【課題】シャドウマスクによるアプローチを利用して、高密度パターン化メディア上にサーボパターンを加工する装置、システム、方法を提供する。
【解決手段】装置は、リソグラフィックプロセスによって生成される、複数のアパーチャ306を有する蒸着マスク302を含む。固有の蒸着角度に方向付けされた蒸着ソース500から蒸着マスク302のアパーチャ306を通して、材料308を基板300上に形成する。このように、各アパーチャ306は複数の蒸着位置310に対応する。アパーチャ306の寸法を正確に定めて、アパーチャを正確に位置付けることによって、結果として定まる蒸着位置からサーボパターンフィーチャーを生成する。前記蒸着マスクは、前記基板上で複数の蒸着位置に材料を向けるようになっている複数のビットパターンアパーチャをさらに含む。前記蒸着位置は、サーボパターンの形成と同時にビットパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】 高精度な面形状を有する多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】 基板４表面にＭｏを含む層とＳｉを含む層を交互に周期的に成膜した構造を有する多層膜６ａ，６ｂを備え、面内で除去量に分布を生じさせて前記多層膜６ａ，６ｂの表面近傍の多層膜６ｂを除去した多層膜反射鏡２において、前記多層膜６ｂの除去による応力開放によって生じた変形を相殺するような面内分布を有するＳｉまたはＳｉを含む単層膜６ｃを前記表面近傍の多層膜６ｂが除去された前記多層膜６ｂの表面に備える。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製切削工具を提供する。
【解決手段】高速度工具鋼基体の表面に、いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは特定の組成式：［Ｃｒ_{1-（Ａ＋Ｂ）}Ａｌ_ＡＳｉ_Ｂ］Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、上記薄層Ｂは特定の組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｃ＋Ｄ）}Ａｌ_ＣＳｉ_Ｄ］Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、からなり、上記下部層は、単一相構造を有し、特定の組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＳｉ_Ｆ］Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 使用中に傷が発生しない高硬度、高耐傷性で腐蝕が発生しない高耐蝕性の金色色調の装飾部品を提供すること。
【解決手段】 ステンレス、ＡｌおよびＡｌ合金、ＴｉおよびＴｉ合金、黄銅などの軟質基材からなる時計外装部品、ピアス、イヤリング、指輪、メガネフ−ム、ペンダント、ネックレス、ブレスレット、ブロ−チなどの装飾部品の表面に、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｚｒのうちから少なくとも１種類以上の金属からなる窒化物層とＡｕ合金層が交互に繰り返し積層され、最表層がＡｕ合金層である多層積層構造の硬化層を形成させることにより衝撃によるキズが発生しない高硬度、高耐傷性で腐蝕が発生しない高耐蝕性で金色色調の装飾部品が達成される。 （もっと読む）

【課題】 反射層に接して硫黄を含む保護層を設けても反射層が劣化せず安定性の高い光記録媒体の提供、及び、その光記録媒体を実現するために必要なスパッタリングターゲットの提供。
【解決手段】 （１）少なくとも記録層、保護層、反射層を有する光記録媒体であって、保護層に接する反射層が、Ａｇを主成分とし、Ｉｎを０．３〜１重量％、Ｃｌを０．１〜０．６重量％含むことを特徴とする光記録媒体。
（２）保護層の材料が硫黄を含むことを特徴とする（１）記載の光記録媒体。
（３）Ａｇを主成分とし、Ｉｎを０．３〜１重量％、Ｃｌを０．１〜０．６重量％含むことを特徴とする（１）又は（２）記載の光記録媒体の反射層製膜用スパッタリングターゲット。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ガスタービンエンジンで使用される部品のための、経済的で効率のよいハイブリット式断熱被膜の適用方法を提供する。
【解決手段】第１のマスカントで、部品の第１の表面の少なくとも一部をマスキングするステップと、その部品の第２の表面の少なくとも一部に第１の被覆材を適用するステップと、第１のマスカントを除去するステップと、任意に、第２のマスカントで上記部品の第２の表面の少なくとも一部をマスキングするステップと、上記部品の第１の表面の少なくとも一部に第２の被覆材を適用するステップと、上記任意の第２のマスカントを除去するステップ、とを含んでなることを特徴とするハイブリッド式断熱被膜を適用する方法。 （もっと読む）

