【課題】潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製ブローチを提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金で構成されたブローチ本体の表面に、（ａ）下部層として、組成式：（Ｔｉ_１−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．６５）を満足するＴｉとＡｌの複合窒化物からなると共に、１〜３μｍの平均層厚を有する硬質被覆層、（ｂ）上部層として、オージェ分光分析装置で測定して、Ｗ：５〜２０原子％、Ｔｉ：０．５〜４原子％、窒素：１０〜３０原子％、を含有し、残りが炭素と不可避不純物からなる組成を有すると共に、透過型電子顕微鏡による観察で、炭素系非晶質体の素地に、結晶質炭窒化チタン系化合物の微粒が分散分布した組織を示し、かつ１〜３μｍの平均層厚を有する潤滑性非晶質炭素系被膜を蒸着形成してなる表面被覆超硬合金製ブローチ。 （もっと読む）

【課題】カソードを含む蒸発源を用いた物品処理装置（例えばアーク式ＰＶＤによる成膜装置）であって、カソード上のアークスポットがカソード蒸発面以外のカソード部分に発生したとき、アークスポットをカソード蒸発面上に戻して正規のアーク放電を再開させることができ、それにより被処理物品に所望の目的とする処理を実施できる物品処理装置を提供する。
【解決手段】カソード３１の側周面に対し臨設した電流検出部材５に流れる電流の波形を電流波形検出部６で検出する。制御部Ｃｏｎｔは、その波形が、アークスポットがカソード蒸発面３１１上にあることを示す正常波形か、それ以外のカソード部分にあることを示す異常波形かを判定し、異常波形であると判定すると、アークスポットをカソード蒸発面３１１上へ戻すようにアーク放電用電源３３及びトリガー電極３２を制御する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス材のような絶縁性材料の場合は、イオンの衝撃の効果が得られないため膜と型母材の密着性が低下したり、型母材がチャージアップして異常放電が発生して表面の荒れが発生する問題点があった。
【解決手段】 ハイブリッド型、及びその製造方法で、ガラス面より、ＳｉＯ_ＸＣ_Ｙ（０＜Ｘ＜２、０＜Ｙ＜１）層、ＳｉＣ層、硬質炭素膜を順次積層した構成とする。
硬質炭素膜とハイブリッド型母材との密着力を改善する。 （もっと読む）

【課題】比較的面積の大きい膜形成対象面を有する被成膜物品の該膜形成対象面の全体にわたって、或いは、広い範囲にわたって分散配置される複数の被成膜物品のそれぞれの膜形成対象面に、というように広い範囲にわたって、均一にして小さい表面粗度の膜を膜厚均一性良好に形成できるアーク式ＰＶＤによる成膜装置を提供する。
【解決手段】ドロップレットの被成膜物品Ｗへの進行を抑制する一方、イオン化カソード材料の少なくとも一部の物品Ｗへの進行を許すドロップレットの遮蔽部材５１、５２がカソード３１と物品Ｗとの間に位置するように、且つ、膜形成対象面全体にわたりドロップレットの進行を抑制するとともに膜形成対象面全体にわたりイオン化カソード材料が均一状に向かうようにドロップレット進行方向に沿って複数段に順次間隔をおいて設けられているアーク式ＰＶＤによる成膜装置Ａ。 （もっと読む）

【課題】高品質の薄膜の形成が可能となり、中でも低い基板温度環境において、基板との密着性が良好で、緻密性が高く、硬度の高い、高品質のフッ化物薄膜の形成が可能となる薄膜形成方法および薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】膜材料６を真空中で加熱し、該膜材料６を蒸発させる、前記蒸発させた膜材料による蒸発材料に、イオン源９から放出された１価または２価の金属イオンを付加し、該蒸発材料をイオン化し、前記イオン化した蒸発材料を電界（１０１）によって被処理基板に向けて加速し、該被処理基板２上に該材料を蒸着させ、薄膜を形成する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 極めて均一性が高い硬質被膜を形成させることができる成膜性の優れたバナジウムスパッタリングターゲットの提供。
【解決手段】 バナジウムスパッタリングターゲットにおいて、ターゲット表面の（１１０）面の結晶方位比率が７０％以上であり、（２００）面の結晶方位比率が２０％以下であり、かつ（２１１）面の結晶方位比率が２０％以下であることを特徴とする、スパッタリングターゲット。好ましくは、ターゲット全体の（１１０）面の結晶方位比率のバラツキが３０％以内、（２００）面の結晶方位比率のバラツキが５０％以内、かつ（２１１）面の結晶方位比率のバラツキが５０％以内である。 （もっと読む）

