【課題】気相成長速度が速く、安価で生産性に優れ、且つ、原料物質が加熱される際の熱から基体や成膜物を保護できる薄膜又は粉末製造方法、薄膜又は粉末製造装置、及び非水電解質二次電池用電極材の製造方法、並びに非水電解質二次電池用電極材を用いた非水電解質二次電池用電極及び非水電解質二次電池を提供する。
【解決手段】容器２内の原料物質３を加熱源４により減圧下で６００℃以上に加熱して蒸発させ、原料物質３の蒸気を基体１６上に凝縮させて気相成長させる薄膜の製造方法において、容器２と基体１６との間に断熱部材７を設置し、原料物質３の加熱源４からの熱による基体１６の加熱を抑制する。この断熱部材７に開口部を設け、蒸気を開口部を通して基体１６に導く。この断熱部材７は、熱伝導および輻射熱を軽減するための多孔性の断熱材を含む。 （もっと読む）

本発明の多目的容器は外部容器と、内部充填材と、メッシュ及びワッシャーとを備える。外部容器はステンレススチール、鉄、銅、モリブデン、タングステン又はチタンなどの金属材料からなる。内部充填材は炭素繊維フェルト、炭素繊維又は金属フェルトなどからなる。メッシュ及びワッシャーは、ステンレススチール、鉄、銅、モリブデン、タングステン又はチタンなどの金属材料からなり、内部充填材上に配置される。これらの構成要素は安定した一体型の構造物として組み立てられるか又は溶接される。多目的容器に含浸又は充填された様々な機能を有する各種の蒸着物質は、真空蒸着装置内で電子ビーム加熱方法又は抵抗加熱方法によって超薄膜として均一に蒸着されうる。蒸着物質は粉末及び粒子のような固体状、様々な粘性を有する液体状、及びスラリーのような半固体状のうちのいずれかの状態を有する有機系及び／又は無機系化合物からなる。
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本発明は、固体材料、例えば基板をコーティングするためのセレニウムを蒸発させるための装置に関する。固体材料を、供給源を介して第１坩堝に持ち込む。この坩堝において、材料は、好ましくはその融点より若干高い温度で溶融する。溶融した材料は輸送装置（例えば、パイプ）を介して第２坩堝へと流れ込み、ここで材料は、その沸点より高い温度で蒸発し、基板へと運ばれる。極めて短い時間内で（好ましくは、たった１〜２分以内）蒸発を停止させるために、その融点を越えて材料を冷却するための冷却装置が、輸送装置には配置される。この冷却装置を用いて、輸送装置内の材料を、極めて短い時間でその融点を越える温度にまで冷却することができる。
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【課題】蒸着室内の膜厚検知装置の振動子を蒸着室内において再生することで蒸着装置の稼動効率を向上させる。
【解決手段】複数の振動子５を振動子ホルダー４に設置する。作動位置Ａにおいて膜厚を測定する振動子５の表面にある程度の厚さの蒸着膜が堆積したら、ヒーターブロック８による加熱が可能で、周囲を冷却されたシールド１の壁面で覆われた不作動位置Ｂに振動子５を移動させ、振動子表面の蒸着膜を脱離させて再生する。この間、作動位置Ａにおいては別の振動子５を用いて膜厚の測定を継続する。この工程を繰り返すことで蒸着室を大気開放することなく長期に亘り蒸着を続けることが可能になる。 （もっと読む）

本発明は、剥離剤を、基板に向けられた少なくとも１つのノズルを備えた真空室の内室内で気化させ、真空室内で移動する又は移動可能な基板上に剥離剤の層を施すための方法に関する。この場合、液状の剥離剤を、気化室の内室内に噴射して、気化させるようにした。また本発明は、真空室内で移動するか又は移動可能な基板に、剥離剤の層を施すための装置であって、前記真空室が少なくとも１つの金属蒸発装置を有しており、基板に向けられた少なくとも１つのノズルを備えた気化室が設けられており、剥離剤が供給管路を介して前記気化室の内室に供給可能である形式のものに関する。この場合、前記供給管路が噴射装置に接続されており、該噴射装置によって、液状の剥離剤が、気化させるために、気化室の内室内に噴射可能又は噴射され、それによって気化されるようになっていることを特徴としている。
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【課題】高輝度を維持した状態で、耐湿試験での鮮鋭性の劣化率及び特異的な故障発生率が低く、画像ムラ及び線状ノイズが少ないシンチレータパネル、及びそれを用いた放射線フラットパネルディテクターを提供すること。
【解決手段】基板１０１ａ上に反射層１０１ｃ、下引層１０１ｄ、シンチレータ層１０１ｂをこの順に設けて成るシンチレータプレート１０１を用いたシンチレータパネル１ａにおいて、シンチレータプレートにはシンチレータ層の側に配置した第１保護フィルム１０２ａと基板の外側に配置した第２保護フィルム１０２ｂとにより封止部１０３ｂ、１０３ｄで封止して、耳をもつ保護層とする。該保護層はシンチレータプレートと脱水剤を同封しており、且つ該第１保護フィルムは該シンチレータ層に接着されず、空隙部１０８を有す。 （もっと読む）

