【課題】フォトクロミック機能を有する塩化銀または塩化銀を主成分とする薄膜を、真空蒸着手法のみによって容易に形成できるようにする。
【解決手段】塩化銀または塩化銀を主成分とする蒸着材料を、１００℃以上の温度での複数段階の昇温加熱で熔解させて真空蒸着する。 （もっと読む）

【課題】外観として金属光沢を有した優れた意匠性を持ち、水蒸気バリアー性、酸素バリアー性が要求される用途、特に、食品包装材料として使用可能な、安定した蒸着層を有する紙積層材を提供すること。
【解決手段】紙である基材層上に、アンカーコート剤を塗布してアンカーコート層もしくはアンカーコート含浸層を形成し、さらに、該アンカーコート層もしくはアンカーコート含浸層上に金属蒸着層を積層した紙積層材であり、基材層の厚さ１μｍ当たりに対し、前記アンカーコート剤が乾燥後の重量で０．２ｇ／ｍ² 以上塗布されていて、前記金属蒸着層を積層した後の入射角６０°×反射角６０°条件での光沢度が７０％以上、かつ、水蒸気透過率が３ｇ／ｍ² ／ｄａｙ以下であることを特徴とする紙積層材。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、低コストで高度なガスバリア性を有するガスバリア性フィルムおよびかかるガスバリア性フィルムを簡便かつ安定して製造することができる方法を提供せんとするものである。
【解決手段】
本発明のガスバリア性フィルムは、高分子フィルム上に無機化合物層を有するフィルムであって、Ｘ線光電子分光法により測定される該無機化合物層内のＡｌ原子濃度に対するＯ原子濃度の比率が２〜３、ＳＩＭＳにより測定される該無機化合物層内のＣ原子濃度が１×１０^２１〜１×１０^２２ａｔｏｍｓ／ccであることを特徴とするものである。
かかるガスバリア性フィルムの製造方法は、高分子フィルムを巻き出したのち、次いで、金属を蒸気化して該フィルム表面上に無機物層を形成する際に、該無機物層を、該無機物層形成時に投入される酸素原子数に対する炭素原子数の０．１〜１０％である炭素元素含有ガスプラズマ雰囲気中で形成することを特徴とするものである。
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【課題】暗点欠陥の原因となる分解物質や副生成物などのゴミが成膜中に混入することを抑制し、さらに蒸着レートの低下を防ぐことを目的とする。
【解決手段】開口部を有する蓋付きの坩堝内に金属酸化物と金属酸化物よりも熱伝導率の高い物質であるセラミックスとを充填して蒸着を行うことで、成膜中に暗点欠陥の原因となるゴミが混入することを抑制し、さらに蒸着レートの低下を防ぐことができる。よって、膜質及び成膜の再現性が向上する。 （もっと読む）

【課題】スプラッシュの低減を可能としたボートを提供する。
【解決手段】二硼化チタンと窒化硼素及び／又は窒化アルミニウムを主成分とするセラミックス焼結体からなり、金属蒸発面の通電方向に対する垂直方向の算術平均粗さ（Ｒａ）の比が０．７〜１．３であるか、又は金属蒸発面の通電方向に対する垂直方向の最大高さ（Ｒｍａｘ）の比が０．７〜１．３であることを特徴とする金属蒸発発熱体である。この場合において、通電方向及び通電方向に対して垂直方向の算術平均粗さ（Ｒａ）がいずれも２〜５μｍであり、また通電方向及び通電方向に対して垂直方向の最大高さ（Ｒｍａｘ）がいずれも３０〜６０μｍであること、算術平均粗さ（Ｒａ）又は最大高さ（Ｒｍａｘ）の調整が、サンドブラスト処理によって行われていること、及び金属蒸発面にキャビティを有すること、の実施態様から選ばれた少なくとも一つを備えていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】膜厚が均一な有機ＥＬ素子を工業的に効率的に製造するための、真空蒸着用のるつぼを提供するものである。
【解決手段】るつぼ内側表面の表面粗さ（Ｓｍ）が５０μｍ以上であり、単位平方ｍｍあたり、０．２個以上の穴を設けた遮蔽蓋を有し、炭素含有量、酸素含有量がそれぞれ５０ｐｐｍ以下であり、るつぼ外表面に黒化膜が形成されたモリブデンまたはモリブデン合金からなるるつぼおよびそれを用いた有機ＥＬディスプレイの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 真空蒸着法によって形成される、均一な厚さを有するステンレス蒸着層を備えたステンレス蒸着ガラス容器及び、そのようなステンレス蒸着ガラス容器の安定的な製造方法を提供する。
【解決手段】 ステンレス蒸着ガラス容器及びその製造方法において、ガラス容器の外面及び内面、あるいはいずれか一方の表面に対して、例えば、全体量に対して、ニッケルの含有量を５〜２５重量％、及びクロムの含有量を８〜３０重量％の範囲内の値としたステンレス材料を主成分としたステンレス蒸着層を、直接的または間接的に形成する。 （もっと読む）

