【課題】生産性を高めるとともに、蒸着材料の加熱の均一性を向上させて蒸着レートを安定して制御できるようにする。
【解決手段】真空チャンバ２内で、蒸着材料を加熱して昇華または蒸発させて基板９上に蒸着する真空蒸着装置１において、蒸着材料である有機材料を、有機材料よりも融点が高く、かつ、有機材料よりも熱伝導性がよい多孔質体に担持して蒸着源３としている。 （もっと読む）

【課題】転写層となる材料層が余分に蒸着されるのを防ぐと共に所望の蒸着パターンを形成することができ、転写中に材料等の劣化が起きにくい方法を用いることにより、高精細で発光特性が高く、長寿命である発光装置の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第１の基板の材料層が形成された一方の面から所定の条件式を満たす第１の光を照射することにより、材料層をパターン形成し、次いで第１の基板の他方の面から所定の条件式を満たす第２の光を照射することにより、パターン形成した材料層を被成膜基板である第２の基板上に蒸着させる発光装置の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】被蒸着材の広い被蒸着面に、より均一に蒸着可能な蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸発された蒸発材料をガラス基板Ｗに付着させる蒸着装置において、ガラス基板Ｗに対向して配置される蒸発材料通路１３の出口１３ａに連通して、内部に拡散空間１６を有する放出用容器１５を設け、放出用容器１５のガラス基板Ｗ側で、蒸発材料通路１３の出口１３ａの対向部位を除く所定位置に複数の放出孔１７を穿設し、拡散空間１６に、蒸発材料通路１３の出口１３ａに対向して蒸発材料粒子を反射する反射面板６１Ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】材料容器内の材料の充填密度を高める。
【解決手段】蒸着源１００は、有機材料ｍａを収納する材料容器１１０と、材料容器１１０に収納された有機材料ｍａを加熱するヒータ１０５と、複数の貫通孔が形成された平板１１５ａを有し、平板１１５ａの押圧面１１５ａ１により材料容器１１０に収納された有機材料ｍａを押圧しながら、ヒータ１０５の加熱により気化した有機分子を複数の貫通孔に通す押圧部材１１５と、弾性力を用いて押圧部材１１５による有機材料ｍａへの押力を緩和するベローズ１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】スプラッシュの発生が抑制され、また、蒸着レートが安定した蒸着源、および蒸着装置を提供すること。
【解決手段】ルツボ８には、導電体からなる複数の加熱板１が間隙を持って重なって配置されている。各加熱板１には、膜材料５が搭載可能に設けられている。最上段の加熱板１には、膜材料５がセットされていない。誘電コイル１０によって磁界が形成されると、各加熱板１自体が誘電加熱によって斑なく発熱し、載せられた膜材料５も均一に加熱されるため、蒸着レートが安定する。また、膜材料５が薄く形成されているため、当該材料内における温度分布が略均一となり、スプラッシュの発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】樹脂表面と反射膜用の金属薄膜の密着性を向上させることができる反射膜形成技術を提供する。
【解決手段】本発明は、成膜対象物の樹脂からなる成膜面上に真空中で緩衝用重合体膜を形成する緩衝用重合体膜形成工程（Ｐ２）と、緩衝用重合体膜上に真空中でプラズマによる処理を施すプラズマ処理工程（Ｐ４）と、当該プラズマ処理された緩衝用重合体膜上に、真空蒸着によって光反射性の金属薄膜を形成する反射膜形成工程（Ｐ６）とを有する。 （もっと読む）

【課題】有機EL表示装置において、有機EL層、上部電極、補助電極等、蒸着によって形成する薄膜の形成精度を向上させる。
【解決手段】回路基板101に近接させて蒸着マスク21を設置する。回路基板101の上側には、マグネット103、磁界強度を調整するための中間板102が配置されている。蒸着マスク21はマスクシート23とマスクフレーム22から構成されている。回路基板101の熱膨張係数をα(S)とし、マスクフレーム22の熱膨張係数をα(F)とした場合、(α(S) -5×10^-6℃^-1) ≦ α(F) ≦ (α(S) +10×10^-6℃^-1)の関係とし、かつ、マスクフレーム22の熱膨張係数を前記マスクシート23の熱膨張係数よりも大きくすることによって高精度のマスク蒸着を可能とする。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】高品質な有機薄膜を形成できる技術を提供する。
【解決手段】蒸発槽４１の内部に所定量の有機材料を供給し、蒸発槽４１を密閉して有機材料蒸気を放出させる。蒸発槽４１内が設定圧力まで上昇した後、放出口４３を開け、蒸発槽４１から蒸気放出装置１４に有機材料蒸気を移動させ、真空槽１１内に放出させる。有機材料が二種類以上の有機化合物の混合物であっても、大きな圧力差で移動するから、移動速度の相違による有機材料蒸気の組成変化はなく、膜厚方向で均一な有機薄膜を形成することができる。溶剤に有機化合物が溶解又は分散された液体状の有機材料を用いる場合、蒸発槽４１内で有機化合物の蒸気を発生させる前に、溶剤を蒸発除去しておくとよい。 （もっと読む）