【課題】高品質の薄膜の形成が可能となり、中でも低い基板温度環境において、基板との密着性が良好で、緻密性が高く、硬度の高い、高品質のフッ化物薄膜の形成が可能となる薄膜形成方法および薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】膜材料６を真空中で加熱し、該膜材料を蒸発させる工程と、前記蒸発させた膜材料による蒸発材料に、電子源９から放出された低エネルギーの電子を付着させ、該蒸発材料を負イオン化する工程と、前記イオン化した蒸発材料を電界（１０１）によって被処理基板２に向けて加速し、該被処理基板上に該材料を蒸着させる工程とを有し、薄膜を形成する構成とする。 （もっと読む）

【課題】アーク式イオンプレーティングによる成膜方法及び装置であって、カソード材料として２種以上の元素を含むものを採用して複数元素を含む膜を形成でき、しかも、ドロップレット付着が抑制された、それだけ平滑な膜を形成できる成膜方法及び装置を提供する。
【解決手段】カソード１２として２種以上の元素を含む材料からなるものを採用し、膜形成にあたって、カソードアーク走行面１２１と正規成膜位置Ｐの被成膜物品Ｗ間の成膜距離Ｌを１５０ｍｍ以上３５０ｍｍ以下に設定し、真空アーク放電を成膜用ガス雰囲気において行わせ、且つ、成膜ガス圧を４Ｐａ〜７Ｐａの範囲に設定し、プラズマ生成領域に磁場を印加し、該磁場は、該カソードアーク走行面１２１位置で該面の法線となす角度が３０°以下である磁力線１３１からなる磁場とするアーク式イオンプレーティングによる成膜方法及び成膜装置Ａ。 （もっと読む）

【課題】リード切断用被覆金型部材において、加工先端部は優れた耐摩耗性と耐溶着性を有し、摩耗の進行が抑えられるよになることから、長期の寿命化が可能となるようなリード切断用被覆金型部材を提供することである。
【解決手段】基体の表面に硬質皮膜が被覆されたリード切断用被覆金型部材において、該金型部材の少なくとも加工先端部近傍に硬質皮膜を有し、該硬質皮膜は周期律表４ａ、５ａ、６ａ族、Ａｌ、Ｓｉから選ばれる１種以上の金属成分と、Ｃ、Ｎ、Ｏ、Ｂから選ばれる１種以上の非金属成分とから構成され、該金型部材の加工先端部における丸み半径Ｒμｍを、０．０５≦Ｒ≦３としたことを特徴とするリード切断用被覆金型部材である。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｚ）}Ａｌ_XＢ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足するＴｉとＡｌとＢ（ボロン）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＭｏＢＮ（硼窒化モリブデン）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＭｏＢ（硼化モリブデン）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ａｌ_１−ＸＴｉ_X）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６０を示す）を満足する（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＭｏＢＮ（硼窒化モリブデン）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＭｏＢ（硼化モリブデン）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{１−（Ｘ＋Ｚ）}Ａｌ_XＳｉ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＭｏＢＮ（硼窒化モリブデン）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＭｏＢ（硼化モリブデン）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】小径の回転工具の基体表面に適切な硬質皮膜を被覆することによって、小径工具の切削加工において最も重要となる折損寿命の向上と、硬質皮膜の酸化を抑制し耐摩耗性を改善させることである。更に、小径工具の、特に折損等生じやすい、首部からクランプするためのシャンク部との段差部の強度を向上させ、折損を防止する事である。
【解決手段】硬質皮膜を被覆した被覆小径工具において、該小径工具の刃部の直径Ｄμｍは、５≦Ｄ≦８００、該硬質皮膜はスパッタリング法により被覆され、該硬質皮膜の少なくとも１層の残留圧縮応力ＴはＧＰａで、２≦Ｔ≦８、であることを特徴とする被覆小径工具であり、更に、段差付き円筒形状の場合には、該刃部・首部の少なくとも１部に該硬質皮膜が被覆されていることを特徴とする被覆小径工具である。 （もっと読む）

