【課題】高品質の有機物／無機物薄膜を製造して商用化することができる有機物／無機物複合薄膜の蒸着方法及び蒸着装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る時間分割型有機物／無機物複合薄膜の蒸着方法および蒸着装置は、有機物／無機物材料が含有されているソースタンクと、これを活性化させる熱開始剤が含有されている触媒ソースタンクとを各々装着することによって、大面積の基板上に有機物／無機物複合薄膜を蒸着する時、厚さを正確に調節することができ、蒸着を均一に行うことができる。また、１つ以上の有機物／無機物複合薄膜を蒸着する場合にも、厚さ及び組成を精密に調節することができる。 （もっと読む）

分子層堆積法を用いて有機ポリマー又は有機−無機複合ポリマーの超薄層を基板上に堆積する。この方法は、第１の官能基を有する気相反応物を用いる。この気相反応物は表面に単官能性でのみ反応して、ポリマー鎖に一つの単位を追加する。更に、追加の気相反応物は第１の官能基とは異なる第２の官能基を有するか、又はブロックされ、マスクされ若しくは保護された官能基、又はこのような官能基の前駆体を有する。
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【課題】 フッ素ガスやフッ素系樹脂を用いず、また高価な気相蒸着装置を用いず、簡便かつ効果的な基体表面処理方法を提供する。また、耐水効果に極めて優れた固形物、蛍光体含有組成物を提供する。また、発光特性に優れた蛍光体を効果的に利用しうる発光装置、画像表示装置、および照明装置を提供する。
【解決手段】 下記（１）および（２）の工程を含むことを特徴とする基体表面処理方法。好ましくは（１）および（２）の工程を不活性ガスの雰囲気下で行う前記基体表面処理方法。
（１）フッ化黒鉛を加熱する工程
（２）（１）で得られた生成物を基体と接触させる工程 （もっと読む）

【課題】２種類以上の原料モノマーを蒸発させ、真空処理室内に導入し、基体上に合成樹脂被膜を形成する真空処理装置において、成膜速度の向上と、モノマーの使用効率の向上と、真空排気電力の削減とを図る。
【解決手段】２種類以上の原料モノマーを蒸発させ、真空処理室内に導入し、これを基体上で重合させることからなる合成樹脂被膜を形成する真空処理装置であって、重付加反応を起こす２種類以上の原料モノマーを使用して、（Ａ）真空室内の排気を行う工程；（Ｂ）原料バルブを開いてモノマーを入れる工程；（Ｃ）真空排気を止め、排気バルブを止める工程；から成る真空処理プロセスを行うことによって、真空排気装置に頼らずに、自律的な成膜を行うことによって解決出来る。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易なプロセスで、物品の表面に親水撥油性を付与することができ、しかも該親水撥油性の耐久性が良好である物品の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス、セラミックスおよびプラスチックからなる群から選択される材料からなる被処理物品の表面を、（Ａ）パーフルオロカーボンと、（Ｂ）酸素原子を有し、Ｃ−Ｈ結合およびハロゲン原子のいずれも有しない酸素含有化合物とが存在する雰囲気中で放電処理することによって、前記被処理物品の表面上に膜を形成する工程を有することを特徴とする物品の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 被コーティング部品が微細な場合に、被コーティング部品を筒体内に均一に分布するように投入でき、取り出すときに被コーティング部品が飛散しにくい構造の蒸着コーティング装置用バレルを提供する。
【解決手段】 被コーティング部品を収納する筒体とこの筒体を回動させる回転軸とを備え、前記回転軸を中心とする略円周上に、その長手方向を前記回転軸と平行な方向としている複数の筒体を配設しているバレルであって、前記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーティング部品の表面に、コーティング皮膜形成用の原料物質を蒸着させると共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、分離可能である複数個の小型筒体の組み合わせで形成している蒸着コーティング装置用バレルとした。 （もっと読む）