【課題】 蒸着効率が高く、かつ高感度であって高画質の放射線画像を与える放射線像変換パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】 蒸着装置内において、蓄積性蛍光体（或はその原料）を含む蒸発源を加熱し、発生する物質を蒸発源の上方に配置した基板上に蒸着堆積させることにより蛍光体層を形成することにより放射線像変換パネルを製造する方法において、加熱発生物質が蒸発源から該基板に至る空間から外に拡散するのを防ぐことのできる拡散防止壁部材を、該空間を囲むように配置し、そして拡散防止壁部材を基板の温度よりも高く、かつ蒸発源の温度よりも低い温度に維持しながら、０．１乃至１０Ｐａの範囲の真空度にて蒸着を行う方法。 （もっと読む）

【課題】 電極を確実に当接させることにより安定して通電が行われ、またメンテナンスが容易に行える成膜装置を提供する。
【解決手段】 チャンバ３の内部に配設されたターンテーブル１と、ターンテーブル１に設けられたボート２と、ボート２に膜材料を供給する膜材料供給機構Ｂと、ターンテーブル１の中心軸１０１を中心とする円周上に設けられた一対の上部電極８と、ターンテーブル１が所定位置に位置するときの一対の上部電極８の下方に位置するように配置された一対の下部電極９と、一対の下部電極９の少なくとも一方を実質的に鉛直方向に保持する可動体１２と、可動体１２を弾性的に鉛直方向に移動可能に支持する弾性封止体１１と、所定位置に位置する一対の上部電極８が、一対の下部電極９から離隔した位置と一対の下部電極９との間を上下するようターンテーブル１を駆動するエアシリンダ５とを備えている、成膜装置。 （もっと読む）

【課題】発光層のより多くの部分でドーパント材料の濃度を最適値とすることにより有機ＥＬ素子の発光効率を高める。
【解決手段】ノズルＮＺＬ１及びＮＺＬ２を備えた第１ノズル群とノズルＮＺＬ３及びＮＺＬ４を備えた第２ノズル群とを、気化したホスト材料ＥＭ１をノズルＮＺＬ１及びＮＺＬ２から電極に向けて吐出すると共に、気化したドーパント材料ＥＭ２をノズルＮＺＬ３及びＮＺＬ４から前記電極に向けて吐出しながら、前記電極を備えた絶縁基板に対して前記第１及び第２ノズル群の配列方向に相対的に移動させて、前記電極上に発光層を形成する。前記基板の一主面に垂直であり且つ前記配列方向に平行な面内で、ノズルＮＺＬ１及びＮＺＬ２がホスト材料ＥＭ１を噴き出す方向Ｄ１及びＤ２は互いに異なっており、且つ、ノズルＮＺＬ３及びＮＺＬ４がドーパント材料ＥＭ２を噴き出す方向Ｄ３及びＤ４は互いに異なっている。 （もっと読む）