【課題】従来の機械部材は耐摩耗性、耐焼き付き性及び耐腐蝕性に劣る欠点があった。
【解決手段】本発明の窒素含有Ｃｒ被膜においては、窒素を含有するＣｒ膜中に１００原子当たり５０〜９９のクロム原子及び５０〜１の窒素原子を含むＣｒ_X Ｎ_Y 結晶を点在せしめる。この被膜は窒素の雰囲気中でクロムをスパッタリングすることによって形成する。また、このスパッタリングを行う際、イオンボンバード処理を行う。また、機械部材、特に自動２輪車、自動３輪車、自動４輪車等の摩擦摩耗部品の表面に被膜を設ける。 （もっと読む）

【課題】エッチング法等によらず、簡単かつ鮮明に、微細な線状模様を、容器表面に付与することのできる、優れた模様付容器の製法およびそれによって得られる模様付容器を提供する。
【解決手段】蓋体４の表面に、パッド印刷によってインクを、幅０．０５〜３．０ｍｍ、高低差０．０１〜０．０３ｍｍの線状模様Ｐとなるよう印刷し、ついで、その印刷面を、厚み０．００４〜０．１ｍｍのアルミニウム薄膜層６で被覆して、上記アルミニウム薄膜層６表面に、その下の線状模様Ｐの凹凸が浮かび上がるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、硬質皮膜の有する耐高温酸化性と高硬度の特性を犠牲にすることが無く、特に硬質皮膜の潤滑特性と靭性の改善することである。
【解決手段】硬質皮膜は４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｂから選択される１種以上の金属元素とＳｉを含み、Ｃ、Ｎ、Ｏから選択される１種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はＳｉ含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、ラマン分光分析による該α型Ｓｉ_３Ｎ_４のピーク強度をＩα、該β型Ｓｉ_３Ｎ_４のピーク強度をＩβとしたときに、Ｉβ／Ｉα＜１．０であり、Ｘ線回折による（２００）面のピーク強度をＩｂ、（１１１）面のピーク強度をＩａとしたときに、Ｉｂ／Ｉａ≦１．０であることを特徴とする硬質皮膜である。 （もっと読む）

【課題】硬質皮膜の耐高温酸化性と靭性の特性を犠牲にすることが無く、特に硬質皮膜の潤滑特性を改善することである。
【解決手段】硬質皮膜は、４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｂから選択される１種以上の金属元素とＳｉを含み、Ｃ、Ｎ、Ｏから選択される１種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はＳｉ含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みＴ（ｎｍ）が０．１≦Ｔ≦１００、であり、該硬質皮膜中に存在するＳｉはα型Ｓｉ_３Ｎ_４とβ型Ｓｉ_３Ｎ_４の結晶質相として存在し、ラマン分光分析による該α型Ｓｉ_３Ｎ_４のピーク強度をＩα、該β型Ｓｉ_３Ｎ_４のピーク強度をＩβとしたときに、Ｉβ／Ｉα＜１．０であることを特徴とする硬質皮膜である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、硬質皮膜の耐高温酸化性、潤滑性と靭性の特性を犠牲にすることが無く、特に硬質皮膜の高硬度化による耐磨耗性と密着性の改善を目的とした。
【解決手段】硬質皮膜は４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｂから選択される１種以上の金属元素とＳｉを含み、Ｃ、Ｎ、Ｏから選択される１種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜はｆｃｃ構造の柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はＳｉ含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、ラマン分光分析による該α型Ｓｉ_３Ｎ_４のピーク強度をＩα、該β型Ｓｉ_３Ｎ_４のピーク強度をＩβとしたときに、１．０≦Ｉβ／Ｉα≦２０．０であり、Ｘ線回折による（２００）面の格子定数が０．４１００ｎｍ以上、０．４３００ｎｍ以下であることを特徴とする硬質皮膜である。 （もっと読む）

