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Fターム[4K029AA29]の内容

物理蒸着 (93,067) | 基体 (14,066) | 表面段差を有するもの (259)

Fターム[4K029AA29]に分類される特許

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【課題】塩素フリー型水溶性切削油剤を用いて、溶着が生じ易いステンレス鋼の被削材にねじ立て加工を行う場合でも、溶着が抑制されて安定した切削性能が得られる高寿命の硬質被膜被覆タップを提供する。
【解決手段】スパイラルタップ10の首部14およびねじ部16には、摩擦係数が小さくて高硬度のCr含有ベース層32が工具母材28の表面に設けられるとともに、それよりも更に摩擦係数が低くて優れた潤滑性を有するDLC被膜34がCr含有ベース層32の上にコーティングされているため、優れた耐溶着性、耐摩耗性が得られるようになる。これにより、溶着が生じ易いステンレス鋼の被削材に塩素フリー型水溶性切削油剤を用いてねじ立て加工を行う場合でも、溶着が抑制されて安定した切削性能でねじ立てが行われるようになり、工具寿命が向上する。 (もっと読む)


【課題】凹凸パターンの記録層を有し、表面が充分に平坦で、記録/再生特性が良好な磁気記録媒体を製造できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板12の上に所定の凹凸パターンで形成されて凸部として記録要素32Aが形成された記録層32及び記録層32の上に形成された被検出材44を有する被加工体10の上に充填材36を成膜して凹部34を充填し、被加工体10の表面に加工用ガスを照射して記録要素32Aの上面よりも上側の充填材36及び被検出材44を除去して表面を平坦化し、被加工体10から除去されて飛散する被検出材44に含まれる元素を検出して該被検出材44に含まれる元素の検出結果に基いて加工用ガスの照射を停止する。被検出材44としてAl、Y、Zr、Nb、Rh、Ag、Tb、Ta、Au、Bi、Ti、In、Wのいずれかの元素を含む材料を用いる。 (もっと読む)


【課題】複雑な表面形状の基材表面に所望の色で、かつ均一な発色で成膜できる金属酸化物被膜及び金属酸化物被膜被覆部材を提供する。
【解決手段】金属酸化物被膜は、金属酸化物を主成分とする無機顔料からなる金属酸化物被膜であって、前記金属酸化物が、アルミニウム(Al)、コバルト(Co)、クロム(Cr)、銅(Cu)、鉄(Fe)、マグネシウム(Mg)、マンガン(Mn)、ニッケル(Ni)、パラジウム(Pd)、アンチモン(Sb)、シリコン(Si)、スズ(Sn)、チタン(Ti)、タングステン(W)、亜鉛(Zn)の中から選ばれる少なくとも2つの金属の酸化物を主成分とし、L*a*b*表色系(CIE表色系)による色評価が30<L*<100、一60<a*<25、−25<b*<60の範囲の色度であり緑色系の色を呈し、高周波スパッタリング法によって形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】陽極酸化ポーラスアルミナ細孔内に真空蒸着法により他物質を充填するに際し、高アスペクト比の充填構造を簡便に、かつ、安価に達成可能とした、陽極酸化ポーラスアルミナ複合体の製造方法を提供する。
【解決手段】エッチング処理により少なくとも陽極酸化ポーラスアルミナの細孔の開口部を拡径した後、細孔内に真空蒸着により他物質を充填する方法であって、前記エッチング処理の後再び陽極酸化を行うことにより、初期に形成されていた細孔の底部から延長する細孔を形成し、この2段の細孔に対してさらに前記エッチング処理を行うことを特徴とする陽極酸化ポーラスアルミナ複合体の製造方法。 (もっと読む)


本発明は、全体的に、大きい表面積を備える種々の製品を窒化炭素材料でコーティングするための方法に関する。本発明はまた、この方法により製造された窒化炭素コーティングされた製品にも関する。このコーティングは、レーザー光線を反射するための少なくとも1つのミラーを備える回転光学スキャナを用いてパルス状レーザー光線が走査される超短パルスレーザー堆積を用いて実施される。本発明は、いくつかの工業的にかつ品質的に有利な効果(例えば、高コーティング生産速度、優れたコーティング特性および全体的な低製造コスト)を有する。 (もっと読む)


本発明は、一般的なレベルで、大きい表面積を備える金属製品をコーティングするための方法に関する。本発明はまた、この方法により製造された、コーティングされた金属製品にも関する。このコーティングは、レーザー光線を反射するための少なくとも1つのミラーを備える回転光学スキャナを用いてパルス状レーザー光線が走査される超短パルスレーザー堆積を用いて実施される。本発明は、いくつかの工業的にかつ品質的に有利な効果(例えば、高コーティング生産速度、優れたコーティング特性および全体的な低製造コスト)を有する。 (もっと読む)