【課題】構造を簡略化することができると共に、短時間で均一な厚みに蒸着物質を基板に蒸着することができる蒸着装置の提供。
【解決手段】本発明の蒸着装置は、フレーム上に往復移動可能に取り付けられた移動プレート、基板上に蒸着できるように蒸着材料を蒸発させ、前記移動プレートに前記移動プレートの移動方向と交差する方向に配設けられた複数の蒸発源、及び、前記移動プレートを往復駆動させるための駆動ユニットを含む。 （もっと読む）

【課題】高純度、且つ、高密度の有機化合物層を形成することができる成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜室内に配置された基板上に有機化合物材料を蒸着させる成膜方法であって、成膜室内を５×１０^−３Ｔｏｒｒよりも高真空とし、基板に対向して配置した蒸着源から有機化合物材料を蒸着させて基板上に有機化合物層を成膜し、成膜後、基板を大気にふれさせることなく、成膜室とは異なる処理室に搬送し、処理室内を５×１０^−３Ｔｏｒｒよりも高真空とし、且つ、基板を加熱して有機化合物層中のガスを低減する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの吐出不良を迅速に検出し、不良品の削減を図り、また、材料の吐出状態を常に安定させることができる材料の配置方法、膜形成装置、電気光学装置及びその製造方法、電子装置、並びに電子機器を提供する。
【解決手段】真空チャンバ（処理室）１１内の圧力を低圧制御する圧力制御系１２と、基体（部材）１４上に材料を配置する少なくとも１つのノズル１５と、基体１４を保持する基体ステージ１３とを備えてなり、ノズル１５又は基体ステージ１３の位置を相対的に移動させる駆動系（移動手段）１７と、基体１４上に配置された前記材料を検査する検出系（検査手段）１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】波長２５０〜２７０ｎｍの深紫外域で発光する光源として使用可能な高機能性Ｇａ₂Ｏ₃単結晶薄膜を、簡便な手段で作製する。
【解決手段】光学式浮遊帯域溶融法を用いて作製したβ‐Ｇａ₂Ｏ₃単結晶ウエハを基板とし、この基板の（１００）面上に分子線エピタキシー法を用いて８００℃以上の温度でβ‐Ｇａ₂Ｏ₃単結晶膜を成長させる。 （もっと読む）

本発明は優れた耐久性及び信頼性の電気的接続を新空室（２２５）の壁（２７）を通って形成するための電気的貫通接続構造（２００）を提供する。電気的貫通接続構造（２００）は、開口端（２１７）及び閉口端（２１８）を持つチューブ状部材を備える。少なくとも１つの導電体（２０１）が閉口端（２１７）を通って伸びており、閉口端（２１７）に真空密閉接合部（２１４）によって固定される。接合部（２１４）は、開口端（２１７）からの視野方向に含まれないように構成されている。このようにすることで、衝突物（２２０）及び直熱放射（２２１）が接合部（２１４）に直接当たることを防ぎ、問題を起こし得る接合部（２１４）の汚染にかかる時間を延ばす。 （もっと読む）

【課題】蒸着粒子がクラスター化するのを防ぎ、欠陥のない有機化合物層を有する有機ＥＬ素子を製造する。
【解決手段】蒸着源２１の直上領域を飛翔する蒸着粒子の状態を、レーザー光源４１から出力されたレーザー光を２つの偏光光線に分割してセンサー４２の２つの受光素子で受光する光遮蔽式のパーティクルモニター４によってモニターする。パーティクルモニター４の２つの受光素子の出力を比較して位相の異なる信号を取り込むことで、蒸着粒子のクラスター化を検出する。クラスターが発生した時は、制御ＰＣ４４によって蒸着電源２３のパワーをセーブする。 （もっと読む）