【課題】 導電性を有する酸化物膜を基材表面上に成膜することにより耐酸化性、耐欠損性、耐摩耗性の全てに優れ、また、物理蒸着法により成膜可能であり、さらに美しい外観色を呈することにより商品価値の高い表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 本発明は、基材上にコーティング層を備える表面被覆切削工具であって、前記コーティング層は、前記基材側から内層および外層をこの順で備え、該内層は、周期律表４ａ族に属する金属、５ａ族に属する金属、６ａ族に属する金属、ＡｌおよびＳｉからなる群より選択される１種以上の元素と、炭素、窒素および酸素からなる群より選択される１種以上の元素との化合物から構成され、前記外層は、導電性を有する酸化物膜から構成される表面被覆切削工具を提供する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、被膜の耐摩耗性と耐酸化特性とを飛躍的に向上させた表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、基材と、該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、ＡｌまたはＣｒのいずれか一方または両方の元素と、Ｈｆと、炭素、窒素、酸素およびホウ素からなる群から選ばれる少なくとも１種の元素とにより構成される化合物を含むことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 高速切削加工で表面被覆層がすぐれた耐摩耗性および耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法において、（ａ）超硬基体表面を洗浄処理し、（ｂ）硬質層を形成した後、密着接合層を形成し、（ｃ）蒸着装置内の反応雰囲気を、酸素ガスとＡｒガスの酸化性混合ガス雰囲気とした状態で、潤滑層形成用スパッタリング装置のカソード電極に印加して、反応雰囲気中のＡｒの作用で、酸化クロムをスパッタ放出させ、同時に潤滑層形成用アーク放電装置のカソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、Ｃｒをイオン化放出させ、反応雰囲気中で、酸化クロムを生成させることにより、スパッタ放出酸化クロムと反応生成酸化クロムで構成された潤滑層を形成する。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工で表面被覆層がすぐれた耐摩耗性および耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法を提供する。
【解決手段】 超硬基体の表面に、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層の硬質層、これに重ねて酸化クロム層の潤滑層で構成された表面被覆層を蒸着形成する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法において、（ａ）硬質層形成用アーク放電装置、潤滑層形成用スパッタリング装置、さらに蒸着装置を用い、（ｂ）上記超硬基体表面をＣｒボンバード洗浄処理し、（ｃ）（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる硬質層を形成した後、ＣｒＮからなる密着接合層を形成し、（ｄ）スパッタ放出酸化クロムと反応生成酸化クロムで構成された潤滑層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 優れた耐焼付き性、耐亀裂性、耐溶損性を有した、高寿命の鋳造用部材を提供する。
【解決手段】 熱間ダイス鋼もしくは高速度鋼を母材とする、少なくとも作業面に被覆層を有した鋳造用部材であって、該被覆層の母材直上層には、Ｃｒを主体とする窒化物、酸窒化物、炭窒化物の１種以上からなるａ層が存在し、該ａ層の上にはＶが主体の窒化物、酸窒化物、炭窒化物の１種以上からなるｂ層があり、ｂ層直上にはＣｒおよびＴｉのいずれか１種以上を主体とする金属層であるｃ層が存在し、更に該被覆層の最表層には、Ｏが原子％で２５％以下である硫化物のｅ層があり、かつｃ層とｅ層との間には、ＣｒおよびＴｉのいずれか１種以上を原子％の総量で１０％以上含有する硫化物のｄ層が存在し、かつｄ層においては、Ｃｒおよび／またはＴｉの総量がｃ層側からｅ層側に向かい連続あるいは段階的に減少している鋳造用部材である。 （もっと読む）

【課題】硬質皮膜被覆小径部材の実作用部の耐熱性、耐摩耗性と耐チッピング性及び摺動性を高めた部材を提供することである。特に、プリント基板等の高速回転、高送り穴開け加工に適し、優れた加工面粗さと加工精度を有し、工具寿命の長い硬質皮膜被覆小径工具を提供することである。
【解決手段】硬質皮膜被覆小径部材の基体は、ＷＣの平均結晶粒径が０．９μｍ以下、Ｃｏ含有量が２〜１３質量％、該Ｃｏ中にＣｒがＣｏの１．５〜１２質量％含有されているＷＣ基超硬合金であり、前記部材の少なくとも実作用部の表面に硬質皮膜が被覆され、該実作用部における該硬質皮膜の平均膜厚をＴａｖｅ、基体表面から突起表面までの最大高さをＴｍａｘとした時、Ｔｍａｘ／Ｔａｖｅが１〜１．３であることを特徴とする硬質皮膜被覆小径部材である。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、切削工具の靭性と耐摩耗性とを高度に両立させるとともに膜チッピングを抑制した表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】 本発明の表面被覆切削工具は、基材と、該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、該基材上の最外層となるものであり、かつ圧縮応力を有しており、該圧縮応力は、上記被膜の厚み方向に強度分布を有するように変化しており、該強度分布は、上記被膜の表面の圧縮応力が上記被膜の表面から、上記被膜の表面と上記被膜の底面との間に位置する中間点まで連続的に減少し、該中間点において極小点を有するとともに、該中間点から上記被膜の底面まで該圧縮応力が連続的に増加することを特徴としている。 （もっと読む）