【課題】溶融金属による浸食を軽減することにより長寿命化を達成することができるセラミックス焼結体及びこのセラミックス焼結体で構成された金属蒸着発熱体（ボート）を提供する。また、溶融金属のスプラッシュを低減させることができるセラミックス焼結体及びこのセラミックス焼結体で構成された金属蒸着発熱体（ボート）を提供する。
【解決手段】二硼化チタン（ＴｉＢ_２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ_２）と、窒化硼素（ＢＮ）と、必要に応じて窒化アルミニウム（ＡｌＮ）とを含有してなるセラミックス焼結体であって、これらの成分から選ばれた少なくとも一種の成分の濃度が、厚み方向において、有位に異なっている部分があることを特徴とするセラミックス焼結体。このセラミックス焼結体からなる金属蒸着発熱体（ボート）。 （もっと読む）

【課題】 鮮鋭性ムラの極めて低減した放射線画像変換パネル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 気相堆積法により支持体上に蛍光体層を形成する放射線画像変換パネルの製造方法において、真空容器内に蒸発源を有する蒸着装置を用い、同心円上に並べられた複数の蒸発源を同時に蒸発させることにより、蒸着膜からなる蛍光体層を形成することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 蒸着によって有機機能層を形成する際の、蒸着材料の使用効率を高め、膜厚の制御を容易とした、有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の画素領域３３を備える素子基板３０の画素領域３３に有機機能層を形成する工程で、複数の画素領域３３に対応して隔壁ＢＨにより区画され、ヒータ５０が設けられた複数の材料配置部２０を有する蒸着ボート１０を用いる。そして、蒸着ボート１０の材料配置部２０に有機機能層となる有機材料１９を配置し、蒸着ボート１０の材料配置部２０に素子基板３０の画素領域３３が対向するように、蒸着ボート１０と素子基板３０とを重ね合わせ、ヒータ５０を発熱させ、有機材料１９を素子基板３０の画素領域３３に蒸着することにより、有機機能層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 坩堝と加熱部及びノズル部が一つの区画された空間に配置され、その大きさが縮小された蒸発源と、この蒸発源を利用して蒸着物質を基板に蒸着するための蒸着装置を提供する。
【解決手段】 ハウジング110と、前記ハウジング110に内蔵された坩堝120と、前記ハウジング110に内蔵されながら坩堝120を加熱するために周辺に設けられた加熱部と、前記坩堝120から蒸発された蒸着物質が噴射ノズル140を介してハウジング110の外部に位置された基板220に噴射されるように設けられたノズル部と、を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】 加熱容器支持台及びそれを備えた蒸着装置を提供する。
【解決手段】 上面に複数個の孔が形成された支え台、そして支え台の各孔の入口に配置され、孔に対応する開口部と孔内壁に沿って延びる遮断部を備えた汚染防止板を備えることを特徴とする蒸着装置の加熱容器支持台である。これにより、加熱容器支持台の孔の縁部近傍への蒸着物質の付着が防止されて、維持、管理及び使用が容易である。 （もっと読む）

非常に高い堆積レートで、二軸配向フィルムを連続的に移動する金属テープ基板上に堆積する方法が開示される。これらの方法は、フィルムを基板上に、基板法線から約５°から約８０°の斜め入射角を持つ堆積フラックスで堆積し、同時に、該堆積フィルムを該フィルムの最良イオン配向方向または第２の最良イオン配向方向のいずれかに沿って設けられたイオンビーム入射角でイオンビームを使って照射し、それにより二軸配向フィルムを形成することを含み、堆積フラックス入射面は二軸配向フィルムが早い面内成長速度を持つ方向に沿って平行に設けられる。基板、前記方法で前記基板上に堆積された二軸配向フィルム、及び二軸配向フィルム上に堆積された超伝導層を含む超伝導物品が同様に開示される。
（もっと読む）

【課題】ルツボで気化された蒸着物質による噴射ノズルの詰まりまたはスプラッシュ現象を防止して，基板に形成される有機物層の均一度を高めることができる蒸発源の加熱制御方法，蒸発源の冷却制御方法および蒸発源の制御方法を提供すること。
【解決手段】バッファー領域と成膜領域とを有する蒸着システムで，蒸着物質を収容するルツボ２２と，上記ルツボで気化された上記蒸着物質を案内する誘導路２４と，上記誘導路に案内された上記蒸着物質を噴射する噴射ノズル部２６と，を具備した蒸発源２０の加熱制御方法において，ａ）上記誘導路および噴射ノズル部を加熱する段階と，ｂ）上記ａ段階の後に，上記ルツボを加熱する段階と，を含む。 （もっと読む）

