【課題】 Ｃｕの耐拡散性を持ち、かつ電気特性、熱特性、機械特性および物理特性の全てに優れ、特に誘電率が極めて低く、高耐熱性を有し密着性に優れた絶縁膜およびそれを用いた半導体装置を提供する。
【解決手段】 ジアミノフェノール化合物および／またはビスアミノフェノール化合物と、ジカルボン酸化合物とより構成されるポリベンゾオキサゾール樹脂膜の製造方法であって、前記ジアミノフェノール化合物および／またはビスアミノフェノール化合物と、ジカルボン酸化合物は、真空中で気化させて基板上に堆積させることにより製膜することを特徴とするポリベンゾオキサゾール樹脂膜の製造方法。前記基板上に堆積させたジアミノフェノール化合物および／またはビスアミノフェノール化合物とジカルボン酸化合物とを、反応させる第（１）項に記載のポリベンゾオキサゾール樹脂膜の製造方法。 （もっと読む）

置換パラシクロファンは、プロセス中の電子デバイスなどの蒸着用基板に架橋可能なポリマーを形成する前駆体として特に有用である。アルキニルなどの架橋可能な置換基を含むパラシクロファン前駆体のフェニル連鎖を分解し、分解した前駆体に基板を接触させる。その結果、基板上に有機ポリマーが形成される。架橋可能な置換基の熱誘導反応などの反応を介してこのポリマーを架橋することによって、熱的に安定した架橋したポリマーを生成する。このような架橋したポリマーの蒸着は、集積回路の製造におけるダマシン法で用いられる超低ｋ誘電材料の封止に特に有用である。また、このポリマーはウエハとウエハを結合する際の接着剤としても有利である。さらに、このポリマーは電子デバイスのバックエンドオブザライン処理において、窒化シリコンおよび炭化シリコンに代わるハードマスクとしても有用である。 （もっと読む）

【課題】 成膜過程において基板に発塵による異物突起を生じさせることなく、しかも、保持部材から取り外す際に、基板に形成された皮膜を剥離させることがなく、更に、基板の表面を傷つけることがない皮膜形成装置及び皮膜形成方法を提供する。
【解決手段】 処理室内において、保持部材により保持された基板に対して、モノマーガスを反応させて皮膜を形成するための皮膜形成装置であって、前記保持部材の表面を、有機高分子皮膜により被覆したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱可塑性支持体あるいは無機蒸着膜上に、分子量６００以上の有機物を原料とすることが可能で、しかも架橋度を上げることにより、酸素バリア性と擦傷耐性に優れた有機物被覆層を形成する方法および製造装置を提供する。
【解決手段】
真空中で単官能あるいは２官能の（メタ）アクリル基を持つ分子量６００以下又はそれ以上の有機物および／または１，３，５−トリアジン誘導体をプラズマを照射させて活性化させた後に電子銃を用いて、完全に硬化させることで被覆層形成時に発生する収縮を低減させ、支持体等との密着性と耐擦傷性を付与する。 （もっと読む）

【課題】包装用の、又は電子機器関連部材用の積層体において、透明性に優れ、内容物の確認が可能で、且つ内容物の劣化の原因となる酸素や水蒸気を遮断する高度なガスバリア性に優れた多層蒸着フィルムを提供すること。
【解決手段】プラスチックフィルムの基材の一方の面に、真空成膜されたポリマー層が２層以上積層され、ポリマー層が、互いに異なる成分であり、基材とポリマー層との間に、無機酸化物蒸着層を設け、基材及び無機酸化物蒸着層及びポリマー層上に、プラズマ処理層を形成し、ポリマー層が、無機酸化物蒸着層上、若しくはポリマー層上に、モノマー、オリゴマー、又はそれらの混合物を真空蒸着により重合したポリマーを硬化させた皮膜層を順次積層し、少なくとも１層のモノマーおよびオリゴマーが、１，３，５−トリアジン誘導体であって、プラズマ処理と無機酸化物蒸着とポリマー蒸着が、同一成膜機にて形成する多層蒸着フィルム。 （もっと読む）