【課題】均一な膜を成膜することを目的とする。また、成膜に要する時間を短縮し、生産性を向上させることを目的とする。
【解決手段】一方の面に、光吸収層と、光吸収層に接して形成された材料層と、を有する第１の基板を用い、第１の基板の材料層が形成された面と、第２の基板の被成膜面とを対向させ、第１の基板の他方の面側から周波数１０ＭＨｚ以上、パルス幅１００ｆｓ以上１０ｎｓ以下のレーザ光を照射し、光吸収層と重なる位置にある材料層の一部を選択的に加熱し、材料層の一部を第２の基板の被成膜面に成膜する成膜方法において、式（１）または式（２）を満たす条件で成膜する。


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【課題】転写層となる材料層が余分に蒸着されるのを防ぐと共に所望の蒸着パターンを形成することができる蒸着用基板を用いることにより、蒸着材料の利用効率を高めるだけでなく、蒸着パターンを形成する上での精度を高めることができる発光装置の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】蒸着用基板である第１の基板に、マスク基板である第２の基板を介して第１の光（レーザ光）を照射することにより、第１の基板上の材料層をパターン形成する蒸着用基板の作製方法である。また、上述した方法によりパターン形成された材料層を有する第１の基板に第２の光を照射することにより、材料層を被成膜基板である第２の基板上に蒸着させることが可能な発光装置の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子の発光層を成膜する工程において、基板とマスクを密着させるためのマグネットの磁力による影響が発光層に及ぶのを防ぐ。
【解決手段】基板２０に対して、複数のパターニング開口領域３１とフレーム領域３２から構成されたマスク３０をマグネット１０を用いて密着させて、有機発光素子の発光層を蒸着する。マグネット１０は、基板２０の裏面側において、マスク３０のフレーム領域３２のみを吸着する。マスク３０のパターニング開口領域３１にはマスク１０の磁力が作用しないため、磁力によって発光層に発光ムラが発生するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】有機電界発光表示装置の製造装置及び製造方法を提供すること。
【解決手段】上記有機電界発光表示装置の製造装置は、チャンバと、基板がその上面に載置するように上記チャンバ内部に配置され、所定パターンの開口が形成されているマスクと、上記マスクの下側に配置されて上記マスクの開口を通して上記基板に膜が形成されるように蒸着物質を上記マスク側に供給する蒸着物質供給源と、上記基板の底面に上記マスクが密着されるように上記基板の上面を上記マスク側に加圧し、上記基板の曲がった形状に沿って変形して上記基板の上面を加圧する基板−マスク密着ユニットとを含む。 （もっと読む）

