ成分を重合して得られる重合体(A)に、下記一般式(1)で表されるエチレン性不飽和基含有イソシアネート(B)を付加させて合成された樹脂である着色組成物。
CH2=C(R1)−COO―X−NCO (1)
[式中、R1は水素原子又はメチル基を示し、Xは炭素数2〜6個の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基、又は−R2−OCONH−R3−(R2は炭素数2〜6個の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基を表し、R3はCON−R3−NCOで表されるジイソシアネート化合物中の2価のR3基を表す。)である。] (もっと読む)


【課題】感度、現像性、寸法忠実度等に優れる。
【解決手段】繰り返し単位[1]を含有し、分子量が〜100,000である樹脂と、酸発生剤と、酸架橋剤とを含有する


[R、Rのいずれか一つがRfSONHCH−基] (もっと読む)


【課題】加熱工程による色度の変化、透過率の低下、コントラストの低下の抑制された高耐熱性着色組成物、感光性着色樹脂組成物、着色画像形成用感光液、着色画像の製造法、カラーフィルタの製造法及びカラーフィルタの提供。
【解決手段】ジシクロ環または、トリシクロ環を有するモノマ3〜70重量%、水酸基を有するモノマ5〜50重量%及びN−置換マレイミド基を有するモノマ5〜50重量%を含有するモノマ成分を重合して得られる重合体(A)に、下記一般式(1)で表されるエチレン性不飽和基含有イソシアネートを1〜30重量%付加させた重合体と、白色無機微粒子表面に有機顔料を付着させた一次粒子の平均粒子径が0.001〜1.0μmである有機無機複合顔料よりなる着色組成物。
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本発明の発見は、主たる重合性の基に加えて可逆的な光架橋性の基を含有する単量体を使用する。これらの材料の機械的な性質及びその光活性化された形状記憶効果の可逆性は、弾性率及び形状記憶効果における変化をもたらすための光照射を使用することの有効性を立証する。その好適な実施形態において、その反応混合物は、光反応性の基及び重合性の基を含む光反応性の単量体;より好ましくは、アクリラートに基づいたものである、単量体の混合物である、第二の単量体;多官能性の架橋剤、好ましくは1,6−ヘキサンジオールジアクリラート(HDODA);開始剤、好ましくは遊離基開始剤;及び第五の、自由選択の、変性させる重合体である構成成分を含む。その第二の単量体、架橋剤、及び開始剤の混合物は、その反応性の単量体が、中へ組み込まれる基礎材料の重合体マトリックスを含む。その光反応性の単量体の重合性の基は、その光反応性の単量体が、その基礎材料の重合体マトリックスと重合することを許容する。

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【課題】 プラスチックフィルム等の基材上に組成のバラツキが少ない無機層を形成でき、しかもガスバリア性、防湿性、透明性、耐熱性が優れ、かつ基材と無機層との密着性に優れた積層体を与えることのできるメタライジング用アンカーコート剤を提供すること。
【解決手段】 カルボキシル基不含有オレフィン系不飽和化合物(a1)とカルボキシル基含有オレフィン系化合物(a2)を重合させて得られるカルボキシル基含有共重合体(A)、および特定の構造を有するエポキシ化合物(b1)とメトキシシラン部分縮合物(b2)との脱メタノール反応によって得られるグリシジル基含有メトキシシラン部分縮合物(B)を、開環エステル反応させてなるメトキシ基含有シラン変性重合体(1)、ならびに有機溶剤(2)を含有することを特徴とするメタライジング用アンカーコート剤を用いる。 (もっと読む)


【課題】 接着力、耐熱性、絶縁性、平坦性、耐化学性などの性能に優れ、特に液晶表示素子の有機絶縁膜形成時、感度、残膜率、UV透過率が優れているため層間有機絶縁膜として適し、オーバーコート用、ブラックマトリックス用、コラムスペーサ用またはカラーフィルター用レジスト樹脂として使用され、感度及び残膜率を向上させることができる。
【解決手段】 本発明によるネガティブ感光性樹脂組成物は、a)i)アリルアクリル系
化合物、ii)不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物、またはこれらの混合物、iii)エポキシ基含有不飽和化合物、及びiv)オレフィン系不飽和化合物を共重合させて得られたアクリル系共重合体;b)光開始剤;c)エチレン性不飽和結合を有する多官能性モノマー;d)エポキシ基またはアミン基を含むシリコン系化合物;及びe)溶媒
を含む。 (もっと読む)