【課題】固相エピタキシル成長によって、きわめて簡単な工程で効率的に、複数のシリコンナノ結晶細線を有するシリコンナノ結晶材料を製造する方法及びそのシリコンナノ結晶材料を実現する。
【解決手段】シリコン基板1の表面に形成した酸化シリコン薄膜2に、シリコン基板1の表面に達するナノホール6を任意のサイズ及び二次元配列で形成し、ナノホール6内に、レーザーアブレーション法を用いてシリコン10を供給堆積し、その後、加熱することで、ナノホール6内のシリコン10をシリコン基板1からの固相エピタキシル成長させて単結晶のシリコンナノ結晶細線11を形成し、シリコンナノ結晶細線11から成るシリコンナノ結晶材料12を製造する。 (もっと読む)


【課題】従来知られている硬質皮膜の耐摩耗性をさらに向上させることのできる切削工具用硬質皮膜を提供することを目的とする。
【解決手段】工具の表面に被覆される硬質皮膜であって、(Cr1-a-bAlaSib)(Bxy1-x-y)からなり、それぞれの原子比が、
0<a≦0.4
0.05≦b≦0.35
0.25≦1−a−b≦0.9
0≦x≦0.15
0≦y≦0.5
または、(M1-a-bAlaSib)(Bxy1-x-y)からなり、それぞれの原子比が、
0.05≦a≦0.5
0.1<b≦0.35
0≦x≦0.15
0≦y≦0.5
(但し、Mは、TiとCr)
からなる硬質皮膜を提供する。 (もっと読む)


【課題】高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、1〜6μmの平均層厚を有する組成式:(Ti1−XAl)N(ただし、Xは原子比で、0.4≦X≦0.6)を満足するTiとAlの複合窒化物層からなる硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、上記TiとAlの複合窒化物層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である(001)面および(011)面の法線がなす傾斜角を測定し、測定傾斜角に基づいて、算出した構成原子共有格子点分布グラフにおいて、特定の構成原子共有格子点分布グラフを示す窒化チタンアルミニウム層で構成する。 (もっと読む)


【課題】アンダコート用マスクおよび蒸着用マスクとして兼用ができ、繰り返して使用することができて、かつ、成形品への傷やゴミの付着を発生させずに、低コストで、生産性が高く、電磁波シールド膜を成膜することができるアンダコート用および蒸着用マスク治具と、これを用いた電磁波シールド膜の成膜方法を提供する。
【解決手段】耐食性の高い金属または合金からなるケース(1)により構成され、ケース(1)は、開口部(11、12、13)を備える上型(10)と、下型(20)とからなる。開口部には、マスク部(11a、12a、13a)がそれぞれ設けられている。なお、下型(20)にも、アンダコートおよび蒸着のための開口部があってもよい。 (もっと読む)


【課題】金型を精度よく、容易に再生することができ、かつ、優れた耐久性・耐摩耗性を得ることができるハニカム構造体成形用金型の再生方法及び再生金型を提供すること。
【解決手段】材料を供給するための供給穴12と、供給穴12に連通して格子状に設けられ、材料をハニカム形状に成形するためのスリット溝13とを有し、使用により摩耗した部分を有するハニカム構造体成形用金型1の再生方法は、スリット溝13を形成した金型本体11の押出方向の先端面である溝形成表面130と、溝形成表面130とスリット溝13の内側面131とが交わって形成される角部14の摩耗部分19との上に、溝形成表面130側から成膜材料を供給して、PVD処理を行うことによって再生膜2を形成する。 (もっと読む)


【課題】軟質難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆切削工具を提供する。
【解決手段】被覆切削工具が、超硬基体の表面に、(a)Cr硼化物層の表面層、(b)組成式:(Ti1−(X+Y)AlCr )N(ただし、原子比で、0.45≦X≦0.65、0.01≦Y≦0.10、0.50≦X+Y≦0.70を示す)、を満足するTiとAlとCrの複合窒化物層の耐摩耗硬質層、からなる硬質被覆層を形成してなり、さらに、前記表面層の少なくとも切刃稜線部を含むすくい面部分および逃げ面部分の表面粗さを、前記表面層全面に、Cr窒化物層で構成された研磨材層を蒸着形成した状態で、ウエットブラストにて、噴射研磨材として、酸化アルミニウム微粒を配合した研磨液を噴射し、前記の研磨材層のウエットブラストによる粉砕化Cr窒化物微粒と、噴射研磨材としての酸化アルミニウム微粒の共存下で研磨して、Ra:0.2μm以下としてなる。 (もっと読む)


【課題】軟質難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆切削工具を提供する。
【解決手段】被覆切削工具が、超硬基体の表面に、(a)Cr硼化物層の表面層、(b)組成式:(Ti1−(X+Y+Z)AlCrSi)N(ただし、原子比で、0.45≦X≦0.65、0.01≦Y≦0.10、0.01≦Z≦0.10、0.50≦X+Y+Z≦0.70を示す)、を満足するTiとAlとCrとSiの複合窒化物層の耐摩耗硬質層、からなる硬質被覆層を形成してなり、さらに、前記表面層の少なくとも切刃稜線部を含むすくい面部分および逃げ面部分の表面粗さを、前記表面層全面に、Cr窒化物層で構成された研磨材層を蒸着形成した状態で、ウエットブラストにて、噴射研磨材として、酸化アルミニウム微粒を配合した研磨液を噴射し、前記の研磨材層のウエットブラストによる粉砕化Cr窒化物微粒と、噴射研磨材としての酸化アルミニウム微粒の共存下で研磨して、Ra:0.2μm以下としてなる。 (もっと読む)


