【課題】 アーカイバル特性と高速でのオーバーライト特性とを両立することができるようにする。
【解決手段】 第１の基板１１上に、記録再生光の入射方向から順に、上層誘電体層１２、界面層１３、記録層１４、下層誘電体層１５、反射層１６が順次積層されて、その上に保護層１７を介して第２の基板１８が設けられる。記録層１４がＳｎ_xＩｎ_yＧａ_zＳｂ_w（但し、３≦ｘ≦７、０≦ｙ≦７、６．８≦ｗ／ｚ≦８．８）により構成される。ｘ、ｙが３≦ｘ≦７、０≦ｙ≦７の範囲から外れると、高速で情報信号の記録を繰り返した場合にオーバーライト特性が低下してしまう。ｗ／ｚが６．８未満であると、高速で情報信号の記録を繰り返した場合にオーバーライト特性が低下してしまう。反対にｗ／ｚが８．８を越えると記録マークの形成が困難になる。 （もっと読む）

【課題】 摺動性、特に、なじみ性に優れた摺動部材を提供する。
【解決手段】 本発明の摺動部材は、基材１と、基材１の少なくとも摺動面側に形成され二硫化モリブデンを含む摺動層２と、を有する摺動部材であって、摺動層２は、基材１上に形成され全体を１００ａｔ％としたときに金属元素および／または金属元素の化合物を１０ａｔ％以下含む第一摺動層２１と、第一摺動層２１に積層され金属元素および／または金属元素の化合物を含まない第二摺動層２２と、からなる。第一摺動層２１の金属元素および／または金属元素の化合物は、第一摺動層２１を１００ａｔ％としたときに３〜７ａｔ％含まれるのが好ましい。
さらに、基材１の表面に形成され基材１と第一摺動層２１との間に位置し、金属元素および／または金属元素の化合物からなり二硫化モリブデンを含まない中間層３を有するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高硬度、耐高温酸化性の優れる硬質皮膜においても密着性を犠牲にすること無く、特に靭性を改善し、高温状態での耐溶着性、潤滑特性も改善し、例えば切削加工などにおける乾式化、高速化、高送り化に対応可能な硬質皮膜を提供する。
【解決手段】物理蒸着法により基体表面に形成された硬質皮膜であって、該硬質皮膜は４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｂから選択される１種以上の金属元素とＳｉを含み、Ｃ、Ｎ、Ｏから選択される１種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はＳｉ含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みＴ（ｎｍ）が０．１≦Ｔ≦１００、であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】形成環境前真空槽と、該真空槽へ不活性ガス及び酸素ガスのプロセスガスを導入し、ターゲットスパッタリング法のＩＴＯ膜を形成する形成環境真空槽とを備え、有機膜を形成した透明基材を、形成環境前真空槽と、形成環境真空槽内とその順に導入し、透明導電性の薄膜形成方法において、装置の増設等や加温による方法に頼ることなく、また真空槽内への持込む水分ガス量の影響を受けにくい、カラーフィルタのＩＴＯ膜形成に適した透明導電性の薄膜形成方法及びその薄膜形成装置を提供することである。
【解決手段】形成環境前真空槽は、形成環境真空槽内のガス圧の１／１００桁の圧力まで減圧し、ＩＴＯ膜の形成環境まで水分を除去したあとに、形成環境前真空槽内へ、不活性ガス及び酸素ガスを導入し、形成環境真空槽内のガス圧にしたあと、透明基材を加温することなく、ＩＴＯ膜を形成することを特徴とする透明導電性の薄膜形成方法。 （もっと読む）

【課題】 水素検知材料としての使用を可能にする酸化タングステン薄膜を安価に実現する作製技術を提供すること。
【解決手段】 室温で水素を含んだ雰囲気に触れることにより光学的な透過率が変化する特性を利用して水素検知を行う光学式水素検知材料用の酸化タングステン薄膜をスパッタ法により基板に形成させる際に、成膜温度を制御し、酸化タングステンの結晶性を調節する。 （もっと読む）