【課題】粘着性、柔軟性及び耐久性に優れ、偏光板やDVD等の光学基板の接着にも適用し得る粘着剤組成物を提供する。
【解決手段】(A)(メタ)アクリロイルオキシ基を有し、重量平均分子量が1000〜30000、ガラス転移温度が0℃以下であるポリマー(ポリマー(A))5〜95質量部;及び(B)重量平均分子量が20万〜200万、ガラス転移温度が0℃以下であるポリマー(ポリマー(B))5〜95質量部(但し、ポリマー(A)とポリマー(B)との合計は100質量部)を含有する粘着剤組成物及びこれを硬化させた粘着材を提供する。 (もっと読む)


【課題】 粘度が低いため、インクジェット用インクとして好適に使用して印字を形成できる上、硬化時間が短く、かつ硬化後の印字が、被印字体に対する密着性に優れると共に、耐擦過性にも優れるため、特に、非吸収性の被印字体の表面に印字を形成するのに適した、良好な、光硬化性のインクジェット用インクを提供する。
【解決手段】 分子中にジシクロペンテニル基を有するアクリレートモノマーと、N−ビニルラクタムモノマーと、両モノマーと共重合可能な他の光重合性化合物と、光照射によってこれらの化合物を共重合させて、インクジェット用インクを硬化させるための光重合開始剤と、着色剤とを含有する。 (もっと読む)


【課題】光学材料や吸水による反りが問題になるシート等、高精度な寸法安定性が要求される成形品や吸水と乾燥が長期に亘って繰り返される環境下で使用される成形品の材料として好適な低吸水性の新規な(メタ)アクリル系共重合体を提供すること。
【解決手段】(メタ)アクリル酸エステル単量体(A)に由来する単位、及び下記一般式(I)で示される脂環状メチレン単量体(B)に由来する単位を含有する(メタ)アクリル系共重合体。
【化1】


(式中、Xは、水素または炭素数1〜20の炭化水素基を表し、nは、2以上20以下のいずれかの整数を表す。) (もっと読む)


【課題】反応性に優れるとともに、高耐熱性および高屈折率を付与することができる、重合特性の異なる2個以上の重合性官能基と芳香環とを分子内に有するモノマーおよび該モノマーの工業的に有利な製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のモノマーは、下記式(I)で表される(メタ)アクリロイル基含有芳香族イソシアネート化合物である。


(式中、R1は単結合または炭素数1〜5の直鎖もしくは分岐のアルキレン基;R2は水素原子またはメチル基;R3は単結合または炭素数1〜3の直鎖もしくは分岐のアルキレン
基;Xはハロゲン原子または電子吸引基;mは0〜4の整数;nは1〜3の整数を表し、1≦m+n≦5である。) (もっと読む)


【課題】 耐熱性、耐侯性、耐油性(特に、耐ブレーキフルード性、耐クーラント性)、圧縮永久歪等に優れた現場成形ガスケットを提供することができる、硬化性に優れた硬化型現場成形ガスケット用組成物、及び該組成物を用いて製造した現場成形ガスケットの提供。
【解決手段】 下記(A)成分、(B)成分を必須成分として含有し、その硬化物が、JIS K 2233に規定される自動車用非鉱物系ブレーキ液に対するJIS K 6258の浸漬試験、又は、JIS K 2234に規定される不凍液に対するJIS K 6258の浸漬試験で、浸漬した前後での質量、体積変化率が50%以下である、耐ブレーキフルード性又は耐クーラント性に優れる組成物。
(A)一般式(1):
−OC(O)C(R)=CH (1)
(式中、Rは水素原子又は炭素数1〜20の有機基を表わす)
で表わされる基を1分子あたり2個以上有し、かつ、そのうち分子末端に前記一般式(1)で表わされる基を1個以上有するビニル系重合体、
(B)開始剤。 (もっと読む)


