物品を気体状態のプラズマに、保護層、特に高分子層が物品の表面に形成されるのに十分な時間曝すことを含む、液体の取り込みに起因する重量増から物品を保護する方法。 （もっと読む）

【課題】ハウジング部に光源を組み込んで、ハウジング部内側面と、光源先端部とに反射面を成膜するにあたり、成膜にムラができず、光源先端部のみを成膜できるように構成する。
【解決手段】固定金型となる第一金型６に、ターゲット室１１ａの溝奥側に、成膜方向の直進性が低減され、よりムラのない成膜ができるような装置として汎用されるマグネトロンスパッタリング装置９ａを設けた成膜装置９を配設し、ターゲット室１１ａの開口部に、貫通孔１０ａが開設された円板体１０ｂを備えたマスキング部材１０を設けて、一次の射出工程の後、前記ターゲット室１１ａにバルブ３を組み込んだハウジング部４を突き当てることにより、マスキング部材１０の貫通孔１０ａにバルブ先端部３ｂを貫通させ、この状態において成膜する構成とする。 （もっと読む）

【課題】凹部を隙間無く充填する。
【解決手段】本発明は基板１１の表面の凹部１２が形成された面に、金属膜１５を形成する成膜工程と、金属膜にエッチングガスのイオンを入射させるエッチング工程とを交互に繰り返す。成膜工程で凹部１２に突き出すように形成されるオーバーハング部１９はエッチング工程で除去されるので、次の成膜工程の時に凹部１２の開口は塞がれておらず、凹部１２内部の金属膜１５を成長させることができる。 （もっと読む）

【課題】耐酸性に優れ、且つ接触抵抗が低い燃料電池用金属セパレータの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の燃料電池用金属セパレータの製造方法は、表面が平面の金属基材、または、表面の少なくとも一部に凹形状のガス流路が形成される金属基材を用いて製造する燃料電池用金属セパレータの製造方法であって、前記金属基材を加熱し、且つ電圧印加して行うＰＶＤ法によってＮｂ、Ｔａから選択される１種以上の非貴金属を含んでなる耐酸性金属皮膜を当該金属基材上に成膜する成膜工程Ｓ１と、前記成膜工程Ｓ１後、前記耐酸性金属皮膜を成膜した金属基材を加熱し、且つ電圧印加して行うＰＶＤ法によってＡｕ、Ｐｔから選択される１種以上の貴金属を当該耐酸性金属皮膜上に析出させて島状の結晶粒子を形成する析出工程Ｓ２と、を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】１以上のアスペクト比を有する多層集積回路のビア、スルーホール又はトレンチにＡｌ電気コンタクトを形成する。
【解決手段】スパッタチャンバと、堆積チャンバと、移送チャンバと、を備え、半導体基板上における薄膜層のアパーチャを充填する充填装置において、スパッタチャンバは、スパッタ堆積材料の供給源となるターゲットカソードと、半導体基板を支持するための基板位置決め部材と、ＤＣ電源装置を具備し、ターゲットカソードからスパッタされた種を生成するために使用される第１のプラズマ発生ユニットと、基板位置決め部材に接続された基板バイアスＲＦ電源装置と、ＲＦ電源装置を具備し、ターゲットカソードと基板位置決め部材との間に位置して、ターゲットカソードから前もってスパッタされた種をイオン化又は再イオン化するために使用される第２のプラズマ発生ユニットと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られる高寿命の硬質被膜を提供する。
【解決手段】ドリル１０のボディ１６に設けられた硬質被膜２６は、工具基材２２の表面に設けられたＤＬＣ層２６と、そのＤＬＣ層２６の上に設けられた窒素含有量が３〜４０at％のＣＮ（窒化炭素）層２８とから成り、それ等のＤＬＣ層２６とＣＮ層２８とが交互に４層以上の偶数層積層され、そのＣＮ層２８によって外表面が構成されているとともに、全体の膜厚Ｄが０．０１〜２μｍの範囲内とされているため、最上層のＣＮ層２８により優れた耐熱性、耐摩耗性、耐溶着性が得られる一方、工具基材２２の表面にはＤＬＣ層２６が設けられているため、高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られる高寿命の硬質被膜を提供する。
【解決手段】ドリル１０のボディ１６に設けられた硬質被膜２６は、工具基材２２の表面にＤＬＣ層２６が設けられるとともに、窒素含有量が３〜４０at％のＣＮ層２８がそのＤＬＣ層２６の上に直接設けられた２層構造を成しており、そのＣＮ層２８によって外表面が構成されており、且つ、全体の膜厚Ｄが０．０１〜２μｍの範囲内とされているため、ＣＮ層２８により優れた耐熱性、耐摩耗性、耐溶着性が得られる一方、工具基材２２の表面にはＤＬＣ層２６が設けられているため、高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。 （もっと読む）

