【課題】蒸着材料を蒸発源に連続的に供給し得る蒸着材料の蒸発装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料を貯留するとともに真空ポンプ４に接続された材料貯留容器３と、この材料貯留容器に真空バルブ５を介して接続され且つ当該材料貯留容器から導かれた蒸着材料を予熱するとともに所定方向に移送し得る予熱手段６と、この予熱手段で予熱された蒸着材料を導き所定温度に加熱し蒸発させる加熱蒸発手段７とから構成し、且つ予熱手段を、一端側に蒸着材料の入口部１３ａが設けられるとともに他端側に出口部１３ｂが設けられ且つ水平方向で回転自在に配置された回転筒状体１３と、この回転筒状体を回転させる筒状側回転駆動装置１４と、上記回転筒状体の外周に配置された予熱用ヒータ１２とから構成したものである。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、１５ｃｍ角程度の小さな基板から３０ｃｍ以上の大きな基板に対して、基板内の膜厚分布が良好であり、且つステップカバレッジの悪化によるピンホールが生じにくい蒸着膜を、蒸着材料の利用効率が高く形成することを課題としたものである。
【解決手段】
該蒸着ボートの蒸発孔を２つ以上の直径の異なる同心円の円周上に配置し、且つ、該蒸着ボートの両端の電極板部から通電し、容器部を加熱することにより該容器部内の蒸着材料を蒸発させ、基板上に薄膜形成を行なう蒸着方法であって、蒸発孔を配置した２つ以上の円周の少なくとも一つが基板に内接する円を垂直投影したときの円周上または円周内側にあり、且つ、少なくとも一つが基板に外接する円を垂直投影したときの円周上または円周外側にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】強度の低い薄い又はもろい被処理物に対して適用でき、必要とする被処理物の部位のみに容易に成膜できる成膜方法を提供する。
【解決手段】開口部を備えた真空装置と、成膜手段と、真空装置の開口部の縁部とこの縁部が当接する被処理物との間に挿置されるシール部材と、被処理物表面の一部に装着され、所要の成膜パターンを画定するマスク部材と、成膜処理すべき被処理物表面の一部の表面と裏面の圧力差を極めて小さくする為の補助真空装置と、被処理物表面にソフトに当接する為のソフトタッチ機構とを有し、真空装置の開口部が成膜処理すべき被処理物表面の一部の形状に応じて変形できるように構成される。 また、開口部を成膜処理すべき被処理物表面の一部に位置合わせし、補助真空装置を用いて成膜処理すべき被処理物表面の一部の両面の圧力差を極めて小さく維持し、マスク手段を成膜処理すべき被処理物表面の一部に当接して成膜する。 （もっと読む）

【課題】小型の放射線画像情報記録読取装置に適用するに好適な、消去光量が少ないＩＰ（放射線画像変換パネル）を提供することにある。
より具体的には、少ない消去光量で短時間に、かつ、低コストで消去することができるＩＰを提供することにある。
【解決手段】気相堆積法により形成された蛍光体層を有する放射線像変換パネルであって、前記蛍光体層が柱状結晶構造を有し、かつ、この柱状結晶構造の占める前記蛍光体層中の相対密度が６０〜７０％の範囲にあることを特徴とする放射線像変換パネル。
前記蛍光体層はアルカリ金属ハロゲン化物系輝尽性蛍光体、より好ましくはセシウムハライド系輝尽性蛍光体からなることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】柱状結晶からなる蛍光体層の柱状構造を損傷することなく、蛍光体層の厚みの均一性およびその表面の平坦度を向上させた放射線像変換パネル用蛍光体層の製造方法、およびこの蛍光体層を有する放射線像変換パネルを提供すること。
【解決手段】気相堆積法により柱状結晶からなる蛍光体層を基板上に形成する成膜工程と、形成された前記蛍光体層の表面を研磨する研磨工程とを有する放射線像変換パネルの蛍光体層の製造方法であって、前記研磨工程は、研磨材料を所定の基準面との間に所定の間隔を以って配設した状態で、前記研磨材料と前記基板とを相対的に移動させることにより、前記蛍光体層の表面を所定の厚みだけ研磨する工程であり、かつ、この研磨工程を複数回に分けて行うことにより、当該蛍光体層の表面における平面度を所望の値にすることを特徴とする蛍光体層の製造方法。 （もっと読む）