有機材料（25）を堆積させるための蒸発源（10）は、有機材料を収容するキャビティ（15）を有するボート（30）と、互いに離れた複数の開口部（45）を持っていてそのボートを閉じさせる開口プレート（40）とを備えている。この蒸発源は、キャビティの中にあって開口プレートと有機材料の間に設けられた加熱素子（50）と、その加熱素子と接触していて、その加熱素子からのエネルギーを吸収する少なくとも3つの面（75、80、85、120、125）を備え、第1の面はエネルギーを開口プレートに向かわせ、第2の面（80）と第3の面（85）はエネルギーをボートの壁部と有機材料に向かわせるバッフル部材（70）も備えている。
（もっと読む）

【課題】 放射線像取得方法において、被写体の放射線像が記録された蓄積性蛍光体シートに励起光を走査して取得される上記放射線像を示す画像信号の品質の低下を抑制する。
【解決手段】 被写体の放射線像１Ｈが記録されている蓄積性蛍光体シート２１上への励起光Ｌｅの走査を、蓄積性蛍光体シート２１の縁部のうち、被写体の放射線像１Ｈが記録されている縁部２１Ｔから行なうようにし、上記励起光Ｌｅの走査により蓄積性蛍光体シート２１から発生した輝尽発光光を検出して被写体の放射線像１Ｈを示す画像信号を取得する。 （もっと読む）

【課題】 各種光学部材などの被処理基材の表面を前処理を行うことによって、耐防汚性、耐擦傷性、耐溶剤性等に優れた防汚層を短時間に形成することが叫ばれており、この課題の解決を目的とする。
【解決手段】 被処理基材上の少なくとも片面に、防汚剤を用いて防汚層を形成する方法であって、前記防汚層を形成する前に、前記被処理基材上の少なくとも片面を前処理し、この前処理した表面に防汚層を成膜する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】輝尽性蛍光体層の蒸着開始前に浮遊物が支持体上に付着することを防止して、高鮮鋭な放射線画像変換パネルを製造する放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】真空容器３と、真空容器３内に設けられ、支持体２に蒸着させる輝尽性蛍光体を収容するるつぼ１０，１０と、るつぼ１０，１０に対向し支持体２を支持する支持体ホルダ４と、るつぼ１０，１０の開口を覆う被覆位置からるつぼ１０，１０からの輝尽性蛍光体の蒸発を妨げない退避位置まで移動可能なシャッタ板１２を備える蒸発源シャッタ１１，１１と、支持体ホルダ４に支持された支持体２の表面を覆う被覆位置から支持体２にかからない退避位置まで移動可能なシャッタ板７を備える支持体シャッタ９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】蒸発源シャッタに堆積した蒸発材料の再蒸発を防止して輝尽性蛍光体層の厚さを均一にし、高感度かつ高鮮鋭な放射線画像変換パネルを製造する放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】真空容器３と、真空容器３内に設けられ、支持体２に蒸着させる輝尽性蛍光体を収容し、蒸気を発生させるるつぼ７，７と、るつぼ７，７に対向し支持体２を支持する支持体ホルダ４と、るつぼ７，７から発生する蒸気の蒸発領域１０を遮蔽するシャッタ板９，９を備えるるつぼシャッタ８，８とを備え、るつぼシャッタ８，８は、るつぼシャッタ８，８のるつぼ７，７に対向する側の温度がＴ、輝尽性蛍光体の融点がＭＰであるとき、Ｔ＜３／４×ＭＰ（式Ａ）となるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 高い発光効率を示し、かつ耐久性にも優れた有機電界発光素子を長時間、安定的に製造することができる有機電界発光素子の製造方法，及びそれを用いて製造される、高発光効率を示し、かつ耐久性にも優れた有機電界発光素子を提供する。
【解決手段】 一対の電極間に少なくとも一層の有機層を有する有機電界発光素子の有機層の製造方法であって、３座以上の配位子を有する金属錯体を少なくとも一種含有する蒸着材料を蒸着される基板に蒸着する工程を有し、該蒸着材料を交換することなく、２回以上連続して該蒸着する工程に用いることを特徴とする有機電界発光素子の有機層の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、真空蒸着装置に関し、真空処理される基板（２）を受け入れるように適応される室（１）と、有機材料の分子流ジェットを発生させる少なくとも１個のインジェクタ（１１０）を含む。インジェクタは弁（２０）を備えており、室の基部を貫通すると共に、前記有機材料を入れた取り外し可能なリザーバ（１０）を受け入れるように適応された端片（１２０）を含む。温度勾配を形成するように、主加熱機器（４０）はリザーバを加熱すると共に、副加熱機器（３０，４０）はインジェクタを加熱する。
（もっと読む）