【目的】平坦面や曲面で構成された形状だけでなく、中空状等、被加工物がどのような形状であっても、均一な膜形成を行え、プラズマ処理膜の品質向上を図ることのできるプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供する。
【構成】プラズマ処理部Ａ１内には、孔又は溝を有したワークが配置され、プラズマ導入路Ａ２２からのプラズマＰ１は、孔又は溝の深さ方向がプラズマ直進方向ＤＰに対応するように導入される。ワーク物体の中空軸がプラズマＰ１の直進方向ＤＰの中心軸に略対応してワークＷ１が設置されている。ワークＷ１への上記プラズマＰ１の直進導入構成と、５ｅＶ以上の高イオンエネルギーを持つイオンを含んだ真空アークプラズマを使用して、孔又は溝の内面に均一な膜形成を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】射出成形による温度の影響、型締力の影響等を受けることなく、比較的大きな中空成形品であっても熱収縮の影響を受けずに製造することができる、内表面が表面処理された中空成形品の製造方法を提供する。
【解決手段】固定金型（３）とスライド金型（４）とを使用して１次射出成形により、本体部（Ｈ２）と蓋体（Ｆ１）とを実質的に同時に成形する。本体部（Ｈ２）をハンドリング装置（ＨＭ）によりスライド金型（４）から取り出し、別に設けられている成膜装置（ＭＭ）に装着して本体部（Ｈ２）の内表面に成膜する。成膜された本体部（ＨＵ１）をスライド金型（４）に装着して、固定金型（３）に残っている蓋体（Ｆ１）と突き合わせて、突合部に溶融樹脂を２次射出して一体化する。前記１次射出成形と２次射出成形とを同じ金型で実質的に同時に実施し、これに平行して成膜工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドに対する耐磨耗性の低下や特性低下が少なく、保護層のカバレッジ性の低下による磁気記録層からの金属溶出、耐腐食性低下の少ない磁気記録媒体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ディスク基板上に情報を記録する磁気記録層と記録機能をもたない溝部が交互に配列してなる凹凸パターンが形成された磁気記録媒体にＡＬＤ法を用いてＡＬＤ保護層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法およびディスク基板上に情報を記録する磁気記録層と記録機能をもたない溝部が交互に配列してなる凹凸パターン形状を有し、さらに該凹凸パターン形状の上に保護層を有する磁気記録媒体において、前記保護層がＡＬＤ法を用いてＡＬＤ保護層からなることを特徴とする磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】
半導体構造の微細化に対応でき、しかも基板上に形成した被覆膜におけるビアホールやトレンチの開口部におけるオーバーハングや非対称性を改善できる成膜方法及び装置を提供する。
【解決手段】
スパッタリング法又はALD又はCVD法で上記基板上に金属配線を形成するための被覆膜を形成し、この被覆膜形成中又は形成後に、アルゴン、ネオンなどの希ガスのイオンを３００~１００００ｅＶのイオンエネルギーで基板に対してほぼ平行に照射して上記基板上に形成された被覆膜の形状を適切に変更する。 （もっと読む）

