【課題】 本発明の目的は、切削工具の靭性と耐摩耗性とを高度に両立させるとともに膜チッピングを抑制した表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】 本発明の表面被覆切削工具は、基材と、該基材上に形成された被膜とを備えるものであって、該被膜は、該基材上の最外層となるものであり、かつ圧縮応力を有しており、該圧縮応力は、上記被膜の厚み方向に強度分布を有するように変化しており、該強度分布は、上記被膜の表面の圧縮応力が上記被膜の表面から、上記被膜の表面と上記被膜の底面との間に位置する第１の中間点まで連続的に減少し、該第１の中間点において極小点を有するとともに、該第１の中間点から、該第１の中間点と上記被膜の底面との間に位置する第２の中間点まで連続的に増加し、該第２の中間点において極大点を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 優れた耐焼付き性、耐亀裂性、耐溶損性を有した、高寿命の鋳造用部材を提供する。
【解決手段】 熱間ダイス鋼もしくは高速度鋼を母材とする、少なくとも作業面に被覆層を有した鋳造用部材であって、該被覆層の最表層は、Ｖが主体の窒化物、酸窒化物、炭窒化物の１種以上からなり、さらにＣｒが主体の窒化物、酸窒化物、炭窒化物の１種以上からなる被覆層が、母材直上層として形成されている鋳造用部材である。必要に応じて最表層と母材直上層の界面には、ＶおよびＣｒを主体とした窒化物、酸窒化物、炭窒化物の１種以上からなる中間層が被覆できる。最表層の層厚は０．５〜５．０μｍ、母材直上層の層厚は０．５〜３．０μｍ、また中間層の層厚は１．００μｍ以下が好ましい。 （もっと読む）

【課題】切削工具の靭性と耐摩耗性とを高度に両立させるとともに特に膜チッピングを抑制した表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と、該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、該基材上の最外層となるものであり、かつ圧縮応力を有しており、該圧縮応力は、上記被膜の厚み方向に強度分布を有するように変化しており、該強度分布は、上記被膜の表面において最小の圧縮応力を有するとともに、上記被膜の表面から、上記被膜の表面と上記被膜の底面との間に位置する中間点まで該圧縮応力が連続的に増加し、該中間点において極大点を有するとともに、該中間点から上記被膜の底面まで圧縮応力が一定の値となる。 （もっと読む）

【課題】 高速重切削加工で表面被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】超硬基体の表面に（ａ）下部層として層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点（以下点Ａ）とＴｉ最高含有点（以下点Ｂ）とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、ＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、点Ａが特定の組成式：（Ａｌ_1-X Ｔｉ_X）Ｎを満足し、上記点Ａと点Ｂの間隔が、０．０１〜０．１μｍからなるＴｉとＡｌの複合窒化物層からなる硬質層、（ｂ）上部層としてＷ：５〜２０原子％、Ｔｉ：５〜２０原子％、窒素：０．５〜１８原子％、を含有し、残りが炭素と不可避不純物からなる組成を有すると共にＷ成分含有の炭素系非晶質体の素地に、結晶質炭窒化チタン系化合物の微粒が分散分布した組織を有する非晶質炭素系潤滑層、以上（ａ）及び（ｂ）で構成された表面被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

本発明の目的は金属表面およびガラス質被覆を有する基板を提供することにある。この目的のため、本発明は被覆された基板、あるいは被覆された基板を備えた製品を製造する方法に関し、前記基板はガラスで被覆された少なくとも１つの金属表面を有する。この基板は少なくともその金属表面上が蒸着ガラスで被覆されている。 （もっと読む）

【課題】 ドリル、エンドミル、フライス加工用または旋削加工用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどに好適に使用される表面被覆切削工具であって、従来よりも耐剥離性、耐摩耗性が向上された表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 本発明の表面被覆切削工具は、基材上に、Ａｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された主に立方晶化合物からなる内層が被覆され、さらに該内層上にＡｌ、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素を含む窒化物、炭窒化物もしくは酸炭窒化物にて形成された主に六方晶化合物からなる外層が被覆されてなり、該外層が該内層よりも大きなＡｌ含有量を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高回転で且つ高負荷の環境で使用しても歯面から剥離しない高靭性のダイヤモンドライクカーボン膜を備え、歯面強度が極めて優れた高強度歯車を提供する。
【解決手段】金属製歯車基材１の歯面において、全噛み合い長さＬに対して少なくとも歯先から０．３Ｌの範囲及び歯元から０．３Ｌの範囲に、平均径が０．１〜１０μｍで且つ平均深さが０．１〜１０μｍの多数の凹部２が形成してあり、その表面に厚さ１〜５μｍのダイヤモンドライクカーボン膜３が形成してあり、ダイヤモンドライクカーボン膜３上に厚さが１０〜５００ｎｍで且つ水素を原子数密度４×１０^２２ａｔｍｓ／ｃｍ^３以上含有するカーボン層４を備えている高強度歯車。 （もっと読む）

【課題】 潤滑被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる基体の表面に蒸着形成される潤滑被覆層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である{１１１}面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分及び集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、３〜１５度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記３〜１５度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５〜６５％の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示し、かつ１〜１５μｍの平均層厚を有する窒化クロム層、で構成する。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具を、カソード電極（蒸発源）としてＴｉ−Ａｌ−Ｓｉ合金を備えた硬質被覆層形成用アーク放電装置およびカソード電極（蒸発源）として金属Ｚｒを備えた潤滑被覆層形成用スパッタリング装置、さらにカソード電極として金属Ｃｒを備えた、超硬基体表面ボンバード洗浄用アーク放電装置を設けた蒸着装置を用い、Ｃｒボンバード洗浄処理し、ついで、ＴｉとＡｌとＳｉの複合窒化物層からなる硬質被覆層を１〜１０μｍの平均層厚で形成し、さらに、酸化ジルコニウム層からなる潤滑被覆層を０．５〜５μｍの平均層厚で形成する。 （もっと読む）