【課題】発熱体であるヒータの温度分布を均一にしてヒータの中央部と両端部との間の温度差を小さくすると共に、蒸着材料の蒸発を均一化させて基板に蒸着される材料の成膜厚さを均一にするヒータ及びこれを採用した蒸発源を提供する。
【解決手段】蒸着装置のるつぼを加熱させるためにるつぼの上面と下面のうちの少なくとも一箇所に設置される板状のヒータにおいて、前記ヒータは不均一なピッチ間隔で蛇行した形状を有し、前記ヒータの中央部は蛇行する回数が少なくピッチ間隔が広くなるように形成され、両端部はピッチ間隔が狭くなるように形成される。 （もっと読む）

【課題】板状の加熱源を使うことで発熱効率を増大させて加熱温度を低め、ハウジング内の冷却水路を持つ冷却ジャケットを具備することにより、冷却効率を増大させることができるようにした扇形蒸着源を提供する。
【解決手段】蒸着チャンバ内に配置された蒸発物質を蒸発させるためのるつぼと、前記るつぼに熱を供給するための加熱源と、前記加熱源から放出される熱を遮蔽するためのハウジングと、前記るつぼを安着させる外壁及び前記るつぼから蒸発された物質を噴射するためのノズル部と、を具備する扇形蒸着源において、前記加熱源は板状で形成され、前記ハウジングは冷却水が流通される冷却水路を具備する。 （もっと読む）

【課題】発熱体を構成している金属の蒸発を原因とする汚染を防ぐことで、大きな面積の酸化物薄膜をより高品質に形成できるようにする。
【解決手段】複数の絶縁柱１５１により支持板１５２に屈曲されて配設された電熱線よりなる発熱体１０５を、大気中などの高い濃度で酸素を含む雰囲気で、１１００℃程度にまで通電加熱することで、発熱体１０５の表面に構成する金属の酸化被膜が形成された状態として用いる。発熱体１０５が、鉄とクロムとアルミニウムとの合金よりなる電熱線から構成されている場合、表面には酸化アルミニウムの被膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】 成膜時の温度上昇を抑制しつつ、多元系膜の組成制御を精度よく行えるようにする。
【解決手段】 ターゲット２、静電チャック４および坩堝５を移動させることにより、ターゲット２、半導体ウェハＷおよび蒸着源７の位置関係を調整した後、チャンバ１内の真空引きを行いながら、ヒータ６にて蒸着源７を加熱し、半導体ウェハＷの成膜処理を蒸着にて行うとともに、スパッタガスＧ１および反応ガスＧ２をチャンバ１内にそれぞれ供給し、ターゲット２に高周波電圧を印加することにより、チャンバ１内にプラズマＰＺを発生させ、半導体ウェハＷの成膜処理を蒸着にて行いながら、半導体ウェハＷの成膜処理をスパッタにて行うことにより、半導体ウェハＷ上に多元系膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】 傾斜組成膜の保管中の変質を防止して暴露環境での材質変化を正確に計測することができる環境診断方法を提供する。
【解決手段】 平面内で組成が変動している傾斜組成膜を、診断しようとする暴露環境中に放置する第１の工程と、この第１の工程に引き続いて前記傾斜組成膜を、前記暴露環境中に存在し前記傾斜組成膜と化学反応する反応性物質と反応させる第２の工程と、この第２の工程後、前記傾斜組成膜の表面を覆って阻止膜を密着形成する第３の工程と、この第３の工程により形成された前記阻止膜の一部又は全部を、前記傾斜組成膜を計測する前に前記傾斜組成膜の表面から除去する第４の工程と、この第４の工程を経た後、前記傾斜組成膜の化学反応後の特性を計測して、反応前後での特性変化から暴露環境を診断する第５の工程とを有する環境診断方法。 （もっと読む）