【課題】数百μｍを超える厚膜の成膜が可能であり、かつ、多量の成膜材料を高い均一性で迅速に溶融でき、しかも、突沸に起因する欠陥等も防止できる真空蒸着用の蒸発源、および、この蒸発源を利用する真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】成膜材料を加熱／溶融して蒸発させる蒸発源が、成膜材料を加熱／溶融する複数の蒸発室と、この蒸発室の上方に配置される、成膜材料の蒸気が通過する開口部が１個のみ形成された遮蔽部材とを有することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】放射線像変換パネルとして輝度、鮮鋭性に優れた放射線像変換パネルの製造方法を提供すること。
【解決手段】蛍光体原料を含む蒸着源を加熱し、発生する物質を基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線像変換パネルの製造方法において、該蛍光体原料の安息角が２０°以上９０°以下であることを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスをする必要が少なく、被蒸着材に蒸発材料の良好な膜を形成することができる真空蒸着装置を提供することにある。
【解決手段】真空チャンバと、真空チャンバ内に配置され、蒸発材料を加熱し蒸発させる蒸発源と、蒸発源に対向して配置され、被蒸着材を保持する保持機構と、蒸発源と保持機構との間に配置され、非成膜時に被蒸着材に前記蒸発材料が付着することを防止するシャッタ部と、シャッタ部を加熱する加熱機構を有する構成とすることで、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】従来のフラーレン気化装置は、昇華効率が悪く、時間当たり昇華量が少ない、昇華せずに加熱容器中に残るフラーレン量が多い、昇華温度を高くすると突沸が発生するという問題があった。
【解決手段】気化装置に銅製のメッシュ膜などの伝熱部材を挿入し、その中にフラーレンを充填して加熱することにした。フラーレン全体に均一に熱が伝達されるので、昇華効率が向上し、未昇華フラーレンの量が低減し、時間あたりの昇華量が増えた。突沸の防止にも効果があった。 （もっと読む）

【課題】膜厚均一性に優れた薄膜を蒸着法によって形成可能とする。
【解決手段】 蒸着装置において蒸着材料を蒸発させるのに使用する蒸着ボートＥＢであって、非金属材料によって形成され蒸着材料が供給されるべき凹部ＲＳが上面ＴＳに設けられた抵抗発熱体ＨＲと、抵抗発熱体ＨＲの凹部ＲＳを挟むように配置された一対の電極ＥＤ１及びＥＤ２と、金属材料によって形成され抵抗発熱体ＨＲの上面ＴＳにおいて凹部ＲＳと少なくとも一方の電極ＥＤ１との間に配置された被覆体ＣＢと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アルカリハライド系の蛍光体層を真空蒸着するに際し、基板や蛍光体層の変質を防止でき、かつ、成膜材料の利用効率が高い真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】蒸発源と基板との間に成膜材料の蒸気を反射するための発熱体を設け、かつ、この発熱体の温度を成膜材料の融点未満で、成膜材料の融点−２００℃以上とすることにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】将来的な基板サイズの大型化や更なる生産効率向上のための高速化等にも適切に対応し得る有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に有機層が成膜されてなる有機電界発光素子の製造方法であって、前記有機層の形成材料を射出する成膜源２２ａ〜２２ｄを用意し、前記成膜源２２ａ〜２２ｄと前記基板を挟んで対向する位置に当該基板と非接触で配される磁力発生手段２４ａ〜２４ｃに磁力を発生させ、前記磁力発生手段２４ａ〜２４ｃが発生する磁力によって磁性材料からなるマスク板を前記基板に密着させ、密着した状態の前記基板および前記マスク板を前記成膜源２２ａ〜２２ｄの対向位置にて移動させて当該基板上への前記有機層のパターニング成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】合成樹脂で形成された光学素子に光学膜を形成する際に、光学膜形成用治具内で光学素子の位置が変動しても、被接着部位である周縁部に充分に光学膜を形成でき、接着強度の確保できる光学素子及び光学膜形成用治具を得る。
【解決手段】合成樹脂からなり、光学機能面と、該光学機能面の外周部に形成され他部品と接着される被接着部位とが一体的に形成された円形状の光学素子に、光学膜を形成するための穴部及び光学素子の落下防止のための受け部が形成された光学膜形成用治具において、受け部が、少なくとも３箇所の半径方向に延伸された突起部で構成されている光学膜形成用治具とする。 （もっと読む）