【課題】 多層の追記型光ディスクの半透明反射層と色素記録層の間で使用され、信号の書き込み時にレーザー光により加熱された場合であっても、信号の読み取りエラーを発生させることのない樹脂層を形成することが可能な光ディスク用紫外線硬化型組成物を提供する。
【解決手段】
ラジカル重合性化合物を含有する光ディスク用紫外線硬化型組成物であって、
(1)同一分子内に多環式構造と、二以上のラジカル重合性不飽和二重結合を有する化合物A、
(2)同一分子内にラジカル重合性の不飽和二重結合と式I


で表される3価の部分構造を有する化合物B、及び
(3)同一分子内に環式構造と、一つのラジカル重合性不飽和二重結合を有する化合物C
を含有し、
前記化合物Aと前記化合物Bの合計含有比率が40質量%以上であることを特徴とする光ディスク用紫外線硬化型組成物。 (もっと読む)


少なくとも下記(A)〜(C)をいずれも含有するメタクリル樹脂モノマー組成物
(A)メチルメタクリレート単量体、または/およびそのシラップ
(B)一般式(1)で表される化合物


[式中、RとR、および、RとRはそれぞれにおいて同時に水素原子または同時にメチル基を表す。]
(C)ラジカル開始剤
は、PMMA本来の高い透明性を損なうことなく、耐熱性、剛性、低吸水性、および、耐薬品性などの樹脂物性を向上させた架橋性メタクリル樹脂、および、該樹脂からなる透明部材、光学部材を提供することができる。
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【課題】 感度、絶縁性、耐化学性などの性能に優れているだけでなく、特に透過度および貯蔵安定性を顕著に向上させて、LCD製造工程の層間絶縁膜を形成することに適合した感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 本発明は感光性樹脂組成物に関するものであって、特にa)i)不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物、またはこれらの混合物、ii)化学式(1)〜(8)からなる群から選択される1種以上のエポキシ基含有不飽和化合物、およびiii)オレフィン系不飽和化合物を共重合させた後、未反応単量体を除去して得られたアクリル系共重合体;b)1,2−キノンジアジド化合物;およびc)溶媒を含む感光性樹脂組成物に関する。 (もっと読む)


【課題】 フォトレジスト膜とインターミキシングを起こすことなくフォトレジスト上に被膜を形成でき、液浸露光時の媒体に溶出することなく安定な被膜を維持し、さらに液浸露光でないドライ露光を行なった場合からのパターン形状劣化がなく、かつアルカリ現像液に容易に溶解する上層膜を形成する。
【解決手段】 液浸露光されるフォトレジスト膜に被覆される上層膜を形成するための重合体であって、該重合体は式(1)で表される基をその側鎖に有する繰り返し単位が全体の繰り返し単位の30〜100モル%含まれており、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ法により測定される重量平均分子量が2,000〜100,000であり、アルカリ可溶性である。
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【課題】 感度、透過率、絶縁性、耐化学性、平坦性、コーティング性などの性能に優れているだけでなく、特に無機質材料との接着性が顕著に向上して、LCD製造工程の層間絶縁膜を形成するのに適合する感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 本発明による感光性樹脂組成物は、a)i)不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物、またはこれらの混合物、ii)エポキシ基含有不飽和化合物、iii)オレフィン系不飽和化合物、およびiv)シラン系単量体を共重合させて得られたアクリル系共重合体;b)1,2−キノンジアジド化合物;およびc)溶媒を含む。 (もっと読む)


【課題】硬化性および寸法安定性に優れる硬化物層を形成しうる、重合時の硬化収縮率が小さく、なおかつ低粘度で作業性良好な、硬化性組成物を提供する。
【解決手段】ウレタン(メタ)アクリレート(A)およびウレタン(メタ)アクリレート(A)以外の(メタ)アクリル酸エステル(B)を含有する硬化性組成物であって、該ウレタン(メタ)アクリレート(A)が、ポリカーボネートジオール、ポリエステルジオールおよびポリオレフィングリコールから選ばれるジオール(a1)と(メタ)アクリロイルオキシアルキルイソシアネート(a2)との反応生成物である硬化性組成物。 (もっと読む)


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