【課題】真空蒸着による成膜において、成膜材料の蒸発状況を把握し、これに基づいて成膜材料の蒸発レートを調整して、所定膜厚の膜を高精度に安定して形成するに最適な真空蒸着方法およびこの真空蒸着方法を実施する真空蒸着装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ内を減圧しつつ、成膜材料を収容する抵抗加熱用の蒸発容器に通電して加熱することにより、基板に成膜する、抵抗加熱による真空蒸着を行うに際し、前記蒸発容器からの成膜材料の蒸発レートが所定値になるように、前記蒸発容器の加熱制御を所定時間継続し（ステップＡ〜Ｂ）、その後、前記蒸発容器の加熱を一定加熱条件で行うように切り換える（ステップＣ〜Ｄ）ことを特徴とする真空蒸着方法、並びにこれを具体化した装置。 （もっと読む）

【課題】 膜厚の制御が精度良く行えるとともに蒸着処理能力を向上し得ることができる蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蒸着用誘導管６に介在された第１ストップバルブ５と、蒸発用容器４から蒸着用容器３に接続されて蒸発材料の一部を調整用として取り出す調整用誘導管８と、調整用誘導管８に介在された第２ストップバルブとを具備し、ガラス基板１の交換作業を行う際、第２ストップバルブ７を開いて蒸発用容器４内の高濃度の蒸発材料を放出した後、第１ストップバルブ５を開いて蒸発用容器４から通常濃度となった蒸発材料を放出させることにより、蒸発用容器４内を短時間で定常状態とすることができるとともに通常濃度の蒸発材料をガラス基板１に付着させることができるため、蒸着処理能力を向上し得ることができるとともに膜厚の制御を精度良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、低コストで高度なガスバリア性を有するガスバリア性フィルムおよびかかるガスバリア性フィルムを簡便かつ安定して製造することができる方法を提供せんとするものである。
【解決手段】
本発明のガスバリア性フィルムは、高分子フィルム上に無機化合物層を２層以上有するフィルムであって、該無機化合物層間に酸化金属珪素化合物層を有することを特徴とするものである。
また、本発明のガスバリア性フィルムの製造方法は、高分子フィルムを巻き出したのち、次いで、金属を蒸気化し、該フィルム表面上に該金属蒸気を用いて無機化合物層を形成し、その後、該高分子フィルムからの２層目以降の無機化合物層を有機Ｓｉ含有ガスプラズマ雰囲気中で形成することを特徴とするものである。
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【課題】蛍光体層における柱状結晶の成長状態が均一で、画質ムラがない蛍光体シートを製造することができる蛍光体シート製造装置の提供。
【解決手段】真空チャンバ１２と、真空チャンバ内を、側面に設けられた排気口を介して排気する真空排気手段と、容器に収納された蓄積性蛍光体層の成膜材料を抵抗加熱によって加熱し、容器の開口部から成膜材料の蒸気を放出させる抵抗加熱手段と、抵抗加熱手段の上方において、基板を保持する基板保持手段１４と、蛍光体層の成膜中に、真空チャンバ内の真空度を調整するために、少なくとも１つのガス導入口を介して真空チャンバ内に不活性ガスを導入するガス導入手段とを有する。ガス導入口６０ａ，６２ａの縁部と排気口の縁部とを直線的に結んで形成される第１の領域と、抵抗加熱手段の容器の開口部の縁部と基板Ｓの縁部とを直線的に結んで形成される第２の領域とが交わらないようにガス導入口が設けられている。 （もっと読む）