積層体（４００）は、アルミニウム層（３００）、ニッケル層（３０１）およびニッケル層の保護層（３０２；７０１）を具える。前記アルミニウム層（３００）は、基板（２００）上に形成可能であり、前記ニッケル層（３０１）は、前記アルミニウム層（３００）上に形成され、かつ、前記保護層（３０２；７０１）は、前記ニッケル層（３０１）上に形成される。
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【課題】 硬質被膜の耐熱性および耐摩耗性を更に向上させる。
【解決手段】 エンドミル１０の工具母材１２の表面を被覆している硬質積層被膜２０は、ＴｉＡｌＣｒＸ_1-a Ｎ_a （但し、Ｘは炭素または酸素で、混晶比ａは０．５≦ａ≦１）から成る第１被膜層２２と、ＴｉＡｌＣｒＸ_1-b Ｎ_b （但し、混晶比ｂは０．５≦ｂ≦１）およびＴｉＡｌ（ＳｉＣ）Ｘ_1-c Ｎ_c （但し、混晶比ｃは０．５≦ｃ≦１）の混合層から成る第２被膜層２４と、ＴｉＡｌ（ＳｉＣ）Ｘ_1-d Ｎ_d （但し、混晶比ｄは０．５≦ｄ≦１）から成る第３被膜層２６とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆切削工具が、超硬基体の表面に、あるいは、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａ、上記薄層Ｂは、特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 酸化物薄膜を積層してなる反射偏光子において、異方性膜を作製する際に、光学異方性を有する酸化物薄膜を２層に積層された構成とし、第２層の膜は、第１層の膜に対して、ほぼ１８０°反転した向きから成膜することにより、膜厚と光学特性の均一性が確保された反射偏光子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 異方性を有する膜を２層として、第１層の膜に対して、第２層の膜をほぼ１８０°反転した方向から斜方成長させることによって、均一な膜厚と光学特性を実現する。 （もっと読む）

【課題】 装置本体のチャンバー部大きくなるか又は、２室以上の真空槽必要となる為、装置が大型化したり、装置費用が高額になるというコストの問題が発生していた。
【解決手段】 円筒状のターゲットユニットにおいて２種以上の膜形成を行なう為に、円筒状のターゲットを連なって配置し、円筒状のカソード電極及び、アノード電極を共にスムースさせてプラズマを発生させる事により、従来１元ごとに構成していたターゲットユニットを簡略化することで、装置コストを大幅に削減する事が可能になる。 （もっと読む）

【課題】高反応性被削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｔａ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の層厚を有する薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａ及び上記薄層Ｂは、特定な組成式を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｔａ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＴａ_Ｆ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｅは０．４５〜０．６５、Ｆは０．０１〜０．０９を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｔａ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬基体の表面に、あるいは、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは特定の組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＢ_Ｆ］Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、上記薄層Ｂは特定の組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｍ＋Ｎ）}Ａｌ_ＭＢ_Ｎ］Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し特定の組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｘ＋Ｙ）}Ａｌ_ＸＢ_Ｙ］Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板にＡｌ膜を成膜した表面鏡は、ガラス基板とＡｌ膜との密着性が弱く、硬度、耐高温、耐湿性、耐塩水性のについて十分な耐久性を有していないため、リアプロジェクションテレビの反射鏡に用いることが困難であった。
また、また反射角度が大きい場合の可視光線全域(４００〜７００nm)における反射率が低いという欠点があり、表面鏡の反射角を大きくして、リアプロジェクションテレビの奥行きを小さくすることが困難であった。
【解決手段】ガラス基板の表面がイオンエッチング処理され、金属膜がＡｌ膜を該イオンエッチング処理したガラス基板表面に成膜されてなる表面鏡である。
金属酸化物膜は、Ａｌ膜の上にＳｉＯ_２膜、Ｎｂ₂Ｏ₅膜を順次積層してなる。 （もっと読む）

【課題】 同一の装置で同時に複数の表面処理を実施することができ、多機能化により小型で且つ低コストな巻取式複合真空表面処理装置を提供する。
【解決手段】 略円筒状の真空容器１１内で回転するキャンロール１３に沿って移動するフィルム１０に表面処理を施す装置であって、真空容器周壁１１ｂにキャンロール１３に対向して固定された複数の表面処理手段と、真空容器底板１１ａに固定され表面処理手段をフィルム巻取巻出ロール１２ａ、１２ｂから分離する一対の第１遮蔽板１７と、真空容器周壁１１ｂに固定され２以上の表面処理手段を含む複数の処理室Ａ、Ｂ、Ｃを区画する第２遮蔽板１８と、真空容器底板１１ａに固定されフィルム処理位置以外を覆うマスク板１９とを備え、真空容器周壁１１ｂを回動させることにより各処理室Ａ、Ｂ、Ｃのフィルム処理位置に対向する表面処理手段を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】ブローチに適用する超硬合金を最適化することによって、ブローチの精度を長期間維持できる被覆超硬ブローチを提供することを課題とする。
【解決手段】少なくとも切れ刃部に超硬合金を用いた被覆超硬合金製ブローチにおいて、該超硬合金は、ＷＣの平均粒径が１．５μｍ以下、保磁力が１２ｋＡ／ｍ以上２０ｋＡ／ｍ未満、飽和磁化値をＲとし、２０２×Ｃｏ重量％／１００の値をＳとした時、飽和磁化比Ｒ／Ｓが、０．６５≦Ｒ／Ｓ≦０．９５、更に、該被覆層は、硬質炭素膜を含む固体潤滑皮膜であることを特徴とする被覆超硬合金製ブローである。 （もっと読む）