【課題】 ２種類以上の液体状のモノマーを異なるエバポレータで気化させて混合することができるフラッシュ蒸着方法及び装置を提供する。
【解決手段】フラッシュ蒸着装置１０は、反応室３０と、連続搬送されるフィルム２０を支持するためのドラム３２と、複数のエバポレータ４０，５０と、各エバポレータ４０，５０に接続され、液体状のモノマーを保持するモノマータンク４６，５６と、モノマータンク４６，５６からモノマーをエバポレータ４０，５０に送液するための送液ポンプ４４，５４と、エバポレータ４０，５０から排出される気化されたモノマーを合流させる合流部８０と、合流部８０に接続された混合機８２と、混合機８２に接続されたノズル８４を備えている。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】膜質の良い有機薄膜を成膜可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】基板ホルダ４０は基板７が水平にされた水平状態から起こされ、基板ホルダ４０に保持された基板７は、基板ホルダ４０と一緒に起立し、水平面から傾いた起立状態にされる。放出装置５０は起立状態の基板７と対面し、該基板７に有機材料の蒸気を噴出して、基板７表面に有機薄膜が成長する。有機薄膜が成長する間、基板７を起立状態にしておけば、有機薄膜に塵等の不純物が混入しない。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料のシャッター部材への付着に起因する膜厚や膜質が変化するのを防止し得る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着により薄膜をガラス基板Ｋに形成し得る蒸着室１と、蒸着材料を蒸発させて蒸着材蒸気を得る複数の蒸発用セル４と、蒸着室内に配置されて蒸発用セルからの蒸着材蒸気を材料移送管６を介して導く分散用容器７と、この分散用容器に設けられて蒸着材蒸気を所定の放出位置に導く放出用ノズル11先端の放出口を開閉し得る穴部22を有するシャッター部材21とを具備し、シャッター部材を、放出用ノズルの放出口の上方位置で且つこの放出口を閉鎖し得る閉鎖位置と開放し得る開放位置との間で移動自在に設けるとともに、シャッター部材の穴部が放出口に対応する開放位置にあっては、当該シャッター部材が放出用ノズルの放出口よりも下方位置に移動し得るように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】所望の領域の材料のみが成膜されることを可能にし、微細パターンの形成を可能にすることを目的とする。また、成膜に要する時間を短縮し、生産性を向上させることを目的とする。
【解決手段】一方の面に、金属窒化物を含む光吸収層と、光吸収層に接して形成された材料層と、を有する第１の基板を用い、第１の基板の材料層が形成された面と、第２の基板の被成膜面とを対向させ、第１の基板の他方の面側から周波数１０ＭＨｚ以上、パルス幅１００ｆｓ以上１０ｎｓ以下のレーザ光を照射し、光吸収層と重なる位置にある材料層の一部を選択的に加熱し、材料層の一部を第２の基板の被成膜面に成膜する。 （もっと読む）

【課題】粉末状の有機ＥＬ材料は取り扱うが難しく、大気に曝すと、すぐに特性が劣化してしまう。
【解決手段】粉末状の有機ＥＬ材料１２を、ガラス製のアンプル１３に封入してなる有機ＥＬ素子用材料１１の形態で、有機ＥＬ材料を取り扱う。そして、真空蒸着装置を用いて素子形成用基板上に有機層を形成する場合は、その有機ＥＬ素子用材料１１を蒸着源に投入した後、真空チャンバ内を減圧する過程で、アンプル１３を内外圧力差により開裂させ、これによって露出した有機ＥＬ材料１２を加熱して蒸発させる。 （もっと読む）

【課題】材料の無駄を減らし利用効率を向上させ、かつ被成膜基板に微細なパターンの薄膜を形成する成膜方法を提供することを課題の一とする。また、このような成膜方法を用いて発光素子を形成し、高精細な発光装置を低コストで作製することを課題の一とする。
【解決手段】基板上に光吸収層及び材料層が形成された成膜用基板に、基板を透過させて光吸収層に光を照射することによって、選択的に材料層に含まれる材料を、対向して配置された被成膜基板へ成膜する。光吸収層を選択的に形成することによって、被成膜基板に成膜される膜は、光吸収層のパターンを反映した微細なパターンで選択的に成膜することができる。材料層の形成は、基板及び光吸収層上に、有機化合物材料を含む粉体を散布し、加熱処理によって固定させて行う。 （もっと読む）

【課題】成膜容器の壁面上の熱重合反応を抑制して有機膜の形成を抑制し、パーティクルの発生による有機膜の品質劣化及び製造歩留まりを低減するとともに、それに伴う原料モノマーの使用効率を向上させる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜容器１１の壁面に沿って設けられた外部ヒータ１４によって、前記成膜容器１１の前記壁面を有機膜の形成に供する原料モノマーの蒸発温度以上に加熱し、前記外部ヒータ１４と離隔し、基板を搭載した基板支持容器１２に近接して配置された内部ヒータ１３によって、前記基板を前記原料モノマーの熱重合反応温度に加熱し、前記成膜容器１１内に前記原料モノマーを供給し、前記基板上での熱重合を通じて前記有機膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】特に蒸着重合膜を形成するに際し、原料モノマーが基板の裏面側や支持台側に入り込むことによる、前記基板裏面側及び前記支持台等における重合膜の形成を抑制し、前記原料モノマーの使用効率を向上させるとともに、ゴミの発生及び混入による前記重合膜の製造歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】基板１４の外周端部１４Ａを露出させるようにして支持台１１上に前記基板１４を支持し、前記基板１４の前記外周端部１４Ａをヒータ１２で加熱するとともに、前記基板１４の中央部に位置する膜形成領域を温度調節機構１３で所定温度に保持する。 （もっと読む）