【課題】蒸着率が一定であり，再現性の良い蒸着ソースおよびそれを備えた蒸着装置を提供すること。
【解決手段】開口部を有する加熱容器１３，２３と，加熱容器１３，２３の開口部に結合される，加熱容器１３，２３の開口部の長手方向に沿って複数の孔１７，２７が形成されたカバー１５，２５と，を備え，加熱容器１３，２３の開口部の長手方向に沿って，カバー１５，２５に形成された互いに隣接した孔１７，２７間の距離が変わることを特徴とする蒸着ソースである。 （もっと読む）

【課題】蒸着レートを正確に制御できる真空蒸着方法および真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】抵抗加熱源となるルツボ内で温度を測定し、その結果に応じて加熱をフィードバック制御することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】反射板を使用することによってノズルの熱を効果的に高め、ノズルでの蒸着物質の凝縮を防止することができる蒸発源を提供する。
【解決手段】蒸着物質が位置し、一部分が開口された蒸着物質貯蔵部と、前記蒸着物質貯蔵部の開口された部分に連結され、前記蒸着物質を噴射するための開口部を有するノズル部と、前記ノズル部の少なくとも一部の角部を取り囲む反射板と、前記蒸着物質貯蔵部を取り囲むハウジングと、前記ハウジングと前記蒸着物質貯蔵部との間に介在される加熱部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】真空蒸着に用いられる蒸発源に蒸着材料を自動供給する場合に、蒸着材料を大容量搭載し、定量供給する蒸着材料供給機構を提案する。
【解決手段】真空室内部に配置した蒸着材料を基板面に堆積させる真空蒸着装置用の蒸着材料供給装置であって、定量形成された蒸着材料を複数個積重する収容器、収容器の底面を開放して落下させた少なくとも１つの蒸着材料を受容する受容手段、受容手段の底面を開放して受容されている蒸着材料を投下する投下手段、および収容手段と受容器との相対位置、及び受容手段と投下手段との相対位置を水平面内において変化させる移動手段からなり、収容手段に対する収容器の相対位置が所定の位置にある場合に収容器の底面の開放が行われ、受容手段に対する投下手段の相対位置が所定の位置にある場合に受容手段の底面の開放が行われるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 気化する材料が配置されている気化器るつぼにより材料を気化するための装置を提供する。
【解決手段】 気化器るつぼの周囲には、気化器チューブを縦方向に見た場合、空間内に前後に配置されていて、電気的に別々に制御することができる少なくとも２つの加熱回路を備える気化器チューブが設置されている。これらの各加熱回路は、少なくとも２つの加熱サブ回路を備えていて、その一方は、気化器チューブの１つの側面上に配置されていて、もう一方は、気化器チューブの他方の側面上に配置されている。気化器チューブは、それ自身の加熱回路を有する頂部を備える。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ表示装置に適したアニール方法を提供する。
【解決手段】
成膜対象物７１上にマスク１０を配置し、孔１１を通過する有機薄膜材料の蒸気によって有機薄膜層を形成した後、マスク１０と成膜対象物７１との間の相対的な位置関係を変えずに、マスク１０のレーザ光２９を照射する。孔１１を通過したレーザ光２９は孔１１底面に露出する有機薄膜層に照射され、その有機薄膜層のアニールが行われる。アニール後、マスク１０と成膜対象物７１との相対的な位置関係を変えずに、孔１１を通過した有機蒸着材料の蒸気によって、アニール後の有機薄膜層表面に他の有機薄膜層を形成する。 （もっと読む）