【課題】成膜時のチャージアップによる局所的な膜質変化を防止し、半導体レーザ素子の反射率のばらつきを低減させることができる半導体レーザの製造方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも所定表面領域が酸化し難い導電性材料にて構成された保持部材１１、１４を用いて、共振器端面１７ａが露出した複数の半導体レーザ素子を有するレーザバー１７を、共振器端面と所定表面領域が同じ向きとなるように保持し、共振器端面に所定反射率のコート膜を形成するための成膜装置内に保持部材１１、１４にて保持したレーザバー１７を設置し、共振器端面にコート膜を成膜する半導体レーザ素子の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 ２種類以上の物質から安定した光学性能を有する混合膜を得ることができる薄膜形成装置及び薄膜形成方法並びにこの薄膜形成方法によって成膜された光学薄膜を提供すること。
【解決手段】 成膜される第一基板３に成膜物質を提供する第一スパッタリングターゲット５及び第二スパッタリングターゲット６と、第一基板３が配される第一ヤトイ１２及び第二基板１３が配される第二ヤトイ１５が配される回転保持具１６と、回転保持具１６を回転移動して第一位置１８と第二位置２０との間で第一ヤトイ１２及び第二ヤトイ１５を通過させる回転モータ２２と、回転保持具１６と第一スパッタリングターゲット５との間に配されて可変する第一開口部を有する第一可変機構２５と、回転保持具１６と第二スパッタリングターゲット６との間に配されて可変する第二開口部を有する第二可変機構２７と、第二基板１３の成膜状態を検出する測定器とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 同一の装置で同時に複数の表面処理を実施することができ、多機能化により小型で且つ低コストな巻取式複合真空表面処理装置を提供する。
【解決手段】 略円筒状の真空容器１１内で回転するキャンロール１３に沿って移動するフィルム１０に表面処理を施す装置であって、真空容器周壁１１ｂにキャンロール１３に対向して固定された複数の表面処理手段と、真空容器底板１１ａに固定され処理ゾーンを分離する一対の第１遮蔽板１７と、真空容器周壁１１ｂに固定され２以上の表面処理手段と１以上の未配置周壁部２０を含む複数の処理室Ａ、Ｂ、Ｃを区画する複数の第２遮蔽板１８と、真空容器底板１１ａに固定されフィルム処理位置以外を覆うマスク板１９とを備え、真空容器周壁１１ｂ又はその一部を未配置周壁部２０が存在する方向に回動させることにより、処理室Ａ、Ｂ、Ｃのフィルム処理位置に対向する表面処理手段を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】初期の可視光透過率に優れ、耐久性にも優れた透明積層フィルム、これを用いた透明積層体、プラズマディスプレイを提供すること。
【解決手段】透明高分子フィルムの少なくとも一方面に、液相法により形成された金属酸化物を含む薄膜と、金属薄膜とが交互に積層されており、金属薄膜の少なくとも一方面には、気相法により形成された金属酸化物を含むバリア膜が設けられた透明積層フィルムとする。金属酸化物を含む薄膜およびバリア膜における金属酸化物としてチタンの酸化物、金属薄膜における金属として銀または銀合金を好適に用いる。また、透明支持基体の表面に、粘着剤層を介して、透明積層フィルムを貼り付けた透明積層体とする。また、上記透明積層フィルムまたは透明積層体をプラズマディスプレイに用いる。 （もっと読む）

本発明は、データ媒体や銀行券や証明書などの重要書証及び／又は包装及び同様なものを、偽造防止や追跡調査できるようにすることを目的とするものであって、対象物にコーティングを施して、このコーティングの発色を介して光学的に容易に識別でき、かつ、一義的に関連づけできるように特性表示するシステムに関する。本発明は、また、この特性表示システムのための、セキュリティエレメント及びセキュリティマーキングにも関するものであり、これらは、ＰＶＤ法又はＣＶＤ法による蒸着によって製造することができるもので、本発明は、それらの製造方法及びそれらの使用にも関する。 （もっと読む）