【課題】蒸着源がレールに沿って移動するスライディング走行方式の有機物蒸着装置を提供する。
【解決手段】チャンバ内の一側に配置され、基板を保持する基板保持部と、チャンバ内の他側に配置されたレールと、レールに沿って移動し、レールと交差する方向に移動する第１プレートおよび第２プレートを備える移送部と、第１プレート上に配置され、基板に蒸着させる有機物を収容するとともに蒸発させる第１蒸着源および第１補助蒸着源と、第２プレート上に配置され、基板に蒸着させる有機物を収容するとともに蒸発させる第２蒸着源および第２補助蒸着源と、を備える。第１蒸着源および第２蒸着源にそれぞれ収容した有機物がなくなると、第１蒸着源および第１補助蒸着源の位置と、第２蒸着源および第２補助蒸着源の位置とがそれぞれ変更され、第１補助蒸着源および第２補助蒸着源にそれぞれ収容した有機物を蒸発させて基板に蒸着させる。 （もっと読む）

【課題】ＣＶＤ法により防湿膜を蒸着する際、蛍光体層13に塵埃等が付着しにくいシンチレータパネル11の製造方法を提供する。
【解決手段】シンチレータパネル11の蛍光体層13を下向きとして、基板12の周辺部を支持台21の複数の支持針24により支持する。この支持状態で、ＣＶＤ法により基板12および蛍光体層13の表面全体を覆う防湿膜を蒸着する。防湿膜の蒸着後に、支持台21の支持針24上からシンチレータパネル11を外す。 （もっと読む）

【課題】樹脂表面と反射膜用の金属薄膜の密着性を向上させることができる反射膜形成技術を提供する。
【解決手段】本発明は、成膜対象物の樹脂からなる成膜面上に真空中で緩衝用重合体膜を形成する緩衝用重合体膜形成工程（Ｐ２）と、緩衝用重合体膜上に真空中でプラズマによる処理を施すプラズマ処理工程（Ｐ４）と、当該プラズマ処理された緩衝用重合体膜上に、真空蒸着によって光反射性の金属薄膜を形成する反射膜形成工程（Ｐ６）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 ２種類以上の液体状のモノマーを異なるエバポレータで気化させて混合することができるフラッシュ蒸着方法及び装置を提供する。
【解決手段】フラッシュ蒸着装置１０は、反応室３０と、連続搬送されるフィルム２０を支持するためのドラム３２と、複数のエバポレータ４０，５０と、各エバポレータ４０，５０に接続され、液体状のモノマーを保持するモノマータンク４６，５６と、モノマータンク４６，５６からモノマーをエバポレータ４０，５０に送液するための送液ポンプ４４，５４と、エバポレータ４０，５０から排出される気化されたモノマーを合流させる合流部８０と、合流部８０に接続された混合機８２と、混合機８２に接続されたノズル８４を備えている。 （もっと読む）

【課題】膜質が良好な有機層および無機層を、高い生産効率で成膜することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】本発明の成膜装置は、長尺の基板を長手方向に所定の搬送経路で搬送しながら、基板の表面に有機層を形成し、有機層上に無機層を形成するものである。この成膜装置は、基板を長手方向に所定の搬送経路で搬送する搬送手段と、有機層を基板の表面に形成する第１の成膜手段が設けられた第１の成膜室と、第１の成膜室の搬送経路の下流側に配置されるとともに有機層上に無機層を形成する第２の成膜手段が設けられた第２の成膜室と、第１の成膜室内および第２の成膜室内を所定の圧力に減圧する真空排気手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】特に蒸着重合膜を形成するに際し、原料モノマーが基板の裏面側や支持台側に入り込むことによる、前記基板裏面側及び前記支持台等における重合膜の形成を抑制し、前記原料モノマーの使用効率を向上させるとともに、ゴミの発生及び混入による前記重合膜の製造歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】基板１４の外周端部１４Ａを露出させるようにして支持台１１上に前記基板１４を支持し、前記基板１４の前記外周端部１４Ａをヒータ１２で加熱するとともに、前記基板１４の中央部に位置する膜形成領域を温度調節機構１３で所定温度に保持する。 （もっと読む）