【課題】 化学量論組成比のモノマー組成でポリ尿素膜を作製することができるポリ尿素膜の形成方法及びポリ尿素膜形成装置を提供する。
【解決手段】 真空処理室中で原料モノマーを蒸発させて、これを基体上で重合させるようにした合成樹脂膜の形成方法であって、ジイソシアナート化合物を原料モノマーとして蒸発させ、同時に導入した水と反応させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 成膜材料の混合を行うに際して成分割合の調整を容易に行うことができ、成膜領域のずれを防ぐ。
【解決手段】 真空成膜装置の成膜源１０が、複数の成膜材料をそれぞれ収容する複数の材料収容部１１Ａ，１１Ｂと、各材料収容部１１Ａ，１１Ｂ内の成膜材料を加熱する加熱手段１２Ａ，１２Ｂと、成膜材料の原子流又は分子流を成膜材料毎に放出する放出口１３Ａ，１３Ｂと、材料収容部１１Ａ，１１Ｂと放出口１３Ａ，１３Ｂとを気密に連通する放出流路１４_１Ａ，１４_２Ａ，１４_３Ａ，１４_１Ｂ，１４_２Ｂ，１４_３Ｂとを備え、同一成膜材料を放出する単数又は複数の放出口１３Ａ，１３Ｂを一方向に延設し、該一方向に延設された放出口１３Ａ，１３Ｂの外縁を直線で結んで形成される帯状の放出領域Ｓ_１Ａ，Ｓ_１Ｂが平面的に少なくとも一部で互いに重なり合うように、放出口１３Ａ，１３Ｂを配置している。 （もっと読む）

【解決課題】 薄膜材料の化学反応を行うための処理容器内の気密性を確保して、不活性ガス雰囲気中での処理を好適な条件下で行うことができ、しかも、薄膜材料を傷つけることがなく、高速に大量に且つ連続して薄膜材料の処理を行うことができる薄膜材料処理装置及び該処理装置に用いられるシール装置を提供する。
【解決手段】 入口シール装置４及び出口シール装置６は、処理容器５の薄膜材料入口５ａ及び出口５ｂにそれぞれ取り付けられている。入口シール装置４及び出口シール装置６は、それぞれ、薄膜材料の出入口１１及び１６を備えるケーシング１２と、ケーシング１２の対向壁からそれぞれケーシング１２の内方に向かって延在するシール部材である複数の邪魔板対１３と、を備え、一対の邪魔板１３の各先端部１３ａは、互いに対向するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 レンズの表面を傷つきにくくしつつかつ極力コストアップを避けつつ防曇防止膜をプラズマ重合により形成した車両用ランプの内面防曇用レンズを提供する。
【解決手段】 本発明の車両用ランプの内面防曇用レンズは、車両用ランプのレンズ３の内面３ｂにイオン化ガスを衝突させてプラズマ処理を施すことにより内面３ｂを活性化して活性化層を形成し、活性化層にモノマーガス６を衝突させてプラズマ重合により撥水性のプラズマ重合層７を形成し、プラズマ重合層７にイオン化ガス８を衝突させてプラズマ処理を施すことにより親水層を形成した。 （もっと読む）

【課題】安価な設備で無色透明な有機層を形成する方法を提供するとともに、従来よりも高いガスバリア性能を持ちかつ曲げてもそのバリア性能が劣化しない透明フィルムを提供する。
【解決手段】熱重量分析による５％重量減少温度の差が３０℃以内である光重合性モノマーと光重合開始剤を含む混合物を基材上に蒸着させ、ＵＶ架橋させる有機層の形成方法、及び、高分子材料からなる基材の少なくとも片面に、前記方法で形成された有機層と無機層とが交互に少なくとも一層以上積層されたガスバリア性プラスチックフィルム。 （もっと読む）