【課題】高分子樹脂基材上に、無機化合物層とその上の有機被覆物の層とを有する積層体であり、前記両層間の密着性に優れた積層体を提供する。
【解決手段】真空成膜装置１内に、高分子樹脂基材の巻きだしロ−ル４および巻き取りロ−ル５を備え、高分子樹脂基材１０１が巻きだしロール４から巻きだされ、成膜ドラム３に接触しながら進行して巻き取りロール５によって巻き取られる間に、高分子樹脂基材１０１上に少なくとも無機化合物層と活性エネルギー線硬化樹脂層とを順次形成して得られる積層体であって、高分子樹脂基材１０１の進行方向の上流から下流にかけて、無機化合物層形成手段６と、酸触媒およびアルコール供給手段９と、架橋密度の低い活性エネルギー線硬化樹脂層Ａ塗布手段１０と、架橋密度の高い活性エネルギー線硬化樹脂層Ｂ塗布手段１１と、活性エネルギー線照射手段１２とを備えてなる装置によって積層体を得る。 （もっと読む）

【課題】放射線による発光の取り出し効率に優れ且つシンチレータ結晶の耐湿性に優れた放射線シンチレータプレートとその製造方法の提供。
【解決手段】基板２に放射線が照射されることにより光を発する柱状結晶の蛍光体層３とその上部に保護層が形成される放射線用シンチレータプレートにおいて、蛍光体層３の表面には、フッソ系溶剤ＨＦＥをＡｒガスをキャリアにして導入して形成したＣｓ−Ｆ結合を存在させて、蛍光体層８とする。次にポリパラキシリレンを体積して保護層とする。蛍光体層表面と保護層は接触させる。 （もっと読む）

【課題】所定のパターニングを有する保護膜を密着性が良好なものとする。
【解決手段】保護膜３に対し、パターニング可能なように保護膜３と基材１との界面で密着力が相対的に強い部分３Ｂと弱い部分３Ａを形成し、保護膜の密着力の相対的に弱い部分３Ａを取り除いて、所定のパターニングを有する保護膜を基材１上に形成する。 （もっと読む）

本発明は、コーティングされた状態で優れた腐食抵抗性及び溶接性を有する、コーティングシステムを提供されるフラット鋼生成物に関する。本発明によると、前記鋼生成物は、鋼製のベース層と、前記ベース層へ付与される防食システムとを有し、
前記防食システムは、厚さ３．５μｍ未満の金属コーティングと、前記金属コーティング上に付与されるプラズマポリマー層とを有しており、
ここで、前記金属コーティングが、前記ベース層上に付与される第１金属層と、前記第１金属層上に付与される第２金属層とから形成され、そして、前記第２金属層が、前記第１金属層と共に金属合金を形成している。 （もっと読む）

【課題】 被成膜処理物に蒸着重合法により成膜する蒸着重合高分子膜被覆体の表面を短時間で親水化することができる親水化方法を提供すること。
【解決手段】 蒸着重合高分子膜被覆体の表面親水化方法であって、被処理蒸着重合高分子膜被覆体をオゾン雰囲気に曝し、その後、３０〜７０％湿度雰囲気に放置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】主として、Si-O結合から成る低誘電率多孔質膜を気相法で形成する方法を与える。
【解決手段】被処理体上に多孔質膜を形成する方法は、気相中で有機化合物を重合させることで、有機化合物から成る微粒子を合成する工程と、該微粒子と、Si-O結合を有するシリコン系化合物とを反応させ、被処理体上に該微粒子を含む膜を形成する工程と、膜から該微粒子を除去する工程と、から成る。微粒子を合成する工程は、プラズマを用いて有機化合物を重合反応させる工程から成る。 （もっと読む）

プロセスチャンバコンポーネントは、使用中、チャンバ内で励起されたガスに露出され、パリレンコーティングを含む第１の表面と、使用中、励起されたガスに露出されない第２の表面とを含む。プロセスチャンバの内部表面は、イン・サイチュで、ポリマーコーティングによりコートすることができる。可搬性設備を用いて、プロセスチャンバにポリマーコーティングを形成することができる。前にコートしたチャンバコンポーネントはまた、ポリマーをオゾン及び／又は酸素により剥離し、ポリマーを再コートすることによって、再生することもできる。
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【課題】均一な超撥水膜を成膜することができるプラズマ成膜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】円柱状又は短冊状で軸中心部３１ａが周辺部３１よりも密度が高い分布をもつプラズマを用い、圧力が高く気体の拡散が少ない雰囲気下で気相成長もしくは重合により基板２８に成膜を行う成膜装置において、反応ガス３２を供給するガス管２７が複数に分岐され、該分岐されたガス管の噴出口はガス流が該プラズマの軸中心の周辺部に向かって噴出されるように配置され、かつ、該基板は成膜面３３の背面側から覆われるように囲い３６が設置されていることを特徴とするプラズマ成膜装置。 （もっと読む）