【課題】成膜容器の壁面上の熱重合反応を抑制して有機膜の形成を抑制し、パーティクルの発生による有機膜の品質劣化及び製造歩留まりを低減するとともに、それに伴う原料モノマーの使用効率を向上させる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜容器１１の壁面に沿って設けられた外部ヒータ１４によって、前記成膜容器１１の前記壁面を有機膜の形成に供する原料モノマーの蒸発温度以上に加熱し、前記外部ヒータ１４と離隔し、基板を搭載した基板支持容器１２に近接して配置された内部ヒータ１３によって、前記基板を前記原料モノマーの熱重合反応温度に加熱し、前記成膜容器１１内に前記原料モノマーを供給し、前記基板上での熱重合を通じて前記有機膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】低コストで、長尺な基板を巻き取る際の不具合の発生を抑制することができる成膜装置、成膜方法、機能性フィルムおよびフィルムロールを提供する。
【解決手段】本発明の成膜装置は、長尺の基板を長手方向に搬送しながら、真空容器内で基板の表面に所定の膜を形成するものであり、真空容器内を所定の真空度にする真空排気手段と、真空容器内に設けられ、基板の幅方向の端部を折り曲げて圧着し、基板の中央部よりも厚い厚肉部を基板の両端に基板の搬送方向に沿って形成する端部形成部と、真空容器内に設けられ、基板の表面に気相成膜法により所定の膜を形成する成膜部とを有する。 （もっと読む）

【課題】成膜チャンバーの内壁部分へのパリレン膜の付着量を抑制できる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】ポリパラキシリレン又はその誘導体からなる膜を基体上に形成する成膜チャンバーを備える成膜装置であって、前記成膜チャンバーの内壁を加熱する加熱手段を有し、基体を冷却する冷却手段をさらに有することを特徴とする成膜装置。 （もっと読む）

【課題】処理容器の側壁への不要な付着膜の堆積を抑制してクリーニング処理の頻度を減少させると共に、クリーニング処理時間を短くし、これにより装置の使用効率を上げてスループットを大幅に向上させることが可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】被処理体Ｗの表面に高分子薄膜を形成する成膜装置において、被処理体を収容する処理容器４と、処理容器内で被処理体を保持する保持手段６と、処理容器内を真空引きする真空排気系３０と、処理容器内へ高分子薄膜の複数の原料ガスを供給するガス供給手段２０と、処理容器を加熱する容器加熱手段１４と、保持手段を冷却する内部冷却手段４０と、処理容器の側壁と保持手段との間の温度差が所定の温度差以上になるように制御する温度制御部６２とを備える。これにより、処理容器の側壁への不要な付着膜の堆積を抑制する。 （もっと読む）

【課題】紫外波長域における反射率が十分に低い反射防止膜を形成する。
【解決手段】真空排気された処理室１内で、無機材料である酸化シリコンを主材料ボート４から電子ビームにより加熱蒸発させて蒸発粒子を生成する。処理室１内にプラズマガス有機材料であるシロキサンガスとの混合ガスを導入し、プラズマ発生用電極７に高周波電力を供給してプラズマを発生させ、イオンプレーティング法により基材９の表面に、シロキサンをバインダーとした酸化シリコンの重合膜を形成する。シロキサンは紫外波長域での光の吸収が大きく反射率を下げることができるとともに、重合度が高いので基材９への密着性が良好になる。 （もっと読む）

【課題】太陽電池モジュールを構成する充填材との良好な密着性を有し、かつ耐候性、耐水性、防湿性等の諸特性に優れ、難燃性にも優れた安価な太陽電池用裏面保護シートに有用な積層体を提供する。
【解決手段】フッ素系樹脂フィルム（１０１）の少なくとも一方の面に、有機化合物層、無機化合物層（１０４）を順次設けてなり、前記有機化合物層は、少なくとも付加重合官能基を有するフッ素化合物を含み、かつ、前記フッ素系樹脂フィルム上に形成された有機化合物層Ａ（１０２）と、分子量が１５０〜６００のトリアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル化合物を含み、かつ、前記無機化合物層と接する側に形成された有機化合物層Ｂ（１０３）と、を含み、前記有機化合物層および無機化合物層は、真空雰囲気下において蒸着法を用いて形成されたものである積層体。 （もっと読む）