ウェーハをＲＦバイアスするステップを含むアルミニウムスパッタリングプロセスと、好ましくは２つの異なるプラズマスパッタ反応器（１６８、１７０）において２つの明確に異なる条件下のスパッタリングによって狭いビアホールにアルミニウムを充填するために使用される２段階アルミニウム充填プロセスおよびこのための装置。第１のステップ（１３０）は、例えば１５０℃未満に保持され、また該狭いホールおよび各オーバーハングにアルミニウム原子を引き付けるように比較的高度にバイアスされる比較的冷たいウェーハ上に高い割合のイオン化アルミニウム原子をスパッタリングするステップを含む。第２のステップ（１３２）は、例えば２５０℃より高く保持され、またより等方的かつ均一なアルミニウムフラックスを提供するために実質的に未バイアスの比較的温かいウェーハ上へのより中性的なスパッタリングを含む。該アルミニウムターゲットの背後で走査される該マグネトロンは（８０）該第１のステップにおいて比較的小型かつ非均衡であってもよく、また（６０）該第２のステップでは比較的大型かつ均衡がとれていてもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、硬質皮膜の密着性、靭性や耐高温酸化性を犠牲にすること無く、特に硬質皮膜の耐溶着性と潤滑性を改善することである。
【解決手段】本発明の硬質皮膜は４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｂ、Ｓｉから選択される１種以上の金属元素と、Ｏを含みＣ、Ｎから選択される１種以上の非金属元素によって構成され、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はＯ含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、少なくとも該層間の境界領域では結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みＴ（ｎｍ）が０．１≦Ｔ≦１００、であることを特徴とする硬質皮膜である。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬合金またはサーメットからなる基体の表面に、（ａ）０．５〜２μｍの平均層厚を有し、かつ、特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる基体密着層、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｙ＋Ｚ）}Ａｌ_XＳｉ_ＹＢ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘ：０．４０〜０．６５、Ｙ：０．０１〜０．１５、Ｚ：０．０１〜０．１５、Ｙ＋Ｚ：０．２０以下、を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｃ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｄ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｙ）}Ａｌ_XＢ_Ｙ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．３０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＶＯ_Ｍ（酸化バナジウム）の素地に、前記ＶＯ_Ｍとの合量に占める割合で、０．５〜７原子％の金属Ｖが分散分布した組織を有するＶ分散ＶＯ_Ｍ層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬合金またはサーメットからなる基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、Ａｌ最高含有点と最低含有点とが交互に繰り返し、かつＡｌ最高含有点から最低含有点及び逆方向へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化し、さらに、上記Ａｌ最高含有点及び最低含有点が、特定な組成式を満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点と最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＶＯ_Ｍ（酸化バナジウム）の素地に、金属Ｖが分散分布した組織をの上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】内燃機関の燃焼ガスに曝されるチタン部品の疲労強度および衝撃強度を向上する。
【解決手段】本発明による内燃機関用チタン部品は、表面に形成されたセラミックス層７を有している。セラミックス層７は、１０ｎｍを超え７５０ｎｍ以下の厚さを有し、かつ、シリコンまたはアルミニウムを含む。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】超硬基体の表面に、（ａ）１〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点からＡｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点からＡｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、さらに、上記Ａｌ最高含有点およびＡｌ最低含有点が、特定の組成式を満足し、かつ、隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層、からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点と最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、さらに、上記Ａｌ最高含有点及び最低含有点が、特定な組成式を満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具を提供する。
【解決手段】表面被覆高速度工具鋼製歯切工具が、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは、組成式：［Ｔｉ_{1-（Ａ＋Ｂ）}Ａｌ_ＡＣｒ_Ｂ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、上記薄層Ｂは、組成式：［Ｔｉ_{1-（Ｃ＋Ｄ）}Ａｌ_ＣＣｒ_Ｄ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、組成式：［Ｔｉ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＣｒ_Ｆ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）