【課題】カーボンナノチューブの形成方法及びそれを利用した半導体素子の配線形成方法を提供する。
【解決手段】(i)複数の突起部を有する基板を準備する段階と、(ii)前記基板上に、前記突起部を覆い、カーボンナノチューブの成長を促進させる触媒層を形成する段階と、(iii)前記触媒層上にカーボンが含まれるガスを注入して、前記触媒層の表面上に前記カーボンナノチューブを成長させる段階と、を含むカーボンナノチューブの形成方法である。本発明によれば、カーボンナノチューブの成長密度を上昇させて電気的抵抗を低下させうる。その結果、電流密度が上昇し、微細ビアホールにも適用可能で、半導体素子の超高集積化を達成しうる配線形成方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】窒化硼素皮膜の残留圧縮応力を低減させ、耐摩耗性が要求される使用環境化において、更に被覆部材の耐摩耗性を改善することが可能な被覆部材を提供することである。
【解決手段】基材表面に硼素、窒素、酸素からなる化合物皮膜を被覆した部材であり、該化合物皮膜は結晶質窒化硼素内に非晶質窒化硼素が分散した組織構造を有し、且つ、該化合物皮膜の断面における非晶質窒化硼素の領域の面積を、円の面積として置き換えた場合の直径である等価円直径として求めた場合、10nm未満であることを特徴とする被覆部材である。 (もっと読む)


【課題】離型性が良好で、耐久性の高い光学素子成形用型の製造方法および光学素子成形用型を提供する。
【解決手段】光学素子のプレス成形に用いる光学素子成形用型11の成形面に、中間層14を形成した後、この中間層上にa−C:H膜を含む硬質炭素膜13を形成する。
その際、前記中間層が、炭素を30atom%以上、ケイ素を20atom%以上、酸素を5atom%以上で20atom%以下、水素を5atom%以上で15atom%以下とする元素組成を有する構成とする。 (もっと読む)


【課題】金属基体にNiAl系ボンディングコート及び拡散アルミナイド皮膜を施工する方法の提供
【解決手段】本方法は、外部表面(38)を有する超合金基体を準備する段階と、超合金基体の外部表面(38)を任意選択的に清浄化する(140)段階とを含む。さらに、超合金基体の外部表面の一部分を物理蒸着法によって、堆積NiAl基合金が約6〜25重量パーセントの制御した量のアルミニウムを含みかつさらに該NiAl基合金の堆積アルミニウムレベルがアルミナイジング処理後のアルミニウム最終レベルの約50〜100%であるように制御したNiAl基合金の層で被覆して(160)、被覆外部部分を形成する段階と、その後、超合金基体の被覆外部部分と別の表面とを同時にアルミナイジング処理する(180)段階とを含む。 (もっと読む)


【課題】 種々の金属組成の合金被膜を希土類系永久磁石などの個片の表面に簡易に蒸着形成するための方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の真空蒸着方法は、金属Aと金属Bの2種類の金属を少なくとも含む合金被膜(但し金属Bは金属Aよりも高蒸気圧である)を被処理物である個片の表面に蒸着形成するための真空蒸着方法であって、真空処理室の内部の被膜原料溶融蒸発部において、坩堝内の金属Aの固体と坩堝の直上方に所定の送り速度で案内される金属Aと金属Bを含む合金ワイヤーに対して電子線を照射し、金属Aの固体と合金ワイヤーを同時に溶融蒸発させることで、合金ワイヤーの送り速度に応じた金属組成の合金被膜を被膜原料溶融蒸発部の上方に位置する個片の表面に蒸着形成することを特徴とするものである。 (もっと読む)


【課題】 新しいナノ構造物を創生すること。
【解決手段】 ナノメートルサイズの樹木状構造物の表面にナノメートルサイズの微粒子を付着させる。 (もっと読む)


【課題】大きな接触応力が作用するような条件下や無潤滑下においても好適に使用可能な転がり摺動部材及び転動装置を提供する。
【解決手段】スラスト玉軸受は、内輪1と外輪2と複数の玉3とを備えている。内輪1,外輪2と玉3との接触面においては、内輪1,外輪2,玉3の母材に、潤滑性を有し且つ等価弾性定数が100GPa以上240GPa以下であるDLC層Dが被覆されている。そして、母材のうちDLC層Dが被覆されている部分の表面粗さRaは、0.05μm以上0.2μm以下とされている。さらに、DLC層Dは、Cr,W,Ti,Si,Ni,及びFeのうちの2種以上の金属からなる金属層Mと、前記金属及び炭素からなる複合層Fと、炭素からなるカーボン層Cと、の3層で構成されていて、該3層はDLC層Dの表面側からカーボン層C,複合層F,金属層Mの順に配されている。 (もっと読む)


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