【課題】 有機溶剤を用いて保護膜を形成しても樹脂製基材が侵されることがない保護膜で保護された金属装飾膜を備えた樹脂製基材及び樹脂製基材への金属装飾膜の積層方法を提供する。
【解決手段】 保護膜で保護された金属装飾膜を樹脂製基材に積層する方法であって、前記樹脂製基材上に、蒸着重合法による高分子膜と、金属装飾膜とを積層した後、有機溶剤を用いて保護膜を積層することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高いガスバリア性が必要とされる場合に好適に用いることができる透明なガスバリア性積層フィルムを提供する。
【解決手段】基材層１両面上に、ガスバリア層２と被膜層３を順次積層してなり、前記ガスバリア層２は酸化珪素からなり、かつ、各々の膜厚（厚さＸａおよびＸｂ）が０．００５μｍ以上０．２μｍ以下であり、前記被膜層３は、フラッシュ蒸着法を用いて重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物を成膜し、紫外線または電子線を照射して硬化させてなり、かつ、各々の膜厚（厚さＹａおよびＹｂ）が０．１μｍ以上２０μｍ以下であり、下記３つの式を満たすことを特徴とするガスバリア性積層フィルム。０．００２≦ＸａＹａ、０．００２≦ＸｂＹｂ、（Ｘａ＋Ｘｂ）（Ｙａ＋Ｙｂ）≦０．５。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子の長寿命化を図ることが可能で、かつ、従来よりも製造コストを安価なものにすることが可能な有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１２と、基板１２上に形成され、陽極１４、正孔輸送層１６、有機発光層１８、電子輸送層２０及び陰極２４を有する積層構造体と、封止膜２６とを備える有機エレクトロルミネッセンス素子１０の製造方法であって、基板までの距離が１５ｍｍ以下の位置に配置したノズルから気化材料を基板に向けて吐出することにより、有機発光層１８を形成する有機発光層形成工程を含む。 （もっと読む）

【課題】セラミック多孔体１を用いた小さくて緻密な気孔径で安定した通気抵抗を有するセンサー等のフィルターを提供することを目的とする。
【解決手段】気泡導入された酸化物系セラミック材料からなるスラリー中にモノマーを溶解させ成形用型内に注入するゲルキャスティング法で成形したセラミック多孔体１は、内部が気泡３によって形成される多孔構造で、気泡の径を小さくすることで、小さくて緻密な気孔径のセラミック多孔体が得られ、このセラミック多孔体に化学的蒸着処理で撥水性を有する樹脂２コーティングを施すことで、セラミック多孔体の骨格を形成する表面に均一な薄膜厚が形成でき、小さくて緻密な気孔径で安定した通気抵抗で、かつ、耐汚損性の高く軽くて強度も高いものが得られるようになる。 （もっと読む）

【課題】無溶媒で均質なフッ素系高分子薄膜およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基材表面に、フッ素系モノマーと架橋剤とを真空蒸着させてなるフッ素系高分子薄膜である。フッ素系モノマーと架橋剤を同時に蒸発させ、両者あるいはその一方の蒸気に電子線あるいは紫外線を照射し、前記フッ素系モノマーと架橋剤を同時に基板表面に堆積させて形成することができる。また、フッ素系高分子薄膜はフッ素系モノマーを２個または３個のアクリル基を有する化合物で架橋結合してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】かじり防止の為のポリイミドコートされたボルトやナット等の締結具を真空中で用いる場合、脱脂洗浄した締結具とは同程度のガス放出量がある為、より良い真空雰囲気を得るにはガス放出量の低減、特に水のガス放出量の低減が求められていた。
【解決手段】脱脂洗浄したステンレス鋼のボルト部品１の雄ネジ部４の表面に１μｍ程度ポリイミド膜５を施し、２００℃以上３００℃以下で、３０分以上真空加熱、又は窒素雰囲気中加熱を行う。これにより、低ガス放出量、特に水のガス放出量の少ないボルト部品１にすることができる。このようにして製造されたボルト部品１は、真空処理装置の組立てや真空配管の接続に好適である。また、本発明はボルトに限らず、ナットや雌ネジ部を有する板材等の締結具にも適用可能である。 （もっと読む）

【課題】耐凝集性および耐硫化性に優れると共に、保護膜が略無色透明である反射膜を提供する。
【解決手段】Ａｇ薄膜、または、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｂｉ、及び希土類元素から選ばれる１種類以上の元素を含有するＡｇ合金薄膜で形成された膜厚７０ｎｍ以上の第１層と、Ｓｉ、Ａｌ、Ｔｉから選ばれる１種以上の金属の酸化膜或いは酸窒化膜で形成され、その膜厚が、５ｎｍ以上、５０ｎｍ以下の第２層と、プラズマ重合膜で形成され、その膜厚が、１０ｎｍ以上、１００ｎｍ以下の第３層を積層して成る。 （もっと読む）

本発明は、物品２の開口部にて蒸着／真空蒸着させることのできる材料にて膜壁３を生成する方法に関する。この方法は、蒸着可能な材料に対して剥離性のある層５にて被覆された裏打ち面４に接するように、開口部を画定する縁部配置する工程と、蒸着可能な材料を物品２及び裏打ち面４上に蒸着させて１つの要素を形成する工程と、要素と一体的な膜３が残しるようにして要素を裏打ち面４から分離する工程と、を含む。本発明は、膜３が設けられた物品、特に、前面側膜３が設けられた超音波トランスデューサ１１にも関する。
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