【課題】高いガスバリア能を有し、かつカール耐性に優れたガスバリア性薄膜積層体、ガスバリア性樹脂基材を高い生産性で提供し、またガスバリア性薄膜積層体、ガスバリア性樹脂基材を用いて密着性及びガスバリア耐性に優れた有機エレクトロルミネッセンスデバイスを提供する。
【解決手段】ポリマー膜と無機膜をそれぞれ少なくとも１層有するガスバリア性薄膜積層体において、該ポリマー膜の少なくとも１層が、大気圧またはその近傍の圧力下で重合性モノマーを含むガスを基材の表面に吹き付け、基材表面上で重合させて形成された重合膜であることを特徴とするガスバリア性薄膜積層体。 （もっと読む）

【課題】 意図しない副反応を生じさせずに、良質の有機薄膜を精度よく形成することができる有機薄膜形成方法および光ＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】 所定の真空度に減圧されている成膜室１１に原料モノマー２１と光増感剤２２を供給し、光源１５の光で励起された光増感剤２２を介して原料モノマー２１の重合反応を引き起こし、その重合膜を基板Ｗ上に堆積させる。光源１５は光増感剤２２の導入流路２６にのみ臨むように配置されているので、原料モノマー２１や成膜室内の基板Ｗに光源１５の光が照射されることはない。これにより、原料モノマー２１あるいは基板Ｗ上の高分子膜に光源１５の光照射による意図しない副反応（切断反応や架橋反応）が生じるのを効果的に防止でき、例えば３次元構造の有機薄膜を良質かつ高精度に形成することが可能となる。 （もっと読む）

蒸発した材料のビームが、反射体の衝突面に衝突して、当該反射体からシャドウマスク内の１以上の開口を通って堆積基板上へと方向が変えられるように、前記蒸発した材料のビームを前記反射体の方向に向けて、パターン化された材料層を形成することを含む、パターン化層の作成方法。
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【課題】 基材フィルムの一方の面に無機酸化物からなる薄膜層を形成する際に、基材フィルムへの影響を改善し、その黄変等の変化を防止し、また、基材フィルムと無機酸化物からなる薄膜層との密着強度等を改良し、かつ、酸素ガス、水蒸気等の透過を阻止するバリア性に優れ、引っ張り、揉み、しごき等の物理的ストレスにさらされても、そのバリア性の劣化が少なく、透明性に優れた極めて有用なバリア性フィルムおよびそれを使用した積層材を提供することである。
【解決手段】 基材フィルムの一方の面に、ポリパラキシリレンからなる蒸着重合膜を設け、更に、該ポリパラキシリレンからなる蒸着重合膜の上に、無機酸化物からなるバリア性薄膜層を設けたことを特徴とするバリア性フィルムおよびそれを使用した積層材に関するものである。 （もっと読む）

【課題】 被着体の材質によって殆ど影響を受けることなく、フィルムの被着体に対する接着性を大幅に向上させることが可能な被着体の表面処理液、その表面処理液を用いた被着体の表面処理方法、及びそのような表面処理方法によって表面処理が施された被着体を提供する。
【解決手段】 アルミニウム sec−ブチレートをイソプロパノールやsec−ブタノール等の低級側鎖アルコールに溶解させた表面処理液中に被着体を浸積させる。浸積後、上述と同じ低級側鎖アルコール、又は他の低級アルコールで被着体を洗浄し、洗浄後、被着体を乾燥させる。 （もっと読む）

多層被膜を基板の上に堆積するツール。１つの構成では、本ツールは、圧力または温度が制御された環境の少なくとも一つの下で動作するインライン有機材料堆積ステーションを含む。別の構成では、それはさらに、インライン式およびクラスタツールの両方の特徴構造を組み込む複合設計である。この後者の構成では、堆積ステーションの少なくとも１つが無機層を堆積するように構成され、他方で、少なくとも１つの他の堆積ステーションが有機層を堆積するように構成される。本ツールは特に、多層被膜を個別基板の上に堆積することばかりでなく、フレキシブル基板の上に配置された環境に敏感なデバイスをカプセル封じすることにも適切である。安全システムが、本ツールに対する有機材料の分配を監視するために含まれ得る。
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