【課題】溶融金属に対する耐食性が大きいセラミックス焼結体と、このセラミックス焼結体で構成された長寿命のボートを提供する。
【解決手段】二硼化チタン及び／又は二硼化ジルコニウムを３０〜８０質量％、窒化硼素を２０〜７０質量％含有し、しかも表面層、中間層及び裏面層を有するセラミックス焼結体であって、セラミックス焼結体の厚みに対する中間層の比率が１０〜８０％、表面層と裏面層の比率がそれぞれ少なくとも１０％であることを特徴とするセラミックス焼結体。本発明のセラミックス焼結体の表面層を溶融金属の蒸発面としてなることを特徴とする金属蒸着発熱体。 （もっと読む）

【課題】
昇華性材料、有機材料向けの抵抗加熱式金属性昇華性材料用蒸着ボートにおいて、蒸着材料の注ぎ足しや蒸着ボートの交換頻度を減らし多層成膜における連続蒸着作業の効率を上げるために、容器部の容量を増やした深底容器部を含む底板を溶接法を使わずプレス成型加工法により低コストで製造し、提供することを目的としたものである。
【解決手段】
容器部の深さが容器部の幅の１倍から４倍である深底容器とした本発明の大容量の蒸着ボートを使用することにより、蒸着材料を従来の蒸着ボートより多量に仕込むことができ、蒸着材料の注ぎ足しや蒸着ボートの交換頻度を減らし多層成膜における連続蒸着作業の効率を上げることができた。また、深底容器部は超塑性金属やランクフォード値の大きい材料を用いることにより溶接法を使わずプレス成型法で製造でき、低コストで手に入れることができた。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、昇華性材料、有機材料向けの抵抗加熱式昇華性材料用金属製蒸着ボートにおいて、基板の内接円を垂直投影した位置に８つ以上の蒸着ボートの蒸発孔が配置し難い問題を解決することを課題とする。さらに、蒸着ボートの底板の容器部の容量を増やした蒸着ポートを用いることにより、蒸着材料の注ぎ足しや蒸着ボートの交換頻度を減らし多層成膜における連続蒸着作業の効率を上げることを課題とする。
【解決手段】
Ｌ字型に曲げた金属製抵抗加熱蒸着ボートを用い、カバーの蒸発孔をカバーの中心から折り曲げ加工されたほうにずらし、底板の容器部の深さを大きくした蒸着ボートを、電極ジグと熱電センサーとともに一体とし、移動調節可能な電源ジグユニットとし、電源ジグユニットを放射状に配置した蒸着装置を用いることにより、上記課題を解決した。 （もっと読む）

コーティング材料を気相に変えることが可能であり、特にコーティング装置（１００）に使用される加熱装置（１０）が、記載されている。この加熱装置は、前記コーティング材料が中に装填可能な中空のスペースと内面とを有する少なくとも1つの加熱ユニット（１１）と、前記加熱ユニット（１１）中に分散状態で位置された複数の加熱素子（１２）とを有している。コーティング材料を気相に変えるためのコーティング装置と方法とが、また、記載されている。
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【課題】クティブマトリクス型の発光装置を作製するにあたり、従来に比べ短時間内で製造でき、且つ、低コストで歩留まりよく製造できる構造及び方法を提供する。
【解決手段】アクティブマトリクス型の発光装置の画素部に配置されるＴＦＴの半導体層に接して形成される金属電極、或いは電気的に接続される金属電極を積層構造とし、部分的にエッチング加工する。そして、エッチング加工された金属電極を発光素子の第１の電極とし、その上にバッファ層と、有機化合物を含む層と、第２の電極とを積層することを特徴とする。 （もっと読む）