【課題】 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具を、（ａ）超硬基体表面ボンバード洗浄用アーク放電装置を設けた蒸着装置を用い、（ｂ）Ｃｒボンバード洗浄処理し、（ｃ）ついで、ＴｉとＡｌの複合窒化物層からなる硬質被覆層を１〜１０μｍの平均層厚で形成し、（ｄ）さらに、酸化ジルコニウム層からなる潤滑被覆層を０．５〜５μｍの平均層厚で形成する。 （もっと読む）

【課題】 生産性が良く、光学特性に優れた膜を形成すること。
【解決手段】 複数の成膜面を有する多面体１に対してスパッタリングにより成膜を行い、複数の成膜面に同時にミラー面を形成する成膜装置１０であって、スッパタリングする板状のターゲット１１、１２と、該ターゲット１１、１２の表面に対して、成膜面の少なくとも２面が所定角度となるように多面体１を位置させるホルダ１３と、ターゲット１１、１２とホルダ１３との間に配され、ターゲット１１、１２から多面体１に向けて飛散する物質を通過させる開口１４ｃ、１５ｃを有する開口板１４、１５とを備え、ホルダ１３は、多角形状の外周面を有して軸方向に延びるよう形成されて軸回りに回転可能であると共に、外周面上に多面体１を複数固定可能である成膜装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】可視光域で高い反射率を有し、耐湿性や耐塩水性等の耐久性に優れ、かつ入射角依存性が小さい（光の入射角によって反射率が変動しにくい）高反射鏡の提供。
【解決手段】基板上に、銀膜、低屈折率膜、高屈折率膜がこの順で積層された高反射鏡であって、入射角が１５度、４５度、７５度の各々の場合における、膜面反射率の可視光域全域の最低値の偏差が７％以内であることを特徴とする高反射鏡。前記銀膜の基板と反対側に密着改善膜を形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{１−（Ｘ＋Ｚ）} Ａｌ_X Ｓｉ_Ｚ ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＺｒＢＮ（硼窒化ジルコニウム）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＺｒＢ_２（硼化ジルコニウム）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｚ）} Ａｌ_X Ｂ_Ｚ ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足するＴｉとＡｌとＢ（ボロン）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＺｒＢＮ（硼窒化ジルコニウム）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＺｒＢ_２（硼化ジルコニウム）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ａｌ_１−Ｘ Ｔｉ_X ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６０を示す）を満足する（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＺｒＢＮ（硼窒化ジルコニウム）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＺｒＢ_２（硼化ジルコニウム）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

ｉＰＶＤシステム（２００）は、真空チャンバー（３０）内で突出部（１４）を最小化または除去しながら、フィールド（１０）と底部（１５）被覆と比較して側壁（１６）被覆性を向上させる処理を用いて、障壁層材料（９１２）のような均一な材料を半導体基板（２１）上の高いアスペクト比のナノサイズの開口部（１１）に蒸着するために調整される。そのｉＰＶＤシステム（２００）は、そのターゲットから材料をスパッタするために、低いターゲットパワーと５０ｍＴより高い圧力で動作される。ＲＦエネルギーは、高密度プラズマを生成するそのチャンバーに連結される。小さなＲＦバイアス（数ボルト未満）は、特に、底部における被覆性を高めることを助けるために印加されることができる。
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特にバリア材料のターゲットのエッジをウェーハ（１８）上にスパッタし、またこのターゲットの中心に再堆積された材料を洗浄するためのスパッタリングターゲット（１６）の背後で中心軸（６０）の周りに回転させられるデュアルポジション型マグネトロン（５０）。ターゲット洗浄時には、ウェーハバイアスは減らされる。一実施形態ではアーク型マグネトロン（１３０）は、回転シャフト（６２）に固定されたブラケット（８２）の端部上で旋回する旋回アーム（９０）上に支持される。スプリング（９６）は、マグネトロンがターゲット中心に向けて押しやられ、ターゲット中心の上に重なるように旋回アームをバイアスする。増加した回転速度における遠心力は、スプリングのバイアスに打ち勝って、ターゲットエッジに整列した長いマグネトロン寸法を持って外側位置にマグネトロンをシフトさせる。機械的留め具（１００、１０２）は、いずれの方向にも過剰な動きを防止する。他の機構は、直線状スライド（１８０）とアクチュエータ（２０８）とを含む。 （もっと読む）

対象物の表面上に薄膜を堆積させるプラズマ薄膜堆積方法であって、１つまたは複数の不活性プラズマ発生ガスおよび前駆ガス中でプラズマを発生させ、このプラズマを処理表面上に噴射させる方法。１つまたは複数の前駆ガスは、少なくとも２つの成分、すなわち、飽和有機物質を含む第１の成分と、不飽和有機物質を含む第２の成分とを含み、第１の成分は、プラズマ・ゾーン内で実行されるプラズマ化学プロセスの後に単フリー結合を有する軽ラジカル源であり、第２の成分は、２つ以上のフリー結合を有する重ラジカル源である。

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所定の粗さを有する硬質材料層（１１）及び湿潤性を低減させ、硬質材料層（１１）上に配置されたプラスチック層（１２）からなる歯科医療又は外科手術用ハンドピース（１）用コーティング。これにより、汚れを寄付けない表面が得られる。同時に、ハンドピースの滑りを避けるため操作性が向上する。 （もっと読む）