【課題】装置構成を複雑化せずに成形および成膜を確実に行うことができる成膜成形装置を提供する。
【解決手段】成形体にマスキングを必要とする成膜を行う成膜成形装置５０において、上型１２と下型１１とからなる一対の金型１０を突き合わせることで形成される空間部に材料を射出して成形体を成形し、下型１１におけるマスキングが必要な領域に対応した位置に凹部１５が形成され、上型１２における凹部１５に対応した位置に、型締め時に凹部１５を閉塞する凸部１４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】作業性を低下させることなく成膜を行うことができる成膜成形装置を提供する。
【解決手段】一対の成形体用金型５１，５２に、一対の成形体を射出成形するための射出成形用型締め位置ａと、成形体に成膜するための成膜用型締め位置ｂとが設定され、一対の成形体が一体成形可能に構成されている成膜成形装置において、射出成形用型締め位置ａにおける型締め力よりも成膜用型締め位置ｂにおける型締め力の方が小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】融点の低い材料で形成された構造体を使用することを可能とし、またその構造体が封止された空間を高真空にすることができるとともに構造体に封止部材が成膜されない半導体装置製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１上に形成された可動の構造体３を犠牲膜で覆い、その犠牲膜をシリコン酸化膜５で覆い、さらにそのシリコン酸化膜５に貫通孔を形成する。そして、その貫通孔を介して犠牲膜を除去して可動の構造体３とシリコン酸化膜５との間に空間を形成し、シリコン酸化膜５に流動性の高いアルミニウムまたはアルミニウム合金をスパッタ法により成膜して貫通孔を封止するようにした。 （もっと読む）

【課題】かじり防止の為のポリイミドコートされたボルトやナット等の締結具を真空中で用いる場合、脱脂洗浄した締結具とは同程度のガス放出量がある為、より良い真空雰囲気を得るにはガス放出量の低減、特に水のガス放出量の低減が求められていた。
【解決手段】脱脂洗浄したステンレス鋼のボルト部品１の雄ネジ部４の表面に１μｍ程度ポリイミド膜５を施し、２００℃以上３００℃以下で、３０分以上真空加熱、又は窒素雰囲気中加熱を行う。これにより、低ガス放出量、特に水のガス放出量の少ないボルト部品１にすることができる。このようにして製造されたボルト部品１は、真空処理装置の組立てや真空配管の接続に好適である。また、本発明はボルトに限らず、ナットや雌ネジ部を有する板材等の締結具にも適用可能である。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ−Ｓｉ最高含有点とＷ−Ｃ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｗ，Ｃ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｃｒ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．３〜０．５、０．２〜０．３５、０．１〜０．２、０．０５〜０．２５、０．０５〜０．１５であり、また、Ｗ−Ｃ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．１〜０．２５、０．０５〜０．１５、０．０１〜０．０５、０．３５〜０．４５、０．２５〜０．３５である。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ−Ｓｉ最高含有点とＷ−Ｃ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉ，Ｗ，Ｃ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．２〜０．４、０．１〜０．２５、０．１〜０．２５、０．０５〜０．１、０．０５〜０．３、０．０５〜０．３であり、また、Ｗ−Ｃ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．１５、０．０３〜０．０８、０．０３〜０．０９、０．０１〜０．０４、０．３５〜０．５、０．３５〜０．５である。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、下部層としてアークイオンプレーティングで蒸着形成されたＣｒとＡｌとＳｉの複合窒化物層、上部層としてアークイオンプレーティングとスパッタリングの同時蒸着により形成されたＣｒとＡｌとＳｉとＭｏとＳの複合窒化物層を設けた表面被覆切削工具であって、上部層は、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ−Ｓｉ最高含有点とＭｏ−Ｓ最高含有点とが０．０３〜０．１μｍの間隔をおいて交互に繰り返し存在する平均層厚１〜８μｍの組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｍｏ，Ｓ）Ｎ層からなる。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性及び耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ−Ｖ−Ｓｉ最高含有点とＷ−Ｃ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｖ，Ｓｉ，Ｗ，Ｃ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｃｒ−Ｖ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｖ、Ｓｉ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．２〜０．４、０．１〜０．２５、０．１〜０．２５、０．０５〜０．１、０．０５〜０．３、０．０５〜０．３であり、また、Ｗ−Ｃ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｖ、Ｓｉ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．１５、０．０３〜０．０８、０．０３〜０．０９、０．０１〜０．０４、０．３５〜０．５、０．３５〜０．５である。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ最高含有点とＷ−Ｃ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｗ，Ｃ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｃｒ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．２５〜０．５５、０．２５〜０．４５、０．０１〜０．２、０．０１〜０．２であり、また、Ｗ−Ｃ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．０１〜０．２、０．０１〜０．２、０．２５〜０．５、０．２５〜０．５である。 （もっと読む）