材料４は、容器２内に材料を配置し、材料を蒸発させそれが基板上に移るように材料４の表面に電子ビームを接触させることによって基板８上に堆積される。電子を通さないシールド７は、電子ビームによって接触される表面の一部を覆うように配置される。以前には電子ビームによって接触されていた表面の一部が、もはやシールドによって覆われず、基板８に露出するように、一方の容器２と他方のシールド７及び電子ビームの間に相対運動が生じる。
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【課題】 蛍光体層と支持体との接着性が良好で、かつ感度の向上した放射線像変換パネルおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 支持体およびその上に気相堆積法により形成された下地層と蛍光体層とからなり、該支持体の下地層側表面における水の接触角が５０゜より小さく、該蛍光体層が蛍光体母体化合物と付活剤とからなる蛍光体から構成され、そして下地層が該蛍光体母体化合物からなる相対密度が６０〜９８％の範囲にある層であることを特徴とする放射線像変換パネル。 （もっと読む）

【課題】 長期間にわたって優れた硬度および美的外観を保持することができる装飾品を提供すること、前記装飾品を提供することができる製造方法を提供すること、また、前記装飾品を備えた時計を提供すること。
【解決手段】 本発明の装飾品１Ａの製造方法は、基材２上に、主としてＴｉＮで構成された第１の被膜３を形成する第１の被膜形成工程と、第１の被膜３上に、乾式めっき法により、８．０〜１２ｗｔ％のＰｔと、６．０〜８．０ｗｔ％のＰｄと、２．０〜４．０ｗｔ％のＣｕと、１．５〜２．５ｗｔ％のＡｇと、１．０〜３．０ｗｔ％のＭ（ただし、Ｍは、ＺｎおよびＩｎよりなる群から選択される少なくとも１種）とを含むＡｕ−Ｐｔ−Ｐｄ−Ｃｕ−Ａｇ−Ｍ系合金で構成された第２の被膜４を形成する第２の被膜形成工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 スプラッシュによる故障を防止し、スポット状欠陥の少ない高品質な機能性薄膜形成と、膜厚が安定した機能性薄膜形成が可能な真空蒸着方法の提供。
【解決手段】 蒸発源容器から原料を蒸発させ、基板上に蒸着膜を形成する真空蒸着方法において、原料を該蒸発源容器に入れる前に、前記蒸発源容器を洗浄手段を用いて洗浄液で洗浄し、乾燥した後に前記蒸発源容器に該原料を入れ、前記蒸発源容器を加熱し原料を蒸発させ、基板上に蒸着膜を形成することを特徴とする真空蒸着方法。 （もっと読む）

【課題】
簡便な方法で温度を正確に測定し制御できる昇華性材料用蒸着ボートを提供すること、さらにはその蒸着ボートと温度測定用のシース熱電対を用い簡便で再現性良く精度の高い温度制御を低コストで可能にすることを課題とした。
【解決手段】
蒸着材料を入れる容器部を有する底板と、少なくとも２穴またはメッシュ状の穴の開いた中板と少なくとも１つ以上の穴の開いたカバーのうちの両方またはどちらかを備えた抵抗加熱式金属製昇華性材料用蒸着ボートにおいて、前記底板の蒸着材料が入る容器部の底部の外側に温度センサーを接触、保持させる機構を有する蒸着ボートを発明することにより上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】被蒸着体の被蒸着領域の拡大（長大）化や蒸着材料が少量である場合などに対して、容易且つ安価に対処することができる構成のるつぼを備えた真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】るつぼ２２Ａは蒸着室１６Ａ一面に広がる一体ものとし、その上面３１に、その一端から他端までの長さの１本又は複数本のスリット溝３２Ａを設け、このスリット溝３２Ａを蒸着材料（ドーパント材３０Ａなど）の収容部とする。または、るつぼを蒸着室１６Ａ一面に広がる一体ものとし、その上面に複数個の孔を設け、この孔を蒸着材料の収容部とする。更には、るつぼを複数の領域に分け、るつぼの下面側に前記領域ごとに個別の電気ヒータを配設することにより、前記領域ごとに個別に前記電気ヒータによる温度調節を可能とする。 （もっと読む）