【課題】蒸着率が安定化するまでの所要時間を最小化し、蒸着効率を高め、ノズルの凝縮現象を防止するための有機蒸着源及びその加熱源の制御方法を提供する。
【解決手段】蒸着チャンバ内に配置され、含有する有機物質を蒸発させるためのるつぼ１０と、るつぼ１０に熱を供給するための加熱源を含む加熱部３０と、加熱部３０から放出される熱を遮蔽するためのハウジング５０と、るつぼ１０を安着させる外壁７０と、るつぼ１０から蒸発された物質を噴射するためのノズル部９０を具備する有機蒸着源１００であって、加熱部３０は、るつぼ１０の上部に位置される上部加熱部と、るつぼ１０の下部に位置される下部加熱部と、上部加熱部に電力を供給するための第１電力源と、下部加熱部に電力を供給するための第２電力源と、が構成される。 （もっと読む）

【課題】蒸着率安定化到達時間を最小化して蒸着効率を高めてノズルの凝縮現象を防止し、精緻な温度制御が可能になるようにした無機蒸着源及びこれの加熱源制御方法を提供する。
【解決手段】蒸着チャンバ内に配置されて含有された金属または無機物質を蒸発させるためのるつぼと、前記るつぼに熱を供給するための加熱源を含む加熱部と、前記加熱部から放出される熱を遮蔽するためのハウジングと、前記るつぼを安着させる外壁と、
前記るつぼから蒸発された物質を噴射するためのノズル部を具備する無機蒸着源において、前記加熱部は、前記るつぼの上部及び下部にそれぞれ位置される上部加熱部及び下部加熱部を有し、前記上部加熱部に電力を供給するための第１電力源及び前記下部加熱部に電力を供給するための第２電力源が設けられて構成される。 （もっと読む）

【課題】 生産効率を低下することなく、付着した異物、ゴミ等への対策が取られ、発光駆動時にリーク電流のない安定した有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子の提供。
【解決手段】 基板上に、少なくとも第１電極を含む陽極層と、発光層を含む有機化合物層と、第２電極を含む陰極層とを順次形成する工程を有する製造装置を使用し、前記発光層を含む有機化合物層の少なくとも一つの層が気相堆積装置を用いて形成する有機ＥＬ素子の製造方法において、前記気相堆積装置は蒸着室と、基板保持手段と、マスク配置手段と、原料蒸発手段とを有し、前記原料蒸発手段は前記堆積膜形成領域の端辺の法線の外側に配設され、堆積膜を形成する時、前記原料蒸発手段と前記堆積膜形成領域との位置関係は、前記堆積膜形成領域に対して前記原料蒸発手段が少なくとも２つの位置関係になるようにして行うことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 光学反射部材の基体材料としてシクロオレフィン樹脂を用いても、反射層であるＡｇ層にクラックが発生せず、且つ優れた密着性および耐腐食性、耐久性が得られるようにする。
【解決手段】 プラスチック基体の表面に、基体側から順に、密着層、Ａｇを主成分とする反射層、透光性誘電体層からなる保護層を形成し、密着層として酸化アルミニウムと酸化ランタンの混合物層を用い、その層厚を１０〜１２０ｎｍの範囲とする。ここで基体とＡｇ層との密着性を一層向上させるとともに、基体側からＡｇ層への水分などの浸入を確実に防止する観点から、密着層における酸化ランタンの混合割合を６０〜８０ｗｔ％の範囲とするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 ボートの温度管理および製作を複雑化することなく、溶解した蒸発材料の濡れ広がりによる電極取付部への付着を防止して、ピンホール等の発生を抑えることができる蒸着用ボートを提供する。
【解決手段】 本発明の蒸着用ボート１１は、抵抗加熱体からなるボート本体１２と、このボート本体１２の両端部に各々設けられた電極取付部１３と、ボート本体１２の表面略中央に位置しており蒸発材料の供給を受けるキャビティ（材料受け部）１４とを備え、ボート本体１２の表面であって、キャビティ１４と電極取付部１３との間の領域に、キャビティ１４から電極取付部１３へ向かう方向と交差する方向に延在する複数の溝部１５を形成することにより、キャビティ１４から電極取付部１３へ向かう蒸発材料の流動を堰き止めて、蒸発材料が電極取付部１３へ到達することを規制する。 （もっと読む）